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公开(公告)号：CN101871951A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010193758.3
申请日：2010-06-07
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司 , 瑞声微电子科技(常州)有限公司
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082 , G01P2015/0848 , G01P2015/0854
Abstract: 本发明提供了一种微加速度传感器，其自内向外依次包括第一质量块、与第一质量块外周相连的第一弹性支撑部件、用于固定第一弹性支撑部件的第一固定部、自该第一固定部向外延伸的若干第一定电极、位于第一固定部外部且与其相距一定距离的第二质量块、自该第二质量块内周向第一固定部方向延伸的第一动电极、与第二质量块外周相连的第二弹性支撑部件和用于固定该第二弹性支撑部件的第二固定部。本发明提供的微加速度传感器灵敏度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109682993A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811200076.3
申请日：2018-10-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 成濑敦纪
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01L1/144 , G01D5/24 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0814 , G01P2015/0854
Abstract: 提供具有较高的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：作为支承基板的基部(2)，设置有在一侧开口的腔室(21a)；可动部(52)，形成于腔室(21a)的开口侧，并能够沿第一方向位移；以及弹簧部(53、54)，形成于腔室(21a)的开口侧，并与可动部(52)连接，弹簧部(53、54)的沿与第一方向交叉且基部(2)和可动部(52)重叠的方向即第二方向的长度(H1)小于可动部(52)的沿第二方向的长度(H2)，并且大于弹簧部(53、54)的沿第一方向的长度(W)。
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公开(公告)号：CN101871951B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201010193758.3
申请日：2010-06-07
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司 , 瑞声微电子科技(常州)有限公司
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082 , G01P2015/0848 , G01P2015/0854
Abstract: 本发明提供了一种微加速度传感器，其自内向外依次包括第一质量块、与第一质量块外周相连的第一弹性支撑部件、用于固定第一弹性支撑部件的第一固定部、自该第一固定部向外延伸的若干第一定电极、位于第一固定部外部且与其相距一定距离的第二质量块、自该第二质量块内周向第一固定部方向延伸的第一动电极、与第二质量块外周相连的第二弹性支撑部件和用于固定该第二弹性支撑部件的第二固定部。本发明提供的微加速度传感器灵敏度高。
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公开(公告)号：CN105606844A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510774038.9
申请日：2015-11-13
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
IPC: G01P15/097 , G01P15/08
CPC classification number: G01P15/03 , G01L1/22 , G01P15/0802 , G01P15/097 , G01P21/00 , G01P2015/0854 , G01P2015/0862
Abstract: 具有应变补偿的加速度计。在某些示例中，一种设备包括检验质量和被配置成支撑检验质量的支撑底座，其中，所述检验质量被配置成响应于设备的加速度而移位。该设备还包括被配置成将检验质量柔性连接到支撑底座的弯曲部分。该设备还包括被配置成测量支撑底座上的应变量的应变监视设备。
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公开(公告)号：CN102275860B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201010200713.4
申请日：2010-06-11
Applicant: 张家港丽恒光微电子科技有限公司
IPC: B81B7/02 , B81C1/00 , G01P15/125 , G01D5/241 , G01C19/00
CPC classification number: G01P15/08 , B81B3/0078 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , G01C19/5733 , G01C25/00 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0854 , H01L29/84
Abstract: 本发明提供了一种惯性微机电传感器及其制造方法，该惯性微机电传感器，能够相对移动的主体和质量块，所述主体包括具有第一表面的第一主体和垂直并连接所述第一表面的第二主体，所述第一主体内具有平行于所述第一表面的第一电极，所述第二主体内具有垂直于所述第一表面的第二电极；所述质量块悬置在所述第二主体和第一主体形成的空间内，所述质量块包括平行且相对于所述第一表面的第三电极、垂直于所述第一表面的第四电极和质量层，所述第三电极和第四电极相连并构成U型凹槽，所述质量层填充于所述U型凹槽内，可以有效地提高惯性质量块的重量，提高惯性微机电传感器的精确度，并降低制造成本。
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公开(公告)号：CN102275860A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201010200713.4
申请日：2010-06-11
Applicant: 江苏丽恒电子有限公司
IPC: B81B7/02 , B81C1/00 , G01P15/125 , G01D5/12 , G01C19/00
CPC classification number: G01P15/08 , B81B3/0078 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , G01C19/5733 , G01C25/00 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0854 , H01L29/84
Abstract: 本发明提供了一种惯性微机电传感器及其制造方法，该惯性微机电传感器，能够相对移动的主体和质量块，所述主体包括具有第一表面的第一主体和垂直并连接所述第一表面的第二主体，所述第一主体内具有平行于所述第一表面的第一电极，所述第二主体内具有垂直于所述第一表面的第二电极；所述质量块悬置在所述第二主体和第一主体形成的空间内，所述质量块包括平行且相对于所述第一表面的第三电极、垂直于所述第一表面的第四电极和质量层，所述第三电极和第四电极相连并构成U型凹槽，所述质量层填充于所述U型凹槽内，可以有效地提高惯性质量块的重量，提高惯性微机电传感器的精确度，并降低制造成本。
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