公开(公告)号：CN101048055A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200610172962.0

申请日：2006-11-30

Applicant: 通用电气公司

Inventor： H·萨伊尔 ,  A·梅梅特 ,  E·B·库珀 ,  T·伊科兹 ,  M·谢普肯斯 ,  刘翔

IPC: H05K7/20 ,  F28F3/02 ,  F28F21/02 ,  H01L23/367 ,  H01L23/373

CPC classification number: H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 用于电子装置或者发热装置的受热器组件由超薄石墨层构成。该超薄石墨层表现出本质上各向异性并且在至少一个平面上大于500W/m℃的导热率并且包括至少一个石墨烯层。该超薄石墨层由层结构支持，该层包括金属、聚合树脂、陶瓷及其混合物中的至少一种，其设置在石墨层的至少一个表面上。

公开(公告)号：CN101154555A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200610064415.0

申请日：2006-12-08

Applicant: 通用电气公司

Inventor： J·玛丽娜 ,  A·萨恩 ,  T·埃巴塔 ,  M·谢普肯斯 ,  刘翔 ,  W·范

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/683 ,  C03B11/12

Abstract: 提供了一种用于调节/控制衬底表面温度的加热装置。至少一个热解石墨(TPG)层嵌入加热器，以扩散加热装置中不同部件的温度差并且提供衬底表面温度的时间空间上的控制，从而实现衬底上最高和最低温度点之间的差值低于10℃的相对均匀的衬底温度。

公开(公告)号：CN101085708A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200610064742.6

申请日：2006-11-30

Applicant: 通用电气公司

Inventor： D·A·隆沃思 ,  T·J·赫尔 ,  陆中浩 ,  刘翔

IPC: C04B41/50 ,  H01L21/00 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H05B3/14

CPC classification number: H01L21/68714 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  H05B3/145 ,  H05B3/265 ,  C04B41/4531 ,  C04B41/5001 ,  C04B41/5063 ,  C04B41/5064 ,  C04B41/522 ,  C04B35/522

Abstract: 一种制品，其包括涂覆有热解石墨(pG)的石墨部件，其相比没有涂覆的石墨部件的机械强度提高至少25％。在用于半导体加工组合件例如加热器的连接器应用中，该pG涂覆的部件被至少罩面涂覆电绝缘材料的保护层，且其中一部分该pG涂覆的石墨部件被暴露(没有涂覆保护层)，以提供到该组合件的电连接。

公开(公告)号：CN101085708B

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN200610064742.6

申请日：2006-11-30

Applicant: 通用电气公司

Inventor： D·A·隆沃思 ,  T·J·赫尔 ,  陆中浩 ,  刘翔

IPC: H01L21/02 ,  C04B41/50 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H05B3/14

CPC classification number: H01L21/68714 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  H05B3/145 ,  H05B3/265 ,  C04B41/4531 ,  C04B41/5001 ,  C04B41/5063 ,  C04B41/5064 ,  C04B41/522 ,  C04B35/522

Abstract: 耐久石墨连接器及其制造方法。一种制品，其包括涂覆有热解石墨(pG)的石墨部件，其相比没有涂覆的石墨部件的机械强度提高至少25％。在用于半导体加工组合件例如加热器的连接器应用中，该pG涂覆的部件被至少罩面涂覆电绝缘材料的保护层，且其中一部分该pG涂覆的石墨部件被暴露(没有涂覆保护层)，以提供到该组合件的电连接。