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公开(公告)号：CN108700463A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680082361.2
申请日：2016-11-01
Applicant: 科磊股份有限公司
CPC classification number: G01B11/272 , G03F7/70616 , G03F7/70633 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明提供方法、计量模块及RCA工具，其使用测量图谱中的(若干)谐振区域的行为以相对于对称及不对称因子评估及特征化工艺变动，且相对于工艺步骤提供所述工艺变动的根本原因分析。可使用具有不同层厚度及工艺变动因子的模型化堆叠的模拟来增强所述分析且对计量测量提供经改良目标设计、经改良算法及可校正项。可利用展现敏感谐振区域的特定目标来增强所述工艺变动评估。
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公开(公告)号：CN112485971B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202011278298.4
申请日：2016-04-19
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本申请涉及用于倾斜装置设计的计量目标设计。本发明提供用于测量倾斜装置设计的计量方法、模块及目标。所述方法相对于目标候选者与装置设计之间的图案放置误差PPE的泽尼克(Zernike)灵敏度的关系分析并优化目标设计。蒙特卡罗(Monte Carlo)方法可经应用以增强所述选定目标候选者对透镜像差中及/或装置设计中的变化的稳健性。此外，考虑相对于所述泽尼克灵敏度审慎地修改目标参数以改进计量测量质量且减小不精确性。
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公开(公告)号：CN105830069B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201480067806.0
申请日：2014-12-10
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G06F30/20
Abstract: 本发明提供用于根据外在要求或内在发展及验证需要，分析目标、工艺及计量配置对广泛范围的参数的灵敏度的系统及方法。系统包括以下元件。输入模块经布置以接收与目标、目标计量条件及生产工艺相关的参数，以产生目标数据。计量模拟单元经布置以从所述目标数据模拟目标的计量测量且产生量化所述模拟目标测量的多个度量。灵敏度分析模块经布置以导出所述度量对所述参数的函数相依性且关于所述所导出的函数相依性界定所述参数的所要不确定性。最后，目标优化模块经布置以关于所述模拟目标测量对目标及目标计量条件进行排名。
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公开(公告)号：CN106796900A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580053714.1
申请日：2015-10-02
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： M·E·阿德尔 , I·塔尔西斯-沙皮尔 , J(石铭)·魏 , M·吉诺乌克
Abstract: 本发明提供计量目标设计方法及验证目标。方法包括：使用与经设计计量目标有关的OCD数据作为目标模型与晶片上的对应实际目标之间的差异的估计；及调整计量目标设计模型以补偿所述经估计差异。专属验证目标可包括叠加目标特征且对尺寸进行优化以可由OCD传感器测量，以实现对于由生产工艺变化所引起的不准确度的补偿。方法还包括提供经启用的较高保真度计量目标设计模型及计量测量的最终较高准确度的对制造商与计量商家之间的工作流程的修改。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112331576A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011201964.4
申请日：2015-10-02
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： M·E·阿德尔 , I·塔尔西斯-沙皮尔 , J(石铭)·魏 , M·吉诺乌克
Abstract: 本申请实施例是关于验证计量目标及其设计。示例性的方法包括：使用与经设计计量目标有关的OCD数据作为目标模型与晶片上的对应实际目标之间的差异的估计；及调整计量目标设计模型以补偿所述经估计差异。专属验证目标可包括叠加目标特征且对尺寸进行优化以可由OCD传感器测量，以实现对于由生产工艺变化所引起的不准确度的补偿。方法还包括提供经启用的较高保真度计量目标设计模型及计量测量的最终较高准确度的对制造商与计量商家之间的工作流程的修改。
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公开(公告)号：CN104380454B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201380030350.6
申请日：2013-05-03
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
Abstract: 本发明涉及一种包含专用材料搬运模块的设备，所述专用材料搬运模块具有界定选自制作设施中的多个工具的第一工具与第二工具之间的输送路线的专用自动化材料搬运系统AMHS。所述专用AMHS经配置以独立于制作设施AMHS而在所述第一工具与所述第二工具或所述第二工具与所述第一工具之间输送晶片载体，所述制作设施AMHS经配置以在所述多个工具间输送晶片载体。应强调，提供本摘要是为了遵守要求提供摘要以使搜索者或其他读者快速判定技术揭示内容的标的物的规则。提交本摘要是基于以下理解：其将不被用于解释或限制权利要求书的范围或含义。
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公开(公告)号：CN107532945A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680021294.3
申请日：2016-04-19
Applicant: 科磊股份有限公司
CPC classification number: G01J9/00 , G03F7/705 , G03F7/70683 , H01L22/30
Abstract: 本发明提供用于测量倾斜装置设计的计量方法、模块及目标。所述方法相对于目标候选者与装置设计之间的图案放置误差PPE的泽尼克(Zernike)灵敏度的关系分析并优化目标设计。蒙特卡罗(Monte Carlo)方法可经应用以增强所述选定目标候选者对透镜像差中及/或装置设计中的变化的稳健性。此外，考虑相对于所述泽尼克灵敏度审慎地修改目标参数以改进计量测量质量且减小不精确性。
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公开(公告)号：CN112331576B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202011201964.4
申请日：2015-10-02
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： M·E·阿德尔 , I·塔尔西斯-沙皮尔 , J(石铭)·魏 , M·吉诺乌克
Abstract: 本申请实施例是关于验证计量目标及其设计。示例性的方法包括：使用与经设计计量目标有关的OCD数据作为目标模型与晶片上的对应实际目标之间的差异的估计；及调整计量目标设计模型以补偿所述经估计差异。专属验证目标可包括叠加目标特征且对尺寸进行优化以可由OCD传感器测量，以实现对于由生产工艺变化所引起的不准确度的补偿。方法还包括提供经启用的较高保真度计量目标设计模型及计量测量的最终较高准确度的对制造商与计量商家之间的工作流程的修改。
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公开(公告)号：CN110383442B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN201880014361.8
申请日：2018-02-27
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明提供用于设计计量目标及相对于例如线性质(例如，线边缘粗糙度LER)的随机噪声来估计计量度量值的不确定性误差的方法。可通过具有对应目标的CDSEM(临界尺寸扫描电子显微镜)或光学系统，从所述线性质的分析及计量测量的不确定性误差导出目标元件的最小所需尺寸。鉴于发现在使用例如CPE(每曝光的可校正项)的更局域化模型时，随机噪声可能具有增大的重要性而强调此分析的重要性。所述不确定性误差估计可用于多种上下文中的目标设计、叠加估计增强及测量可靠性评估。
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