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公开(公告)号：CN104620097A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201380047045.8
申请日：2013-08-01
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/956 , H01L21/027 , H01L21/66
CPC classification number: G06T7/0004 , G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明提供用于检验晶片及/或预测形成于晶片上的装置的一或多个特性的方法。一种方法包含：获取印刷于晶片上的多个裸片的图像，所述裸片中的每一者是通过对所述晶片执行双重图案化光刻过程而印刷，且所述裸片包含以针对所述双重图案化光刻过程的叠对的标称值印刷的两个或两个以上裸片以及以所述叠对的经调制值印刷的一或多个裸片；将针对以所述标称值印刷的所述多个裸片所获取的所述图像与针对以所述经调制值印刷的所述多个裸片所获取的所述图像进行比较；及基于所述比较步骤的结果来检测以所述经调制值印刷的所述多个裸片中的缺陷。
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公开(公告)号：CN104380454A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380030350.6
申请日：2013-05-03
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/67733 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明涉及一种包含专用材料搬运模块的设备，所述专用材料搬运模块具有界定选自制作设施中的多个工具的第一工具与第二工具之间的输送路线的专用自动化材料搬运系统AMHS。所述专用AMHS经配置以独立于制作设施AMHS而在所述第一工具与所述第二工具或所述第二工具与所述第一工具之间输送晶片载体，所述制作设施AMHS经配置以在所述多个工具间输送晶片载体。
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公开(公告)号：CN104380454B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201380030350.6
申请日：2013-05-03
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
Abstract: 本发明涉及一种包含专用材料搬运模块的设备，所述专用材料搬运模块具有界定选自制作设施中的多个工具的第一工具与第二工具之间的输送路线的专用自动化材料搬运系统AMHS。所述专用AMHS经配置以独立于制作设施AMHS而在所述第一工具与所述第二工具或所述第二工具与所述第一工具之间输送晶片载体，所述制作设施AMHS经配置以在所述多个工具间输送晶片载体。应强调，提供本摘要是为了遵守要求提供摘要以使搜索者或其他读者快速判定技术揭示内容的标的物的规则。提交本摘要是基于以下理解：其将不被用于解释或限制权利要求书的范围或含义。
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公开(公告)号：CN104620097B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201380047045.8
申请日：2013-08-01
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/956 , H01L21/027 , H01L21/66
CPC classification number: G06T7/0004 , G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明提供用于检验晶片及/或预测形成于晶片上的装置的一或多个特性的方法。一种方法包含：获取印刷于晶片上的多个裸片的图像，所述裸片中的每一者是通过对所述晶片执行双重图案化光刻过程而印刷，且所述裸片包含以针对所述双重图案化光刻过程的叠对的标称值印刷的两个或两个以上裸片以及以所述叠对的经调制值印刷的一或多个裸片；将针对以所述标称值印刷的所述多个裸片所获取的所述图像与针对以所述经调制值印刷的所述多个裸片所获取的所述图像进行比较；及基于所述比较步骤的结果来检测以所述经调制值印刷的所述多个裸片中的缺陷。
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