公开(公告)号：CN110800317A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201880043915.7

申请日：2018-07-26

Applicant: 美商楼氏电子有限公司

Inventor： A·库夫内尔 ,  桑·博克·李 ,  陈彦豪 ,  郭耀阳 ,  J·胡伊 ,  J·阿伯斯 ,  J·里格

IPC: H04R1/04 ,  H04R19/04 ,  B81B3/00

Abstract: 一种微机电系统(MEMS)电机包括基板、背板和隔膜。基板具有第一表面和第二表面。第二表面具有槽，该槽至少部分延伸到基板中。端口延伸穿过基板。背板被安装到基板的第一表面，并且背板覆盖端口的至少一部分。隔膜位于背板与基板之间。隔膜响应于声能通过端口而相对于背板移动。

公开(公告)号：CN110800317B

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201880043915.7

申请日：2018-07-26

Applicant: 美商楼氏电子有限公司

Inventor： A·库夫内尔 ,  桑·博克·李 ,  陈彦豪 ,  郭耀阳 ,  J·胡伊 ,  J·阿伯斯 ,  J·里格

IPC: H04R1/04 ,  H04R19/04 ,  B81B3/00

Abstract: 微机电系统电机和麦克风。一种微机电系统(MEMS)电机包括基板、背板和隔膜。基板具有第一表面和第二表面。第二表面具有槽，该槽至少部分延伸到基板中。端口延伸穿过基板。背板被安装到基板的第一表面，并且背板覆盖端口的至少一部分。隔膜位于背板与基板之间。隔膜响应于声能通过端口而相对于背板移动。