公开(公告)号：CN118197989A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410304090.7

申请日：2024-03-15

Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司

Inventor： 许允昕 ,  王新征 ,  苏晓华

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供的一种支撑组件及晶圆加工装置，支撑组件用于晶圆加热器，晶圆加热器上设有若干呈环状分布的通孔，通孔内适于穿设针状件，支撑组件包括支撑件，呈环状，设于晶圆加热器一侧，支撑件与针状件位置对应，以支撑设于通孔内针状件的底端。通过在晶圆加热器一侧设置呈环状的支撑件，支撑件与针状件位置对应，在圆加热器经旋转后针状件下落时，即使因特殊原因晶圆加热器偏离零位，晶圆加热器在任意位置下降时针状件也能落在支撑环上表面上环状的支撑件上表面能够始终保持对针状件下端的支撑，能够避免因电机无回零功能，导致晶圆加热器经旋转后针状件无法精准落位，针状件很容易绕过针状件支撑结构而有悬空风险，影响设备长期稳定使用。

公开(公告)号：CN118322156A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410616470.4

申请日：2024-05-16

Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司

Inventor： 周峰 ,  王新征 ,  钱一萍 ,  苏晓华

IPC: B25H3/00

Abstract: 本申请公开了一种板体收纳装置，该板体收纳装置包括支架组件、折叠支架和至少一组第一挂钩；折叠支架，设置于支架组件上，并沿远离支架组件的第一方向延伸，折叠支架能够相对于支架组件翻折，以使折叠支架远离支架组件的一侧靠近支架组件；至少一组第一挂钩，与折叠支架连接，每组第一挂钩用于钩持至少一个板体。有效解决了板体收纳装置占用空间过大的问题，更好的满足了板体收纳装置不同使用场景的使用需求。

公开(公告)号：CN118910582A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202410977147.X

申请日：2024-07-19

Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司

Inventor： 杜晓禹 ,  王新征 ,  许所昌 ,  苏晓华 ,  龚炳建

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/40

Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备及沉积方法，涉及半导体技术领域。该薄膜沉积设备包括ALD主体、铪源过滤器及铪源管路，铪源过滤器的两端与ALD主体及铪源管路分别连接；ALD主体具有沉积腔室，铪源管路通过铪源过滤器与沉积腔室连通，铪源管路用于将四氯化铪气体通入沉积腔室，铪源过滤器用于过滤四氯化铪气体中的四氯化铪颗粒。本发明提供的薄膜沉积设备能够显著提升二氧化铪薄膜的沉积品质。