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公开(公告)号：CN112485984A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011443871.2
申请日：2020-12-08
Applicant: 郑州大学
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明公开了一种用于光刻机的深蚀刻轮廓限缩对准方法，可用于微纳加工领域的光刻机上。包括：通过对第一道光掩膜的对准标记图案前先增设深蚀刻的外围轮廓于待曝光基板上，利用外围轮廓限缩对准范围，帮助加速手动或自动粗调节对准过程使光掩膜上对准标记图案在待曝光基板上深蚀刻的外围轮廓内，再通过自动影像辨识技术进行自动细调节的对准过程。本方法利用深蚀刻轮廓可避免经过多道制程后对准标记图案的破坏，协助清晰辨识且可加速对准过程，可有效提高光刻机对准的精度和速度，进而提高微纳加工的精度与效率。
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公开(公告)号：CN111270775A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010159399.3
申请日：2020-03-09
Applicant: 郑州大学
Inventor： 卫荣汉 , 许雁雅 , 刘俊杰 , 徐献忠 , 赵无垛 , 卫洪涛 , 邱京江 , 张玉东 , 李姿琳 , 康克家 , 胡素梦 , 李静 , 陈银玲 , 胡志鑫 , 赵东阳 , 刘庆稳 , 周克佳 , 戴君杰 , 李旺明 , 豆丽莎 , 祁俊霞 , 郭文哲
Abstract: 本发明提供一种简易的个人移动隔离遮罩，该移动隔离遮罩由支撑棚架及包覆其上的隔离膜构成，其特征是以支撑棚架布置一个与外界隔离的个人空间区域，并使用隔离膜包覆支撑棚架形成顶面与侧面封闭，但底面开放的一整体隔离遮罩，通过人手操控与穿戴支撑棚架的方式达到自由行走与其他日常活动的目的。本发明的优点在于：实现个人单独移动隔离，防止接触含病原的飞沫或气溶胶，结构简单、成本低廉，使用方便，极易普及推广应用。
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公开(公告)号：CN112056981A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010955599.X
申请日：2020-09-11
Applicant: 郑州大学
Inventor： 周克佳 , 陈银玲 , 刘庆稳 , 胡志鑫 , 赵东阳 , 戴君杰 , 豆丽莎 , 李旺明 , 祁俊霞 , 康欢 , 李静 , 邱京江 , 张玉东 , 卫洪涛 , 赵无垛 , 李姿琳 , 康克家 , 王伟 , 胡素梦 , 许雁雅 , 徐献忠 , 卫荣汉 , 刘俊杰 , 杨潇楠
Abstract: 本发明公开了一种新型车载式擦玻璃机器人，包括车载式移动装置，可旋转伸缩的机械臂机构，清洁擦板，清洁擦板清洗机构四个部分，所述可旋转伸缩的机械臂机构和清洁擦板清洗机构安装于车载式移动装置上，所述清洁擦板安装于可旋转伸缩的机械臂机构的尖端。清洁时，所述车载式移动装置位于地面进行移动，通过搭载的可旋转伸缩的机械臂机构控制其尖端清洁擦板以固定压力对玻璃进行移动清洁，清洁擦板清洗机构对每次清洁过程中及结束后的清洁擦板进行清洗保洁，在保证清洁质量和使用寿命的同时，提高了清洁效率。
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