一种AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件的制备方法

    公开(公告)号:CN103014654A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210576237.5

    申请日:2012-12-27

    Abstract: 本发明属于压电薄膜材料领域,具体涉及一种AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件的制备方法。本发明方法是将Si基片清洗后送入热丝化学气相沉积反应室中,在Si基片上沉积100-300nm厚的金刚石膜,送入金属有机化合物化学气相沉淀反应室中,反应室中通入三甲基铟、三甲基镓和氮气,在金刚石/Si基片上沉积厚度为20-100nm的InGaN薄膜,然后向反应室内同时通入携带二乙基锌的氩气和氧气,在InGaN/金刚石/Si基片上沉积20-100nm厚ZnO膜,最终向反应室中通入三甲基铝和氮气,得到AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件。本发明方法首先在Si基片衬底上沉积制备金刚石薄膜,以有高C轴择优取向的纳米ZnO和InGaN薄膜作为缓冲层,沉积制备平整光滑、结晶度好的高C轴择优取向的优质AlN纳米压电薄膜。

    一种AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件的制备方法

    公开(公告)号:CN103014654B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210576237.5

    申请日:2012-12-27

    Abstract: 本发明属于压电薄膜材料领域,具体涉及一种AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件的制备方法。本发明方法是将Si基片清洗后送入热丝化学气相沉积反应室中,在Si基片上沉积100-300nm厚的金刚石膜,送入金属有机化合物化学气相沉淀反应室中,反应室中通入三甲基铟、三甲基镓和氮气,在金刚石/Si基片上沉积厚度为20-100nm的InGaN薄膜,然后向反应室内同时通入携带二乙基锌的氩气和氧气,在InGaN/金刚石/Si基片上沉积20-100nm厚ZnO膜,最终向反应室中通入三甲基铝和氮气,得到AlN/ZnO/InGaN/金刚石/Si多层结构声表面波滤波器件。本发明方法首先在Si基片衬底上沉积制备金刚石薄膜,以有高C轴择优取向的纳米ZnO和InGaN薄膜作为缓冲层,沉积制备平整光滑、结晶度好的高C轴择优取向的优质AlN纳米压电薄膜。

    基于LoRaWAN定位技术的风电场无人机自动巡检系统及方法

    公开(公告)号:CN112734970A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011525960.1

    申请日:2020-12-22

    Abstract: 本发明公开基于LoRaWAN定位技术的风电场无人机自动巡检系统及方法,属于风电场无人机巡检技术领域。无人机对风电场的风电机组进行宏观巡检并通过LoRa终端将风电机组宏观巡检图像上传;对上传图像数据进行预处理;对风电机组宏观巡检图像进行诊断找出故障图像;为故障图像确定拍摄位置,并根据故障图像的拍摄位置和风电机组的位置信息,确定故障风机;控制无人机飞行至指定故障风机处进行微观巡检并拍摄高清图像;对微观巡检拍摄的高清图像进行诊断找出故障图像并确定故障类型,并将高清故障图像存入专家库,以供下次图像诊断使用。风电场巡检自动化,避免人工操作无人机巡检在路径上的电量耗费,提高无人机续航能力,实现低功耗定位。

    一种污水处理厂减排综合管理方法、系统及装置

    公开(公告)号:CN118838290A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202411058062.8

    申请日:2024-08-02

    Abstract: 本发明公开了一种污水处理厂减排综合管理方法、系统及装置,其方法包括以下步骤:步骤一、获取污水处理厂运行过程中的关键参数数据及历史运行数据,构建动态减排管理模型。本发明通过构建动态减排管理模型和优化策略,精准地控制污水处理过程中的能源消耗和温室气体排放,从而在确保污水处理效果的同时,降低了CO2、CH4等温室气体的排放量,同时,通过深度处理模型、绿色能源模型等,实现了对污水中资源的最大化利用,减少了资源浪费,降低了处理成本;通过引入余热回收模型和绿色能源模型,有效利用了污水和污泥中的热能和沼气资源,减少了对传统能源的依赖,降低了污水处理厂的运行成本。

    基于LoRaWAN定位技术的风电场无人机自动巡检系统及方法

    公开(公告)号:CN112734970B

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202011525960.1

    申请日:2020-12-22

    Abstract: 本发明公开基于LoRaWAN定位技术的风电场无人机自动巡检系统及方法,属于风电场无人机巡检技术领域。无人机对风电场的风电机组进行宏观巡检并通过LoRa终端将风电机组宏观巡检图像上传;对上传图像数据进行预处理;对风电机组宏观巡检图像进行诊断找出故障图像;为故障图像确定拍摄位置,并根据故障图像的拍摄位置和风电机组的位置信息,确定故障风机;控制无人机飞行至指定故障风机处进行微观巡检并拍摄高清图像;对微观巡检拍摄的高清图像进行诊断找出故障图像并确定故障类型,并将高清故障图像存入专家库,以供下次图像诊断使用。风电场巡检自动化,避免人工操作无人机巡检在路径上的电量耗费,提高无人机续航能力,实现低功耗定位。

    油浸式电力变压器监控装置

    公开(公告)号:CN203589839U

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201320659018.3

    申请日:2013-10-24

    Abstract: 油浸式电力变压器监控装置属于电力变压器监控技术领域,尤其涉及一种油浸式电力变压器监控装置。本实用新型提供一种自动化程度高、监控准确的油浸式电力变压器监控装置。本实用新型包括电源模块、检测变压器二次侧的电压传感器、检测变压器二次侧的电流传感器、本地时钟模块、电能计量及分析模块、模拟量采集控制器、信号调理电路、存储模块、HMI(人机接口)模块、中央控制器、数字量输入模块、数字量输出模块和通信模块,其结构要点中央控制器端口分别与本地时钟模块端口、电能计量及分析模块输出端口、模拟量采集控制器端口、存储模块端口、HMI模块端口、数字量输入模块端口、数字量输出模块端口、通信模块端口相连。

    风力发电谐波监测装置
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201444176U

    公开(公告)日:2010-04-28

    申请号:CN200920015291.6

    申请日:2009-07-15

    Inventor: 尹常永

    Abstract: 本实用新型公开一种风力发电谐波检测装置,它包括单片机、采样模块、电压互感器、电流互感器、显示部分及UART接口部分;所述电压互感器及电流互感器的输出端分别接采样模块的输入端;所述采样模块、UART接口部分及显示部分的端口分别接单片机的端口;所述采样模块完成电流及电压的实时同步采样,其电流通道的增益及复位信号由所述单片机进行控制;本实用新型还设有零线电流互感器及零线采样模块;所述零线电流互感器的端口接零线采样模块的端口;所述零线采样模块的输出端接单片机的输入端。本实用新型系统可靠性高,成本低廉,预测精度高,抗干扰能力强,扩展性好。

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