公开(公告)号：CN118771879A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202411036295.8

申请日：2024-07-31

Applicant: 郑州大学

Inventor： 王之君 ,  薛建设 ,  杜文静 ,  孙本双 ,  刘苗 ,  王成铎 ,  陈杰 ,  刘洋 ,  曾学云

IPC: C04B35/457 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明实施例公开了具有高迁移率的氧化铟锡锌靶材及其制备方法；方法包括对利用In2O3粉体、ZnO粉体、SnO2粉体以及掺杂金属氧化物粉体制备的球形造粒进行两步振荡压力烧结处理的步骤，具体包括：球形造粒粉在模具中在第一压力下预压；将预压的球形造粒粉加热至第一温度；在温度到达第一温度之前将施加到模具上的第一压力线性增加至第二压力；在第一温度、第二压力下执行第一次保温；在第一次保温阶段叠加频率为1～2Hz、振幅为5～10MPa的振荡压力；维持第二压力降温至第二温度；在第二温度、第二压力下执行第二次保温，施加与第一次保温阶段同样大小和频率的振荡压力；第二次保温阶段结束后，停止加热，去除外加振荡压力，降温至1000℃；然后随炉冷却至室温。