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公开(公告)号：CN113322498A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110741229.0
申请日：2021-07-01
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于电铸薄壁金属定影管的脱模装置与方法，属于电化学加工技术领域。该装置主要包括固定钩、原模、金属定影管、吸拉头、负压产生单元、支承轴、底座。基于该装置，首先将外边面带有金属定影管的原模通过固定钩和支承轴可旋转、可拆卸地固定在底座上。接着，启动负压产生单元，手持手柄将吸拉头紧密吸附于金属定影管表面。然后，水平移动吸拉头并旋转原模，直至将吸附点位完全遍布于金属定影管表面。最后，将金属定影管从原模上抽离即完成了脱模，关闭负压产生单元。本发明脱模装置简单，易实现脱模，脱模效果好，效率高，工艺成本低。
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公开(公告)号：CN112404618A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011162434.3
申请日：2020-10-27
Applicant: 河南理工大学
IPC: B23H3/00
Abstract: 本发明公开了一种连续掩膜电解加工金属微结构的装置，包括喷液嘴、电解电源、工件阳极、工具阴极、喷气嘴、掩膜带、储带轮、收带轮、驱动源、托辊和张紧轮；带有镂空图案或含有渗液微孔的掩膜带在收带轮、张紧轮和储带轮等共同作用下紧密压贴于工具阴极表面并形成包角，再紧密压贴于可旋转的或可移动的工件阳极的待加工面；收带轮连续回收掩膜带并带动工件阳极和工具阴极做同步匀速运动，喷液嘴高速喷射电解液，工件阳极在电场和流场的综合作用下接替地发生均匀的局域化电化学溶解，直到工件完成加工。本发明提出了一种连续掩膜电解加工金属微结构新技术，能够提高活动掩膜电解加工的工艺适应性和稳定性，获得高精度和高表面质量的金属微纳结构。
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公开(公告)号：CN112144080B
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202011068748.7
申请日：2020-10-08
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D1/20
Abstract: 本发明属于微细电铸领域，具体涉及一种薄片状微细电铸件的去胶治具，包括基片、贴附于基片表面的胶膜和置于胶膜中的薄片状微细电铸件，它还包括盖板、上强磁环、下强磁环；所述的盖板的下表面的周边设有等间隔排列的定位柱；所述的盖板侧边设有带有通孔的装夹柄；所述的定位柱的顶部设有含有挡沿的定位台；所述的基片放置于定位台上且基片上的微细电铸件面向盖板；所述的上强磁环和下强磁环分别置于盖板和基片上。本发明可以有效地保证薄片状微细电铸件在胶膜脱除后可以不翻面、不叠摞地平铺在盖板上，极大地提高了胶膜脱除情况的透光观测效率以及薄片状微细电铸件的形貌观测效率。结构简单、安装和拆卸方便、组件少、易于实现。
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公开(公告)号：CN115198317A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210894435.X
申请日：2022-07-28
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D1/00
Abstract: 本发明涉及电铸加工领域，具体涉及一种电铸制备类“砖‑泥”同质异构金属材料的方法。本发明基于线阳极扫描式电铸系统，规律地协同地调控扫描速度和极间电压，使阴极表面过电位的大小和分布产生周期性改变，从而导致电沉积的金属晶粒分布的改变。该材料以高硬度、高强度的纳米尺度的细晶粒为“砖”，以高韧性的微米级及以上尺度的粗晶粒为“泥”，通过两者在沉积方向（法向）和扫描方向（平行于材料表面方向）上交替配合变参数电沉积材料，即可制备极高纯度的类“砖‑泥”同质异构金属材料。本发明原理简单，操作简便，无需借助可调制电源或晶粒细化剂等辅助手段，可在单一电铸槽中，仅通过常规直流电源、简单成份的电解液就能实现材料的高纯、高效制备及性能调控。
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公开(公告)号：CN113369608A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110650264.1
申请日：2021-06-11
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
IPC: B23H3/00
Abstract: 本发明公开了一种在金属表面同步制备微织构和微织化微坑的方法，属于掩膜电解加工领域。基于带式掩膜电解加工系统，调整主动轮、从动轮和金属圆柱体三者的空间位置，使掩膜带紧密贴合在平面工件上；开启位于掩膜带与平面工件之间的电解液喷嘴，向它们的夹角处喷射电解液；把金属圆柱体、平面工件分别与电解电源负极、正极连接；开启电解电源，利用金属圆柱体上的阵列微凸点与平面工件的间隙小、电流密度大、溶解速度更快的特性，使金属圆柱体先形成与阵列微凸点形状相似的微坑，随着进一步电化学溶解，在平面工件表面同步制备微织构和微织化微坑。本发明可一次性地在平面工件表面加工出微织构和微织化微坑，加工效率更高，工艺成本低，适应性强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112144080A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202011068748.7
