一种用于硅抛光片平整度的检测方法及检测装置

    公开(公告)号:CN119860727A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202510122003.0

    申请日:2025-01-26

    Abstract: 一种用于硅抛光片平整度的检测方法及检测装置,该检测方法如下:点光源经扩束镜拓展后经过一侧镀有半透半反膜的分光镜G1产生反射光和透射光,反射光垂直入射至平面全反射镜M1,透射光穿过与分光镜G1平行的补偿镜G2后垂直入射至平面全反射镜M2,相互垂直设置M1和M2将入射光反射后再次回到分光镜G1半透半反膜处,经过透射和反射后通过聚焦透镜L2在成像区F处呈现基准干涉条纹图像;将平面全反射镜M2替换为待测硅片,对平面全反射镜M1的位置进行调整,在成像区F处呈现待测硅片干涉条纹图像;通过计算机对上述图像处理并计算得到待测硅抛光片的平整度参数。该方法具有非接触性、自动化程度好等特点,具有非常可观的发展前景。

    一种钨钼铜复合材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN117660795A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311692104.9

    申请日:2023-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种钨钼铜复合材料及其制备方法,属于金属复合材料技术领域。本发明的钨钼铜复合材料的制备方法,采用熔渗铜工艺进行制备,活化元素能够溶于W、Mo、Cu中,降低W和Cu之间的润湿角,降低W颗粒的烧结动力,并且可以降低烧结温度,同时可以在烧结过程中形成中间相,形成大量高扩散性界面或者改善相之间的润湿特性,促进致密化过程的进行,同时可利于W和Mo形成WMo固溶体,提高钨钼铜复合材料的强度和耐烧蚀等性能。另外,钼与钨属于同族元素,两者的晶格类型同属体心立方,且两者的晶格参数接近,钼可以固溶强化钨基体,起到固溶强化作用,进一步提高复合材料的强度和耐烧蚀等性能。

    铜基复合材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN111778421B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202010706652.2

    申请日:2020-07-21

    Abstract: 本发明涉及一种铜基复合材料及其制备方法,属于铜基复合材料技术领域。本发明的铜基复合材料的制备方法,包括:将镀铜碳纳米管、氧化亚铜和铜铝合金粉混匀,然后压制成锭坯后进行内氧化烧结,氧化亚铜作为氧化剂使铜铝合金粉中的铝经内氧化转化为氧化铝;再将剩余的氧化亚铜还原;最后进行热挤压。该方法采用原位合成法,使铝与氧化亚铜进行化学反应形成颗粒细小、热力学稳定的Al2O3颗粒,与铜基体的界面结合良好,载流摩擦磨损过程中起到有效的支撑作用,有利于降低摩擦表面磨损和塑性变形,镀铜碳纳米管与铜基体具有较好的界面结合,且分散均匀,有利用充分发挥CNTs的自润滑和高温稳定性,在铜基体中起到载荷传递和润滑的作用。

    一种铜合金复合板材的制备方法

    公开(公告)号:CN114559147A

    公开(公告)日:2022-05-31

    申请号:CN202210239501.X

    申请日:2022-03-11

    Abstract: 本发明涉及一种铜合金复合板材的制备方法,属于铜基材料技术领域。本发明的制备方法包括以下步骤:在金属基板上放置金属涂覆板,然后在金属涂覆板上盖上金属覆板,放上炸药,引爆炸药进行爆炸焊接复合得到复合板,去除复合板表层的金属覆板;金属涂覆板包括金属板基体和涂覆在金属板基体上的导电碳材层;用于接触金属基板的金属涂覆板的导电碳材层至少涂覆在金属板基体用于接触金属基板的区域。本发明将涂覆有导电碳材层的金属板基体和铜基金属涂覆板材进行爆炸焊接,不仅可以增强导电碳材与金属基板的界面结合强度,实现在铜合金复合板材中添加导电碳材增强铜合金复合板材高温导电性能,同时还可以实现大尺寸铜合金复合板材的商业化生产。

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