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公开(公告)号：CN103984213B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201410148971.0
申请日：2014-04-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴，包括：喷嘴主体，该喷嘴主体内部设有进液流道、均压流道以及出射流道；开有一狭缝的矩形导流板，该矩形导流板装于所述进液流道下端的法兰部，所述进液流道通过该矩形导流板的狭缝过渡到所述均压流道；带喷嘴入口的盖板，与所述喷嘴主体密封连接；及，排气装置，插接于所述喷嘴主体的一端，其内的排气管道与所述进液流道连通。该导流板的狭缝与均压流道的导流斜面的配合实现了液体的均匀分配，使液体经过进液流道后均匀稳定流入均压流道，同时液体在均压流道稳定到一定高度，依靠液体内部静压作用液体从出射流道均匀流出，实现了显影喷涂的均匀性和稳定性。
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公开(公告)号：CN103698986B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201310715465.0
申请日：2013-12-23
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴，包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板，喷嘴底板安装于喷嘴主体，喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合；挡板安装于喷嘴底板，挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合，喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭缝流道，挡流板底端的锐角倒角结构与凸台下端的挡板倒角结构形成尖嘴喷涂结构。本发明工艺喷嘴能够用于集成电路芯片显影工艺中显影液的输出，通过对工艺喷嘴的整体设计形成具有尖嘴喷涂结构的出射狭缝流道，实现有效、均匀喷涂，解决了现有显影喷嘴喷涂不均匀以及液体出射压力过大对喷涂表面产生过大冲击的难题，满足显影工艺发展的要求。
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公开(公告)号：CN103464315B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310379713.9
申请日：2013-08-28
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种能形成均匀水幕的工艺喷嘴，包括：喷嘴主体，喷嘴主体包括主腔室和位于该主腔室的一侧壁的直狭缝状工作液出口，所述侧壁的外侧面与所述工作液出口垂直；及，具有一个下开口的凹部的挡流板，安装于所述侧壁的外侧面上，所述挡流板的凹部与所述侧壁的外侧面之间的间隙形成三面封闭的工作液流道。本喷嘴能使从所述工作液出口流出的工作液通过该工作液流道能够形成均匀水幕，喷涂作业时流出的工作液分布均匀，对喷涂作业的工作介质表面冲击力小，能够满足较大面积喷涂作业以及较宽范围内同时作业的需求，喷涂效率高；工作液的利用率高，降低了喷涂因工作液浪费产生的成本；避免了因工作液喷涂作业时分布不均造成的产品报废，提高了产品的成品率。
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公开(公告)号：CN103984213A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201410148971.0
申请日：2014-04-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴，包括：喷嘴主体，该喷嘴主体内部设有进液流道、均压流道以及出射流道；开有一狭缝的矩形导流板，该矩形导流板装于所述进液流道下端的法兰部，所述进液流道通过该矩形导流板的狭缝过渡到所述均压流道；带喷嘴入口的盖板，与所述喷嘴主体密封连接；及，排气装置，插接于所述喷嘴主体的一端，其内的排气管道与所述进液流道连通。该导流板的狭缝与均压流道的导流斜面的配合实现了液体的均匀分配，使液体经过进液流道后均匀稳定流入均压流道，同时液体在均压流道稳定到一定高度，依靠液体内部静压作用液体从出射流道均匀流出，实现了显影喷涂的均匀性和稳定性。
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公开(公告)号：CN101570626A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200910107913.2
申请日：2009-06-08
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明涉及复合材料，特别是一种利用废旧线路板中回收的非金属材料制作的复合材料，其按重量计包括：25％～40％基体材料、12％～20％增强材料、30％～40％填料、10％～18％增稠剂、1％～2％固化剂、0.5％～1％促进剂、 0.5％～1.5％内脱模剂；其中，基体材料为不饱和聚酯树脂，增强材料采用长度为30～50mm的玻璃纤维，填料为废旧线路板非金属材料的粉料，粉料中微粒直径≤850μm。本发明的玻璃纤维增强塑料抗弯、抗拉等性能优异，可用来制作道路标志板、水篦等路政设施。其采用废旧线路板非金属材料做填料，资源得到再利用，而且减少了环境污染。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101382781A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200710076913.1
