-
公开(公告)号:CN110800317A
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201880043915.7
申请日:2018-07-26
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 一种微机电系统(MEMS)电机包括基板、背板和隔膜。基板具有第一表面和第二表面。第二表面具有槽,该槽至少部分延伸到基板中。端口延伸穿过基板。背板被安装到基板的第一表面,并且背板覆盖端口的至少一部分。隔膜位于背板与基板之间。隔膜响应于声能通过端口而相对于背板移动。
-
公开(公告)号:CN110800317B
公开(公告)日:2021-11-30
申请号:CN201880043915.7
申请日:2018-07-26
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 微机电系统电机和麦克风。一种微机电系统(MEMS)电机包括基板、背板和隔膜。基板具有第一表面和第二表面。第二表面具有槽,该槽至少部分延伸到基板中。端口延伸穿过基板。背板被安装到基板的第一表面,并且背板覆盖端口的至少一部分。隔膜位于背板与基板之间。隔膜响应于声能通过端口而相对于背板移动。
-
公开(公告)号:CN211321503U
公开(公告)日:2020-08-21
申请号:CN201922216572.4
申请日:2019-12-11
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种振动换能器。所述振动换能器包括:第一基板部分;第一电极,所述第一电极耦合到所述第一基板部分并且位于所述第一基板部分中的第一孔的上方;第二电极,所述第二电极设置在所述第一基板部分与所述第一电极之间,所述第二电极与所述第一电极轴向地间隔开;和锚,所述锚联接到所述第一电极或所述第二电极,所述锚自由地悬置在所述第一基板部分的所述第一孔内,其中,所述锚响应于振动而将所述锚从其悬置的电极移动;和支撑构件,所述支撑构件被定位成邻近所述锚,其中所述支撑构件限制了所述锚的侧向位移。
-
-