一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法

    公开(公告)号:CN110629194B

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN201911055503.8

    申请日:2019-10-31

    Abstract: 本发明公开了一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:S1:不锈钢样品前处理:将不锈钢样品进行砂纸打磨,用丙酮和无水乙醇超声处理,烘干备用;S2:不锈钢表面沉积Cr/CrAlN过渡层:将S1步骤中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台,将Cr、Al靶材安装到靶座上,在不锈钢基底表面沉积Cr膜及CrAlN薄膜,得到含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品;S3:在不锈钢表面制备金刚石薄膜:将S2步骤中含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品进行超声种晶,利用热丝HFCVD进行沉积金刚石薄膜,实现在含Cr/CrAlN为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。采用本发明的技术,使金刚石膜与不锈钢之间结合力高,在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。

    一种在不锈钢表面的过渡层上制备金刚石薄膜的方法

    公开(公告)号:CN107937914B

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201711205732.4

    申请日:2017-11-27

    Abstract: 本发明提供了一种在不锈钢表面制备连续、附着力良好的金刚石薄膜的方法:将不锈钢片用丙酮和无水酒精分别超声清洗、干燥后作为金刚石薄膜生长的基底,在沉积金刚石薄膜之前,先将不锈钢基底放入真空离子镀膜设备中,在其表面制备一层新结构薄膜作为过渡层,然后在金刚石粉末的丙酮溶液中进行超声种晶,最后将其放入热丝化学气相沉积设备中生长金刚石薄膜。本发明制得了具有连续、附着力良好的金刚石薄膜。在以不锈钢为基材的产品领域具有广阔的应用前景。

    一种以Cr/Cr-Si为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法

    公开(公告)号:CN110527971A

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201910968059.2

    申请日:2019-10-12

    Abstract: 本发明公开了一种以Cr/Cr-Si为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,它包括以下步骤:1)不锈钢样品前处理:对不锈钢样品进行砂纸打磨,用丙酮进行超声处理,烘干备用;2)不锈钢表面沉积Cr/Cr-Si薄膜:将步骤1)中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台中,将Cr、Si靶材安装到靶座上,在不锈钢基底表面沉积Cr膜及Cr-Si薄膜,得到含Cr/Cr-Si过渡层的不锈钢样品;3)在不锈钢表面沉积金刚石薄膜:将步骤2)中得到的含Cr/Cr-Si过渡层的不锈钢样品进行超声种晶,利用热丝CVD进行沉积金刚石薄膜,实现在含Cr/Cr-Si为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。本发明通过采用上述技术,使金刚石膜与不锈钢之间结合力高,在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。

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