用氧化钒对单晶硅表面进行钝化的方法

    公开(公告)号:CN109659400A

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201811637325.5

    申请日:2018-12-29

    Abstract: 本发明公开了用氧化钒对单晶硅表面进行钝化的方法,清洗硅片,得到干净疏水的硅片表面,用氮气吹干;再在硅片表面蒸镀一层氧化钒薄膜;然后在200-250℃下于管式炉中用氮气进行退火。该方法通过蒸镀的方法将氧化钒粉末沉积在硅片表面,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

    一种晶体硅异质结太阳能电池及其制备方法

    公开(公告)号:CN109768102A

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201811612890.6

    申请日:2018-12-27

    Abstract: 本发明公开了一种晶体硅异质结太阳能电池及其制备方法,电池结构为:Ag/ITO/ZnTe/i-a-Si/n-c-Si/i-a-Si/CdSe/Ag;制备时,对单晶硅片进行表面清洗以去除其表面污染杂质;在硅片前后表面生长一层本征非晶硅;在硅片正面的非晶硅薄膜上面,生长ZnTe薄膜和ITO导电薄膜;在硅片背面的非晶硅薄膜上面,生长CdSe薄膜;生长前后Ag电极。本发明提出利用碲化锌(ZnTe)和硒化镉(CdSe)分别替代传统非晶硅/晶体硅结构中的p型非晶硅(p-a-Si)和n型非晶硅(n-a-Si),ZnTe/a-Si/c-Si/a-Si/CdSe结构的异质结太阳能电池的效率期望得到较大的提升。

    一种低温制备锡纳米晶存储器的方法

    公开(公告)号:CN109037220A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201810659403.5

    申请日:2018-06-25

    CPC classification number: H01L27/11521

    Abstract: 本发明公开了一种低温制备锡纳米晶存储器的方法,采用RCA标准清洗法对硅片进行表面清洗;把重量百分比为61%的HNO3溶液加热到123℃,然后把清洗好的硅片浸泡在其中;以金属锡靶和SiO2靶,采用共溅射的方式制备厚度为含锡的SiO2薄膜;然后在原位退火30min,退火温度为250~300℃;关闭加热电源,使硅片的温度逐渐降低到室温,然后在原位开始利用射频溅射生长Ta2O5薄膜;利用掩膜板在Ta2O5薄膜以及硅片的反面蒸镀金属铝电极。本发明降低了存储器在制备工艺过程中的热处理温度,提高了存储器的持续微缩能力和高载流子的注入和释放效率。

    一种抑制多晶硅PERC电池热辅助光诱导衰减的方法

    公开(公告)号:CN108615790A

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201810319536.8

    申请日:2018-04-11

    Inventor: 黄仕华 芮哲

    CPC classification number: H01L31/1804

    Abstract: 本发明公开了一种抑制多晶硅PERC电池热辅助光诱导衰减的方法,所采用的电池片结构包括前电极、氮化硅抗反射层和钝化层、磷扩散层、p型多晶硅、氧化铝钝化层、氮化硅保护层、背电极,将电池片放入无光照、空气氛围的普通退火炉中,退火炉温度设置为180-200℃,退火时间为3小时。本发明提出的无光照低温退火技术具有成本低、工艺简单、对电池性能不产生负面影响等特点,因此在多晶硅PERC太阳能电池产业中具有广泛的推广应用价值。

    一种低成本去除冶金硅中杂质硼的方法

    公开(公告)号:CN110342525B

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN201910614564.7

    申请日:2019-07-09

    Abstract: 本发明公开了一种低成本的去除冶金硅中杂质硼的方法,采用高温热氧化法首先在冶金硅表面生长二氧化硅薄层,其次通过热处理方式,调控杂质硼在二氧化硅/硅界面处的分凝,以及调控杂质硼过饱和析出、富集并偏析至硅晶界处,使得冶金硅内部的杂质硼扩散到二氧化硅/硅界面附近,然后去除二氧化硅,最后采用化学湿法酸处理,达到去除杂质的目的。本发明提出的新方法的总杂质去除率大于96%,杂质硼去除率大于93%,具有总杂质和硼杂质去除效率高、工艺流程短、生产成本低、污染小等特点,很容易在产业化上进行推广应用。

    一种低成本去除冶金硅中杂质硼的方法

    公开(公告)号:CN110342525A

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201910614564.7

    申请日:2019-07-09

    Abstract: 本发明公开了一种低成本的去除冶金硅中杂质硼的方法,采用高温热氧化法首先在冶金硅表面生长二氧化硅薄层,其次通过热处理方式,调控杂质硼在二氧化硅/硅界面处的分凝,以及调控杂质硼过饱和析出、富集并偏析至硅晶界处,使得冶金硅内部的杂质硼扩散到二氧化硅/硅界面附近,然后去除二氧化硅,最后采用化学湿法酸处理,达到去除杂质的目的。本发明提出的新方法的总杂质去除率大于96%,杂质硼去除率大于93%,具有总杂质和硼杂质去除效率高、工艺流程短、生产成本低、污染小等特点,很容易在产业化上进行推广应用。

    一种钙钛矿太阳能电池
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109346604A

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201811145373.2

    申请日:2018-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种钙钛矿太阳能电池,其结构自下而上为,玻璃、阳极ITO、阳极修饰层氧化镍、活性层FAPb0.75Sn0.25I3、第一阴极修饰层PC60BM、第二阴极修饰层BCP,阴极银。因为氧化镍上的钙钛矿的晶粒相对传统的PEDOT:PSS要大,电荷的迁移率更高,可以产生更高的短路电流和外量子效率,进而得到更大的光电转换效率。

    超薄二氧化硅钝化层的制备方法

    公开(公告)号:CN108417482A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201810242569.7

    申请日:2018-03-23

    Abstract: 本发明公开了一种超薄二氧化硅钝化层的制备方法,该方法在对硅片进行彻底清洗后,用68%HNO3生长1~2nm厚的界面态密度低的二氧化硅膜,然后通过PECVD进行氢钝化未饱和的悬挂键,从而实现硅片的有效钝化。该发明即能达到良好的钝化效果,又解决了热氧化生长二氧化硅的厚度不可控的问题,且化学湿法制备效率高,PECVD法进行氢钝化也无有毒气体的使用,较为安全。

Patent Agency Ranking