公开(公告)号：CN109682993B

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN201811200076.3

申请日：2018-10-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 成濑敦纪

IPC: G01P15/125

Abstract: 提供具有较高的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：作为支承基板的基部(2)，设置有在一侧开口的腔室(21a)；可动部(52)，形成于腔室(21a)的开口侧，并能够沿第一方向位移；以及弹簧部(53、54)，形成于腔室(21a)的开口侧，并与可动部(52)连接，弹簧部(53、54)的沿与第一方向交叉且基部(2)和可动部(52)重叠的方向即第二方向的长度(H1)小于可动部(52)的沿第二方向的长度(H2)，并且大于弹簧部(53、54)的沿第一方向的长度(W)。

公开(公告)号：CN110553634B

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN201910465503.9

申请日：2019-05-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 成濑敦纪

IPC: G01C19/5733 ,  G01C19/5769 ,  G01C21/16

Abstract: 一种物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性测量单元，能够通过粘合剂提高传感器元件和电路元件之间的胶黏性，并减少偏压输出信号的波动的物理量传感器。所述物理量传感器包括：物理量传感器元件，包括与基板接合以在内部构成收容空间的盖、以及收容在所述收容空间的物理量传感器元件片；以及电路元件，经由粘合剂粘合在所述盖的外表面上，在所述盖上，从贯通所述收容空间和所述相反侧的表面之间并由密封部件密封的贯通孔的内壁，遍及所述相反侧的表面的所述贯通孔的周缘设置有电极，在剖视下，所述电极的所述周缘区域的厚度相比于所述开口侧在与所述开口侧相反一侧更薄。

公开(公告)号：CN109682993A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201811200076.3

申请日：2018-10-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 成濑敦纪

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01L1/144 ,  G01D5/24 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0854

Abstract: 提供具有较高的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：作为支承基板的基部(2)，设置有在一侧开口的腔室(21a)；可动部(52)，形成于腔室(21a)的开口侧，并能够沿第一方向位移；以及弹簧部(53、54)，形成于腔室(21a)的开口侧，并与可动部(52)连接，弹簧部(53、54)的沿与第一方向交叉且基部(2)和可动部(52)重叠的方向即第二方向的长度(H1)小于可动部(52)的沿第二方向的长度(H2)，并且大于弹簧部(53、54)的沿第一方向的长度(W)。

公开(公告)号：CN110553634A

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201910465503.9

申请日：2019-05-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 成濑敦纪

IPC: G01C19/5733 ,  G01C19/5769 ,  G01C21/16

Abstract: 一种物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性测量单元，能够通过粘合剂提高传感器元件和电路元件之间的胶黏性，并减少偏压输出信号的波动的物理量传感器。所述物理量传感器包括：物理量传感器元件，包括与基板接合以在内部构成收容空间的盖、以及收容在所述收容空间的物理量传感器元件片；以及电路元件，经由粘合剂粘合在所述盖的外表面上，在所述盖上，从贯通所述收容空间和所述相反侧的表面之间并由密封部件密封的贯通孔的内壁，遍及所述相反侧的表面的所述贯通孔的周缘设置有电极，在剖视下，所述电极的所述周缘区域的厚度相比于所述开口侧在与所述开口侧相反一侧更薄。

公开(公告)号：CN109557338A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201811118980.X

申请日：2018-09-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 成濑敦纪

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0831 ,  G01P15/18

Abstract: 一种物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体，具有高检测精度。物理量传感器(1)具备：底座基板(2)；可动部(53)，配置为能够相对于底座基板(2)进行位移；支承部(51)，支承可动部(53)；虚拟电极(613)，设于底座基板(2)的可动部(53)一侧，并与可动部(53)相对配置；第一导电部(56)，设于可动部(53)的底座基板(2)一侧，并与虚拟电极(613)相对配置；以及第二导电部(57)，设于支承部(51)的底座基板(2)一侧，第一导电部(56)与第二导电部(57)通过第三导电部(58)连接。