公开(公告)号：CN108426531A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201810330428.0

申请日：2018-04-13

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 李星辉 ,  华振 ,  王晓浩 ,  倪凯 ,  周倩 ,  钟伦超 ,  王培荣

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明提供一种复合膜厚度在线测量系统，能够实时、高精度的获取复合膜同一探测区域的各层厚度。其中复合膜包括不透明基底层和透明涂层。通过激光三角法测量模块获取不透明基底的厚度参数，通过红外测量模块获取透明涂层的厚度参数，两个测量模块共用主要光路通道，保证内部结构紧凑；同时把两个测量模块的被测区域限定在同一位置处，实现复合膜同一区域参数的同时、高精度、在线测量。

公开(公告)号：CN208140036U

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201820523594.8

申请日：2018-04-13

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 李星辉 ,  华振 ,  王晓浩 ,  倪凯 ,  钟伦超 ,  周倩

IPC: G01B11/06

Abstract: 本实用新型提供一种多层膜在线测厚系统，能够实时、高精度的获取多层在膜同一探测区域的各层厚度。其中多层膜包括一层不透明基底层和位于所述不透明基底层一侧或两侧的透明涂层。该系统通过激光三角法测量模块获取不透明基底的厚度，通过红外测量模块获取透明涂层的厚度，两个测量模块的被测区域限定在同一位置处，实现多层膜同一区域厚度参数的同时、高精度、在线测量。