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公开(公告)号：CN101154555A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200610064415.0
申请日：2006-12-08
Applicant: 通用电气公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/683 , C03B11/12
Abstract: 提供了一种用于调节/控制衬底表面温度的加热装置。至少一个热解石墨(TPG)层嵌入加热器，以扩散加热装置中不同部件的温度差并且提供衬底表面温度的时间空间上的控制，从而实现衬底上最高和最低温度点之间的差值低于10℃的相对均匀的衬底温度。
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