一种AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件的制备方法

    公开(公告)号:CN103014654A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210576237.5

    申请日:2012-12-27

    Abstract: 本发明属于压电薄膜材料领域,具体涉及一种AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件的制备方法。本发明方法是将Si基片清洗后送入热丝化学气相沉积反应室中,在Si基片上沉积100-300nm厚的金刚石膜,送入金属有机化合物化学气相沉淀反应室中,反应室中通入三甲基铟、三甲基镓和氮气,在金刚石/Si基片上沉积厚度为20-100nm的InGaN薄膜,然后向反应室内同时通入携带二乙基锌的氩气和氧气,在InGaN/金刚石/Si基片上沉积20-100nm厚ZnO膜,最终向反应室中通入三甲基铝和氮气,得到AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件。本发明方法首先在Si基片衬底上沉积制备金刚石薄膜,以有高C轴择优取向的纳米ZnO和InGaN薄膜作为缓冲层,沉积制备平整光滑、结晶度好的高C轴择优取向的优质AlN纳米压电薄膜。

    一种基于热电阻和热电偶的时段蓄热锅炉控制方法

    公开(公告)号:CN103245064A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201310186894.3

    申请日:2013-05-20

    Abstract: 一种基于热电阻和热电偶的时段蓄热锅炉控制方法,所述方法包括对温度按时段进行控制,依据电价从高到低将全天分为峰、平、谷三个时段;利用电加热的方式给锅炉内部的蓄热体加热,将电能量转换成热量存储到蓄热体中;传感器检测到蓄热体达到设定的温度时,控制器停止加热;需要供暖时,打开热交换风机,把蓄热体中的热能传递到供暖系统中;峰、平、谷各时段的加热温度及加热时间通过Modbus协议设置;该方法针对不同环境差异化设计,采用按时段和费率电价控制的方法,在谷时段提高用电量,升高锅炉加热温度,并将多余热量存储在蓄热体中,不但降低了锅炉的运行成本,而且有效的调节电网用电负荷。

    一种基于热电阻和热电偶的时段蓄热锅炉控制方法

    公开(公告)号:CN103245064B

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201310186894.3

    申请日:2013-05-20

    Abstract: 一种基于热电阻和热电偶的时段蓄热锅炉控制方法,所述方法包括对温度按时段进行控制,依据电价从高到低将全天分为峰、平、谷三个时段;利用电加热的方式给锅炉内部的蓄热体加热,将电能量转换成热量存储到蓄热体中;传感器检测到蓄热体达到设定的温度时,控制器停止加热;需要供暖时,打开热交换风机,把蓄热体中的热能传递到供暖系统中;峰、平、谷各时段的加热温度及加热时间通过Modbus协议设置;该方法针对不同环境差异化设计,采用按时段和费率电价控制的方法,在谷时段提高用电量,升高锅炉加热温度,并将多余热量存储在蓄热体中,不但降低了锅炉的运行成本,而且有效的调节电网用电负荷。

    一种AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件的制备方法

    公开(公告)号:CN103014654B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210576237.5

    申请日:2012-12-27

    Abstract: 本发明属于压电薄膜材料领域,具体涉及一种AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件的制备方法。本发明方法是将Si基片清洗后送入热丝化学气相沉积反应室中,在Si基片上沉积100-300nm厚的金刚石膜,送入金属有机化合物化学气相沉淀反应室中,反应室中通入三甲基铟、三甲基镓和氮气,在金刚石/Si基片上沉积厚度为20-100nm的InGaN薄膜,然后向反应室内同时通入携带二乙基锌的氩气和氧气,在InGaN/金刚石/Si基片上沉积20-100nm厚ZnO膜,最终向反应室中通入三甲基铝和氮气,得到AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件。本发明方法首先在Si基片衬底上沉积制备金刚石薄膜,以有高C轴择优取向的纳米ZnO和InGaN薄膜作为缓冲层,沉积制备平整光滑、结晶度好的高C轴择优取向的优质AlN纳米压电薄膜。

    一种火电厂烟气水冷除尘排放装置

    公开(公告)号:CN211462515U

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN201921901579.3

    申请日:2019-11-06

    Abstract: 本实用新型公开了一种火电厂烟气水冷除尘排放装置包括底座,所述底座的顶部固定连接有壳体,所述壳体的进气口活动连接有进烟管,所述壳体的出气口固定连接有排烟管,所述进烟管内开设有两个弹簧槽,每个所述弹簧槽内均固定安装有两个弹簧,所述弹簧的顶部固定安装有安装杆,所述壳体内开设有供安装杆穿入的连接槽,所述壳体内开设有卡槽,所述卡槽与连接槽连通。本实用新型便于烟气水冷除尘排放装置和进烟管之间的安装拆卸,可定期对烟气水冷除尘排放装置的内部进行维修和保养,缩短了烟气水冷除尘排放装置维护和更换所需要的时间,有利于提高烟气水冷除尘排放装置的使用寿命,提高了烟气排放的效率。

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