氧化镁单晶蒸镀材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN101124347A

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:CN200680005522.4

    申请日:2006-02-21

    CPC classification number: C23C14/3414 C30B23/02 C30B29/16

    Abstract: 本发明提供一种单晶MgO蒸镀材料,其作为一种靶材使用,该靶材用于使用以电子束蒸镀法为首的真空蒸镀法在基板上形成MgO膜。该蒸镀材料不降低蒸镀时的成膜速度,可防止产生飞溅,并且可提高优异的膜特性,例如作为PDP用保护膜使用时的放电特性等。蒸镀材料由氧化镁单晶形成,将所述蒸镀材料的最大投影面的等效圆直径设为D(m)、将与所述最大投影面垂直的方向的厚度设为t(m)、将蒸镀材料的体积设为V(m3)时,D/t为4以上,t为0.4×10-3m以上,V为5×10-9m3以上,并且,所述最大投影面的总面积的90%以上是由(100)面、(110)面及(111)面中的至少一种构成。

    单晶氧化镁及其制造方法

    公开(公告)号:CN101146936B

    公开(公告)日:2011-01-19

    申请号:CN200680009667.1

    申请日:2006-03-24

    CPC classification number: C30B29/16 C23C14/081 C30B11/003 C30B23/066

    Abstract: 本发明提供一种单晶MgO,其用于得到氧化镁(MgO)单晶蒸镀材料,该蒸镀材料在通过电子束蒸镀法等蒸镀时,可防止发生飞溅而不降低蒸镀时的成膜速度;以及提供一种单晶MgO,其用于得到单晶MgO基板,该基板可形成例如超导特性优异的超导体薄膜。该单晶MgO的钙含量为150×10-6~1000×10-6kg/kg、硅含量为10×10-6kg/kg以下,并且通过TOF-SIMS对单晶MgO的研磨面进行分析时的钙碎片离子检测量的变化以CV值计为30%以下。还提供一种由该单晶MgO得到的单晶MgO蒸镀材料和薄膜形成用单晶MgO基板。

    单晶氧化镁及其制造方法

    公开(公告)号:CN101146936A

    公开(公告)日:2008-03-19

    申请号:CN200680009667.1

    申请日:2006-03-24

    CPC classification number: C30B29/16 C23C14/081 C30B11/003 C30B23/066

    Abstract: 本发明提供一种单晶MgO,其用于得到氧化镁(MgO)单晶蒸镀材料,该蒸镀材料在通过电子束蒸镀法等蒸镀时,可防止发生飞溅而不降低蒸镀时的成膜速度;以及提供一种单晶MgO,其用于得到单晶MgO基板,该基板可形成例如超导特性优异的超导体薄膜。该单晶MgO的钙含量为150×10-6~1000×10-6kg/kg、硅含量为10×10-6kg/kg以下,并且通过TOF-SIMS对单晶MgO的研磨面进行分析时的钙碎片离子检测量的变化以CV值计为30%以下。还提供一种由该单晶MgO得到的单晶MgO蒸镀材料和薄膜形成用单晶MgO基板。

    氢氧化镁粒子及其制法以及包含该粒子的树脂组合物

    公开(公告)号:CN1854067A

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200610076518.9

    申请日:2006-04-28

    Abstract: 本发明提供一种氢氧化镁粒子及其制法以及包含该粒子的树脂组合物。本发明的目的在于提供一种阻燃性优异且对树脂的填充性良好、并且作为半导体封装用树脂的填充剂非常有用的氢氧化镁阻燃剂以及低成本地制造该阻燃剂的方法。一种氢氧化镁阻燃剂,其特征在于包含一种氢氧化镁粒子,该氢氧化镁粒子是晶体外形由相互平行的上下2个六角形底面和形成在这些底面间的周围6个棱柱面构成的六棱柱形状粒子,上述六棱柱形状粒子的c轴方向的尺寸为1.5×10-6~ 6.0×10-6m。

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