公开(公告)号：CN217728406U

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202220892896.9

申请日：2022-04-18

Applicant: 湖北台基半导体股份有限公司

Inventor： 刘磊 ,  樊小武 ,  彭松 ,  杨宁 ,  楚奇 ,  钟涛

IPC: B24C3/02 ,  B24C9/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型的名称是一种半导体芯片喷砂机。属于功率半导体器件生产设备技术领域。主要是解决现有技术中存在设备及其使用成本高的问题。它的主要特征是：包括圆筒形防护箱、喷砂管、喷砂枪、若干晶圆安装组件、漏斗、分离箱、第一驱动机构和第二驱动机构；所述若干晶圆安装组件沿防护箱圆周壁间隔设置；所述晶圆安装组件包括晶圆安装件、晶圆安装件旋转机构和晶圆安装件伸缩机构；所述第一驱动机构和第二驱动机构设置于防护箱上，第一驱动机构与晶圆安装件旋转机构连接，第二驱动机构与晶圆安装件伸缩机构连接。本实用新型具有结构简单、操作方便、喷砂效果好和设备及其使用成本低的特点，主要用于功率半导体器件芯片的喷砂处理。

公开(公告)号：CN217122725U

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202220928698.3

申请日：2022-04-21

Applicant: 湖北台基半导体股份有限公司

Inventor： 刘磊 ,  樊小武 ,  彭松 ,  汝严 ,  刘鹏 ,  杨宁

IPC: B24B9/06 ,  B24B27/00 ,  B24B41/06 ,  B24B47/04

Abstract: 本实用新型的名称是一种半导体芯片自动磨角机。属于功率半导体器件生产设备技术领域。主要是解决现有芯片四个顶角因不能同时打磨而导致打磨效率低的问题。它的主要特征是：包括连接板，所述连接板上设置有限位机构、打磨机构和移动机构；其中，所述打磨机构包括设置在连接板相对的两端、并分别与移动机构连接的铰接板，所述两个所述铰接板的两端均铰接有打磨板，所述两个打磨板之间固定连接有弹簧。本实用新型具有结构简单、操作方便、可同时对芯片四个顶角同时自动磨角和大大缩短磨角时间的特点，主要用于功率半导体器件芯片顶角的自动磨角。