公开(公告)号：CN101899643B

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201010192558.6

申请日：2010-05-27

Applicant: 西部数据传媒公司

Inventor： 陈金良 ,  K·尼帕

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/50

CPC classification number: C23C14/568 ,  C23C14/50 ,  C23C14/564

Abstract: 一种用于溅射系统的磁性粒子捕集器包括具有多个开口的滚筒覆盖板和捕集磁性粒子的多个磁体，所述多个开口被布置并且其尺寸被设计成容纳与所述溅射系统的机械传送机构关联的多个滚筒，所述多个磁体在与所述多个开口接近的位置附连到所述滚筒覆盖板上。

公开(公告)号：CN101899643A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN201010192558.6

申请日：2010-05-27

Applicant: 西部数据传媒公司

Inventor： 陈金良 ,  K·尼帕

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/50

CPC classification number: C23C14/568 ,  C23C14/50 ,  C23C14/564

Abstract: 一种用于溅射系统的磁性粒子捕集器包括具有多个开口的滚筒覆盖板和捕集磁性粒子的多个磁体，所述多个开口被布置并且其尺寸被设计成容纳与所述溅射系统的机械传送机构关联的多个滚筒，所述多个磁体在与所述多个开口接近的位置附连到所述滚筒覆盖板上。