公开(公告)号：CN101258784B

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200680032713.X

申请日：2006-09-15

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 中岛节男 ,  武内稔公 ,  松崎纯一 ,  真弓聪 ,  西川理 ,  斋藤直道 ,  中野良宪 ,  福士麻琴 ,  古野喜彦

IPC: H05H1/24 ,  C23C16/50

CPC classification number: H01J37/32623 ,  H01J2237/0206 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 为了提供能够容纳待加工物品的面积的增加、并且能够在开始正常等离子放电时确保适当的加工的大气压等离子加工设备。在一种大气压等离子加工设备中，台(20)的第一台部分(21)的第一金属表面(21a)被暴露，并且由电介质材料组成的待加工物品(W)放置在第一金属表面21a上。固体介电层(25)设置在第二台部分(22)的第二金属(24)上。物品W的周边部分放置在固体介电层(25)的内部介电部分(26)上。电极(11)在第二台部分(22)的上方的第二移动范围(R2)内产生助走放电(D2)。然后，电极(11)移动到第一台部分(21)的上方的第一移动范围(R1)并产生正常等离子放电(D1)。

公开(公告)号：CN101258784A

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200680032713.X

申请日：2006-09-15

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 中岛节男 ,  武内稔公 ,  松崎纯一 ,  真弓聪 ,  西川理 ,  斋藤直道 ,  中野良宪 ,  福士麻琴 ,  古野喜彦

IPC: H05H1/24 ,  C23C16/50

CPC classification number: H01J37/32623 ,  H01J2237/0206 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 为了提供能够容纳待加工物品的面积的增加、并且能够在开始正常等离子放电时确保适当的加工的大气压等离子加工设备。在一种大气压等离子加工设备中，台(20)的第一台部分(21)的第一金属表面(21a)被暴露，并且由电介质材料组成的待加工物品(W)放置在第一金属表面21a上。固体介电层(25)设置在第二台部分(22)的第二金属(24)上。物品W的周边部分放置在固体介电层(25)的内部介电部分(26)上。电极(11)在第二台部分(22)的上方的第二移动范围(R2)内产生助走放电(D2)。然后，电极(11)移动到第一台部分(21)的上方的第一移动范围(R1)并产生正常等离子放电(D1)。