公开(公告)号：CN108426531A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201810330428.0

申请日：2018-04-13

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 李星辉 ,  华振 ,  王晓浩 ,  倪凯 ,  周倩 ,  钟伦超 ,  王培荣

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明提供一种复合膜厚度在线测量系统，能够实时、高精度的获取复合膜同一探测区域的各层厚度。其中复合膜包括不透明基底层和透明涂层。通过激光三角法测量模块获取不透明基底的厚度参数，通过红外测量模块获取透明涂层的厚度参数，两个测量模块共用主要光路通道，保证内部结构紧凑；同时把两个测量模块的被测区域限定在同一位置处，实现复合膜同一区域参数的同时、高精度、在线测量。

公开(公告)号：CN108801155A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810791500.X

申请日：2018-07-18

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 李星辉 ,  肖翔 ,  周倩 ,  倪凯 ,  王培荣 ,  王晓浩

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种光谱编码距离传感器系统，包括白光光源、第一导光光纤、第二导光光纤、第一分光棱镜、第二分光棱镜、滤光通道和光谱仪，以一条假象的竖直向下的直线为所述光谱编码距离传感器系统的中心，所述白光光源、所述第一导光光纤和所述第一分光棱镜位于所述直线的一侧，所述第二分光棱镜、所述滤光通道、所述第二导光光纤和所述光谱仪位于所述直线的另一侧，且所述第一分光棱镜和所述第二分光棱镜关于所述直线对称，所述第一导光光纤和所述滤光通道均平行于所述直线。本发明具有结构紧凑、测量精度高、量程大、测量适应性好等优点，可以广泛地满足工业现场对距离测量传感器的要求。

公开(公告)号：CN108801155B

公开(公告)日：2020-03-06

申请号：CN201810791500.X

申请日：2018-07-18

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 李星辉 ,  肖翔 ,  周倩 ,  倪凯 ,  王培荣 ,  王晓浩

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种光谱编码距离传感器系统，包括白光光源、第一导光光纤、第二导光光纤、第一分光棱镜、第二分光棱镜、滤光通道和光谱仪，以一条假想的竖直向下的直线为所述光谱编码距离传感器系统的中心，所述白光光源、所述第一导光光纤和所述第一分光棱镜位于所述直线的一侧，所述第二分光棱镜、所述滤光通道、所述第二导光光纤和所述光谱仪位于所述直线的另一侧，且所述第一分光棱镜和所述第二分光棱镜关于所述直线对称，所述第一导光光纤和所述滤光通道均平行于所述直线。本发明具有结构紧凑、测量精度高、量程大、测量适应性好等优点，可以广泛地满足工业现场对距离测量传感器的要求。