公开(公告)号：CN101248340A

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200680031097.6

申请日：2006-08-22

Applicant: 通用电气公司

Inventor： 斯坦利·丘 ,  西西拉·K·加梅奇 ,  权贤镇

IPC: G01L9/00 ,  B81B3/00 ,  G01L19/00

CPC classification number: G01L9/0054 ,  B81B2201/0264 ,  B81C3/001 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/036 ,  G01L9/0042 ,  Y10S257/909 ,  Y10S438/909

Abstract: 压力传感器包括与上衬底(14)硅熔接的下衬底(12)，在下衬底和上衬底之间设置有室(16)。下衬底和上衬底均包括硅。下衬底包括限定腔体(18)的壁和位于该腔体之上的隔膜部分(22)，其中腔体向所要感应的环境开放。该室对环境气密封。

公开(公告)号：CN101248340B

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN200680031097.6

申请日：2006-08-22

Applicant: 通用电气公司

Inventor： 斯坦利·丘 ,  西西拉·K·加梅奇 ,  权贤镇

IPC: G01L9/00 ,  B81B3/00 ,  G01L19/00

CPC classification number: G01L9/0054 ,  B81B2201/0264 ,  B81C3/001 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/036 ,  G01L9/0042 ,  Y10S257/909 ,  Y10S438/909

Abstract: 压力传感器包括与上衬底(14)硅熔接的下衬底(12)，在下衬底和上衬底之间设置有室(16)。下衬底和上衬底均包括硅。下衬底包括限定腔体(18)的壁和位于该腔体之上的隔膜部分(22)，其中腔体向所要感应的环境开放。该室对环境气密封。