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公开(公告)号：CN119407173B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510012051.4
申请日：2025-01-06
Applicant: 西安稀有金属材料研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种铝铬合金靶材的短流程制备方法，该方法包括：一、准备粉末原料；二、混匀；三、烘干；四、梯度加热、加压SPS烧结；五、包覆热轧及退火处理；六、机加工、校直、真空退火及清洗处理。本发明采用梯度加热、加压的SPS烧结工艺，不仅获得了合金化完全、组织均匀致密的铝铬合金靶材坯料，极大缩短制备周期，大幅提高生产效率，有效保证了良好的合金化效果，还避免长时间烧结造成晶粒长大和氧含量增加的问题，结合包覆热轧及退火工艺，进一步细化晶粒、提高组织均匀性，消除了SPS单轴压力引起密度均匀性差的问题，同时避免使用价格昂贵的热等静压设备，极大降低生产成本，适合大范围推广应用。
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公开(公告)号：CN119407173A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202510012051.4
申请日：2025-01-06
Applicant: 西安稀有金属材料研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种铝铬合金靶材的短流程制备方法，该方法包括：一、准备粉末原料；二、混匀；三、烘干；四、梯度加热、加压SPS烧结；五、包覆热轧及退火处理；六、机加工、校直、真空退火及清洗处理。本发明采用梯度加热、加压的SPS烧结工艺，不仅获得了合金化完全、组织均匀致密的铝铬合金靶材坯料，极大缩短制备周期，大幅提高生产效率，有效保证了良好的合金化效果，还避免长时间烧结造成晶粒长大和氧含量增加的问题，结合包覆热轧及退火工艺，进一步细化晶粒、提高组织均匀性，消除了SPS单轴压力引起密度均匀性差的问题，同时避免使用价格昂贵的热等静压设备，极大降低生产成本，适合大范围推广应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119243094A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411434737.4
申请日：2024-10-15
Applicant: 西安稀有金属材料研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超细晶铜靶材的制备方法，包括以下步骤：步骤一、将无氧铜板依次清洗和打磨，得到预轧板材；步骤二、将两块预轧板材重叠并固定，随后在无氧铜板的再结晶温度以下进行多道次轧制，得到轧制板材；步骤三、将轧制板材从中间切割，然后重复步骤一和步骤二多次，得到加工板材；步骤四、将加工板材回复退火，随后依次矫直、机加工和清洗，得到超细晶铜靶材。本发明采用累积叠轧技术对铜板进行剧烈塑性变形，通过大应变量突破传统加工方式对晶粒尺寸的细化极限，实现了纯铜晶粒尺寸的超级细化，得到了超细晶靶材，所用设备简单，制备的样品尺寸大，能够实现超细晶板材的连续化工业生产，是一种极具潜力的超细晶靶材产业化的生产技术。
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公开(公告)号：CN118668168B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411174631.5
申请日：2024-08-26
Applicant: 西安稀有金属材料研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高纯铬靶材的制备方法，该制备方法包括以下步骤：步骤一、冷等静压：将铬粉末真空封装处理放入冷等静压机内冷压处理，得到铬块；步骤二、烧结：将铬块进行烧结处理，得到铬坯料；步骤三、热锻；步骤四、退火；步骤五、热轧；步骤六、加工：将铬坯料依次进行机加工、清洗处理、真空封装，得到高纯铬靶材；本发明还公开了一种高纯铬靶材。本发明的制备方法通过采用冷等静压、烧结、热锻、退火的工艺结合，通过调整各阶段工艺参数来调控铬靶材组织结构，制备出不同尺寸、组织均匀、晶粒细小、高质量纯度的铬靶材，适用于高性能溅射靶材加工技术领域。
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公开(公告)号：CN119194380A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411331029.8
申请日：2024-09-24
Applicant: 西安稀有金属材料研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸铝铬硼合金靶材的制备方法，该方法包括：一、将铬粉末、硼粉末及铝颗粒原料预处理；二、将铬粉末、硼粉末混合后冷等静压成型得到铬硼冷压坯料；三、采用控铝及梯度磁悬浮一次熔炼法制备铝铬硼合金铸锭；四、半固态坯料制备；五、半固态锻造成型；六、真空退火；七、后续机加工、校直、真空退火以及清洗处理得到铝铬硼合金靶材。本发明采用控铝及梯度磁悬浮一次熔炼，获得成分均匀且稳定可控、内部无缺陷的铸锭，结合采用半固态锻造、退火处理工艺获得了组织均匀细小、低氧的铝铬硼合金靶材，提高了铸锭的利用率和生产效率，适合大尺寸铝铬硼靶材的批量生产。
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公开(公告)号：CN118480706A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410774113.0
申请日：2024-06-17
Applicant: 西安稀有金属材料研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸钛铝合金靶材的制备方法，该方法包括：一、准备原料铝钛中间合金及钛颗粒；二、将钛颗粒进行一次磁悬浮熔炼；三、分批次加入铝钛中间合金颗粒进行二次磁悬浮熔炼；四、提高功率进行三次磁悬浮熔炼；五、切除底端和冒口部分并车削处理；六、二次加热重熔和半固态锻造、真空退火；七、机加工、校直、真空退火以及清洗处理得到钛铝合金靶材。本发明采用磁悬浮熔炼及分批添加铝钛中间合金的多次熔炼方式，获得成分均匀且稳定可控、内部无缺陷的铸锭，结合使用半固态锻造、退火工艺处理获得了组织均匀细小、低氧的钛铝合金靶材，提高了铸锭的利用率和生产效率，适合大尺寸靶材的批量生产。
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公开(公告)号：CN118668168A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202411174631.5
申请日：2024-08-26
Applicant: 西安稀有金属材料研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高纯铬靶材的制备方法，该制备方法包括以下步骤：步骤一、冷等静压：将铬粉末真空封装处理放入冷等静压机内冷压处理，得到铬块；步骤二、烧结：将铬块进行烧结处理，得到铬坯料；步骤三、热锻；步骤四、退火；步骤五、热轧；步骤六、加工：将铬坯料依次进行机加工、清洗处理、真空封装，得到高纯铬靶材；本发明还公开了一种高纯铬靶材。本发明的制备方法通过采用冷等静压、烧结、热锻、退火的工艺结合，通过调整各阶段工艺参数来调控铬靶材组织结构，制备出不同尺寸、组织均匀、晶粒细小、高质量纯度的铬靶材，适用于高性能溅射靶材加工技术领域。
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