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公开(公告)号：CN113865485B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202111131705.3
申请日：2021-09-26
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种离轴非球面元件用六自由度调整平台精度优化方法及系统，利用激光跟踪仪测量调整平台位置姿态以及六自由度调整平台的下平台各铰链点在固定坐标系OXYZ中的位置向量，配合光栅尺获取六自由度调整平台六个支腿的长度，建立方程解出上平台各铰链点在动坐标系PX′Y′Z′中的位置向量对六自由度调整平台各运动副的初始位置进行标定，定义距离LP和Lθ对反解得到理想支腿长度衍生出的26组位姿方案进行筛选以提高驱动控制精度，操作简单，效率高，精度高。
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公开(公告)号：CN114252034A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111668066.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
Abstract: 本发明公开了一种非球面磨削加工中的对刀误差补偿方法及系统，针对非球面磨削中无法精确对刀的问题，通过对大尺寸非球面超精密加工的工艺分析，提出基于在位测量的轮廓母线并进行数据校正的磨削对刀方法，存在对刀误差时，加工完成的成品工件中心会出现山峰状突起。通过对非球面母线进行二维检测，根据母线中心突起的大小和形状，配合砂轮参数可以计算出刀具坐标系与工件坐标系的偏差，从而对其校正。本发明方法适用性强，结构简单。
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公开(公告)号：CN114252034B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202111668066.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
Abstract: 本发明公开了一种非球面磨削加工中的对刀误差补偿方法及系统，针对非球面磨削中无法精确对刀的问题，通过对大尺寸非球面超精密加工的工艺分析，提出基于在位测量的轮廓母线并进行数据校正的磨削对刀方法，存在对刀误差时，加工完成的成品工件中心会出现山峰状突起。通过对非球面母线进行二维检测，根据母线中心突起的大小和形状，配合砂轮参数可以计算出刀具坐标系与工件坐标系的偏差，从而对其校正。本发明方法适用性强，结构简单。
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公开(公告)号：CN113865485A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111131705.3
申请日：2021-09-26
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种离轴非球面元件用六自由度调整平台精度优化方法及系统，利用激光跟踪仪测量调整平台位置姿态以及六自由度调整平台的下平台各铰链点在固定坐标系OXYZ中的位置向量，配合光栅尺获取六自由度调整平台六个支腿的长度，建立方程解出上平台各铰链点在动坐标系PX′Y′Z′中的位置向量对六自由度调整平台各运动副的初始位置进行标定，定义距离LP和Lθ对反解得到理想支腿长度衍生出的26组位姿方案进行筛选以提高驱动控制精度，操作简单，效率高，精度高。
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公开(公告)号：CN115183697B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202210841640.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉光强信息的相位提取方法及系统，采集两帧相差为#imgabs0#的非球面干涉图，并用从球面镜干涉图中计算出的背景光强和调制度代替待测元件的背景光强和调制度，基于干涉公式对非球面干涉图进行相位提取；对相位信息进行相位解包，并用Zernike多项式对波面进行拟合以消除调整误差，最后求解待测面形信息。本发明是以干涉场的光强分布和干涉图中像素点的灰度信息为基础，通过计算光强，只需采集两帧干涉图即可完成对非球面元件的面形检测，结构简单，相较于传统的多步移相法，有效减少了移相次数，避免了误差累积，检测效率更高，适用于大批量的非球面元件检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116740443A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310705036.9
申请日：2023-06-14
Applicant: 西安交通大学
IPC: G06V10/764 , G06V10/80 , G06V10/77 , G06V10/774 , G06V10/82 , G06T3/40 , G06T7/11 , G06N3/0464 , G06N3/08
Abstract: 一种基于少样本学习的多尺度特征匹配印刷缺陷检测方法，采集正常印刷图像为正样本，通过数据增强进行扩充，得到数据集；将数据集中的同一图像调整为两种尺寸，实现多尺度尺寸输入，然后分别利用预训练网络提取特征、局部邻域特征聚合、特征降维和多层特征融合，得到两种特征集合，分别进行稀疏采样得到两种核心集合；将待检测图像调整至前述两种尺寸，并采用同样方法得到两种特征集合；利用K最近邻检索算法进行特征匹配，并将得到的异常分割结果合并，实现异常检测。本发明通过多尺度的特征提取和特征匹配，该方法能够在不同尺度下更全面地捕捉异常区域，并通过合并结果提高异常检测的准确性和鲁棒性。
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公开(公告)号：CN114688963B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN202210283332.X
申请日：2022-03-22
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B9/02 , G01B9/02015 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种多波长点衍射干涉仪用光路合束质量检测校准方法及系统，用彩色CCD采集各个通道的光斑，计算光斑的轮廓、质心等参数，分析合束光的合束效果、空间传播状态及误差来源，将其误差作为反馈信号控制相关驱动元件，构成闭环的反馈控制系统，精确调整多波长光路。本发明结构简单，功能全面，可对合束光的空间传播状态、光强及分布、光路的焦点和倾斜状态进行检测与校准，适用于多波长干涉测量领域。
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公开(公告)号：CN113465540B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202110770501.8
申请日：2021-07-07
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种针孔点衍射干涉测量系统用孔板相移解相位方法，将线偏振激光转变为圆偏振激光，再扩束变为平行光，将平行光汇聚到针孔衍射板上衍射分为检测波和参考波；检测波通过被测非球面镜反射至针孔衍射板，由针孔衍射板再次反射并与参考波干涉，控制针孔衍射板在ZX平面沿被测非球面镜的光轴方向移动相应步长，检测波和参考波发生干涉，获得对应步长的干涉图像，采集干涉图像，根据所采集的干涉图像信息获得相位。本发明避免了被测镜口径受到压电纳米平台负载能力限制，提高了被测镜可测量的口径范围。
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公开(公告)号：CN115183697A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210841640.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉光强信息的相位提取方法及系统，采集两帧相差为的非球面干涉图，并用从球面镜干涉图中计算出的背景光强和调制度代替待测元件的背景光强和调制度，基于干涉公式对非球面干涉图进行相位提取；对相位信息进行相位解包，并用Zernike多项式对波面进行拟合以消除调整误差，最后求解待测面形信息。本发明是以干涉场的光强分布和干涉图中像素点的灰度信息为基础，通过计算光强，只需采集两帧干涉图即可完成对非球面元件的面形检测，结构简单，相较于传统的多步移相法，有效减少了移相次数，避免了误差累积，检测效率更高，适用于大批量的非球面元件检测。
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公开(公告)号：CN111561877B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202010333826.5
申请日：2020-04-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于点衍射干涉仪的可变分辨率相位解包裹方法，生成与干涉仪实际采集得到网络模型训练和验证数据；进行包裹处理后建立训练/验证数据集，采用四步移相法提取干涉图相位数据；建立卷积自编码神经网络模型，将训练数据输入模型，通过多次迭代训练网络直至最优状态然后再对仪器采集的待处理数据进行预测；在预测前根据分辨率对包裹相位图进行区域划分，通过后续拼接策略进行全幅解包；以原始包裹相位为基准，提取数据跳变点得到包裹区域轮廓，套入初始预测结果并以区域为单位去噪，对预测结果进行优化处理提高解包准确度；利用Iterative Closest Point算法拼接多组相邻相位数据实现分辨率可调。解包精度高，通用性强，实时处理能力强。
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