申请日：2007-09-05
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G05B19/042
Abstract: 一种通过电机电流闭环反馈的自动进料控制装置，包括单片机、霍尔电流传感器、用于控制振动器通断的双向可控硅及连接于双向可控硅控制极的RC电路以及固态继电器。它用霍尔电流传感器检测电机电流并转化为数字信号，基于模糊控制理论与单片机内设定的标准值进行比较，利用单片机产生脉宽调制信号，控制固态继电器的通断时间，达到实现进料的自适应控制的目的。同时该自动进料装置设计了标定功能，可针对不同的应用环境，更改单片机内设定的标准值。可广泛应用于根据电机负载控制自动进料的场合，如破碎机，磨粉机等，对实现该类设备的自动化具有重要意义。
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公开(公告)号：CN101372915A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200710076496.0
申请日：2007-08-21
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: F02C3/20 , F02C7/22 , F02C6/00 , F23R3/40 , F01D9/00 , F01D9/02 , F01D11/00 , F01D25/12 , F01D25/16
Abstract: 一种单组元微型透平发电系统，包括单组元燃料贮存罐、手动燃料控制阀、催化床、微型透平机系统、发电机和辅助装置。它以单组元燃料如高浓度过氧化氢或高浓度过氧化氢和柴油的混合物为燃料，通过催化反应将上述单组元燃料分解为高温高压混合气，以作为直接驱动微型透平机系统旋转的动力，并带动发电机发电而输出电能。本发明具有体积小、重量轻、能量密度高、工作可靠及使用范围宽等特点，是适用于太空、高原或水下等各种缺氧或无氧环境中的能量供应装置。
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公开(公告)号：CN101008320A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200610064697.4
申请日：2006-12-29
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种脉冲摆式单组元发动机，包括单组元燃料罐、储气罐、催化床、电控单元、摆式发动机、燃料控制电磁阀和紧急排放阀。它以单组元推进剂如高浓度过氧化氢和柴油的混合物为燃料，并通过催化反应将上述混合单组元燃料分解为高温高压混合气并储存于储气罐中；当储气罐中混合气的压力达到设定压力值时，由电控单元通过两个气动开关阀控制发动机工作，实现摆动动力的直接输出或通过发电机实现电能输出。摆式发动机的工作频率等于两个气动开关阀的切换频率。本发明具有体积小、重量轻、能量密度高、运动件少、工作可靠及使用范围宽等特点，是适用于太空、高原或水下等各种缺氧或无氧环境中的能量供应装置。
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公开(公告)号：CN103691623A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201310717844.3
申请日：2013-12-23
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: B05C5/02
Abstract: 一种实现均匀喷涂低冲击的组合工艺喷嘴，包括相对设置围成一个腔体的第一板体和喷嘴主体，喷嘴主体设置连通所述腔体的供液通道，第一板体设置连通所述腔体的复数个喷液孔，所述第一板体侧立设置，喷嘴主体设置在第一板体的第一表面，第一板体的第二表面设置第二板体，所述第二表面靠近下端处向所述第一表面凹陷形成与第一表面平行的第三表面，第二板体的下半段与所述第三表面相对且相隔一定距离从而围成一条喷涂狭缝，第二板体的下端伸出喷嘴主体的底面，所述复数个喷液孔贯穿所述第一表面和第三表面。本组合工艺喷嘴不但能够减缓喷涂液对喷涂表面的冲击压力，而且能够实现均匀喷涂。
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公开(公告)号：CN101570626B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200910107913.2
申请日：2009-06-08
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明涉及复合材料，特别是一种利用废旧线路板中回收的非金属材料制作的复合材料，其按重量计包括：25％～40％基体材料、12％～20％增强材料、30％～40％填料、10％～18％增稠剂、1％～2％固化剂、0.5％～1％促进剂、0.5％～1.5％内脱模剂；其中，基体材料为不饱和聚酯树脂，增强材料采用长度为30～50mm的玻璃纤维，填料为废旧线路板非金属材料的粉料，粉料中微粒直径≤850μm。本发明的玻璃纤维增强塑料抗弯、抗拉等性能优异，可用来制作道路标志板、水篦等路政设施。其采用废旧线路板非金属材料做填料，资源得到再利用，而且减少了环境污染。
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