申请日：2020-10-08
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D1/20
Abstract: 本发明属于微细电铸领域，具体涉及一种薄片状微细电铸件的去胶治具，包括基片、贴附于基片表面的胶膜和置于胶膜中的薄片状微细电铸件，它还包括盖板、上强磁环、下强磁环；所述的盖板的下表面的周边设有等间隔排列的定位柱；所述的盖板侧边设有带有通孔的装夹柄；所述的定位柱的顶部设有含有挡沿的定位台；所述的基片放置于定位台上且基片上的微细电铸件面向盖板；所述的上强磁环和下强磁环分别置于盖板和基片上。本发明可以有效地保证薄片状微细电铸件在胶膜脱除后可以不翻面、不叠摞地平铺在盖板上，极大地提高了胶膜脱除情况的透光观测效率以及薄片状微细电铸件的形貌观测效率。结构简单、安装和拆卸方便、组件少、易于实现。
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公开(公告)号：CN115198317B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202210894435.X
申请日：2022-07-28
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D1/00
Abstract: 本发明涉及电铸加工领域，具体涉及一种电铸制备类“砖‑泥”同质异构金属材料的方法。本发明基于线阳极扫描式电铸系统，规律地协同地调控扫描速度和极间电压，使阴极表面过电位的大小和分布产生周期性改变，从而导致电沉积的金属晶粒分布的改变。该材料以高硬度、高强度的纳米尺度的细晶粒为“砖”，以高韧性的微米级及以上尺度的粗晶粒为“泥”，通过两者在沉积方向（法向）和扫描方向（平行于材料表面方向）上交替配合变参数电沉积材料，即可制备极高纯度的类“砖‑泥”同质异构金属材料。本发明原理简单，操作简便，无需借助可调制电源或晶粒细化剂等辅助手段，可在单一电铸槽中，仅通过常规直流电源、简单成份的电解液就能实现材料的高纯、高效制备及性能调控。
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公开(公告)号：CN113369608B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202110650264.1
申请日：2021-06-11
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
IPC: B23H3/00
Abstract: 本发明公开了一种在金属表面同步制备微织构和微织化微坑的方法，属于掩膜电解加工领域。基于带式掩膜电解加工系统，调整主动轮、从动轮和金属圆柱体三者的空间位置，使掩膜带紧密贴合在平面工件上；开启位于掩膜带与平面工件之间的电解液喷嘴，向它们的夹角处喷射电解液；把金属圆柱体、平面工件分别与电解电源负极、正极连接；开启电解电源，利用金属圆柱体上的阵列微凸点与平面工件的间隙小、电流密度大、溶解速度更快的特性，使金属圆柱体先形成与阵列微凸点形状相似的微坑，随着进一步电化学溶解，在平面工件表面同步制备微织构和微织化微坑。本发明可一次性地在平面工件表面加工出微织构和微织化微坑，加工效率更高，工艺成本低，适应性强。
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公开(公告)号：CN113322498B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202110741229.0
申请日：2021-07-01
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于电铸薄壁金属定影管的脱模装置与方法，属于电化学加工技术领域。该装置主要包括固定钩、原模、金属定影管、吸拉头、负压产生单元、支承轴、底座。基于该装置，首先将外边面带有金属定影管的原模通过固定钩和支承轴可旋转、可拆卸地固定在底座上。接着，启动负压产生单元，手持手柄将吸拉头紧密吸附于金属定影管表面。然后，水平移动吸拉头并旋转原模，直至将吸附点位完全遍布于金属定影管表面。最后，将金属定影管从原模上抽离即完成了脱模，关闭负压产生单元。本发明脱模装置简单，易实现脱模，脱模效果好，效率高，工艺成本低。
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公开(公告)号：CN114774996A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210516494.3
申请日：2022-05-13
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明专利属于微细电铸领域，具体涉及一种用于制造金属喇叭形锥孔微喷嘴的电铸用芯模及方法。一种用于制造金属喇叭形锥孔微喷嘴的电铸用芯模包括衬底、依次紧密贴合于衬底上表面的导电层和电绝缘层、贯穿导电层和电绝缘层的规则排列的盲孔；所述的衬底为电绝缘材料；所述的盲孔的底为衬底的上表面。一种用于制造金属喇叭形锥孔微喷嘴的方法包括，先将此芯模作为阴极进行电铸；然后，使用超精密加工装置对芯模进行减薄与整平；溶解去除电绝缘层和导电层，获得金属喇叭形锥孔微喷嘴。本发明解决了小外形尺寸、内外壁面均光滑的直外壁型的金属喇叭形锥孔微喷嘴的批量制造难题。本发明的芯模制备工艺兼容性好，易于实现。
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