无源电子元件的基于激光的终结

    公开(公告)号:CN101091225A

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN200480031984.4

    申请日:2004-11-04

    Abstract: 终结无源电子元件的末端涉及将激光烧蚀涂层(70)施加至衬底(10和34)的各相对的主要表面(14和16、36和38)。引导所具有的光斑尺寸和能量分布足以从主要表面的多个选定区域去除激光烧蚀涂层的UV激光束入射到衬底上。UV激光束和衬底之间的相对运动去除足量的激光烧蚀涂层,以暴露相对的主要表面的多个选定区域。衬底然后被断裂成多个条棒(48和50),每个条棒包括侧边缘(60和62),沿着侧边缘,设置相对主要表面的空间上对齐的不同对的选定区域。导电材料被施加至侧边缘,以在空间上对齐的每对选定区域之间形成导电互连部分(56和58)。

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