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公开(公告)号：CN116810662A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310567919.8
申请日：2023-05-19
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高自锐性金刚石砂轮，该砂轮由下述重量百分比的原料制成：金刚石磨料25‑50%、碳化硅磨料10‑30%、混杂改性纤维0.5‑5%、氧化铬粉1‑10%、铬碳化铝粉0.5‑5%、伊利石粉1‑10%和共混改性树脂粉30‑60%。在同等条件下磨削IGBT模组实验块，本发明砂轮的光洁度Ra不超过0.5μm，可耐用6.5h以上，磨削效果要明显优于现有砂轮。
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公开(公告)号：CN113400206A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110703112.3
申请日：2021-06-24
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种碳化硅衬底片抛光用砂轮及其制备方法，该砂轮由基体和磨料层组成，所述磨料层的各原料重量百分比为：金刚石磨料22‑45%、环氧丙烯酸树脂5‑40%、木质纤维素20‑35%、纳米二氧化硅10‑20%。本发明制备的树脂抛光砂轮，采用特殊的真空高压浸渍法和光固化相结合的成型方式，解决粉末树脂粉热压法磨料聚集的难题，磨料在砂轮体系中分散均匀性好，对碳化硅衬片的抛光质量好。同时，木质纤维素形成的三维网状通孔结构，不仅有利于冷却和容屑，磨削能够脆性断裂和剥离形成新的磨削工作层。本发明制备的碳化硅衬底片抛光砂轮可以替代CMP抛光工艺，获得更好的效率和表面质量。
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公开(公告)号：CN109807762A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910206900.4
申请日：2019-03-19
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种树脂结合剂砂轮热压成型温控装置及基于该装置制备砂轮的方法，包括有控制盒盒体和数显屏和开关，多个高精度热电偶以及与高精度热电偶配合的接头，设置在控制盒盒体内的控制芯片、存储器和温控器，所述的接头与对应的高精度热电偶相连接。本发明通过采用高精度热电偶插进压机和磨具上测温孔，将温控盒上的信号传输端口通过数据线与热压机上的信号接收端口连接起来，从而进行实时测温，然后监测温差变化是否超出设定值，会触发测温装制内的温控器进行制动，温控器通过数据线将信号传给热压机上的温控器，热压机再通过调节压机自身的温度来使模具和压机的温度保持一致。
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公开(公告)号：CN113500535A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110683096.6
申请日：2021-06-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法，尤其涉及碳化硅半导体材料加工用复合结合剂超硬材料砂轮配方及制备方法。配方主要有以下组成，金刚石磨料25‑45%、预合金粉25‑40%、聚苯硫醚8~20%、氧化锌晶须10~18%、SG磨料8‑22%。本发明制备采用聚苯硫醚和锌铜合金粉作为复合结合剂体系，该结合剂体系对磨料把持力强，抵抗大尺寸碳化硅的高磨削阻力，磨削力强。铁铝等细化了合金体系的晶粒组织，并且增加脆性，提高砂轮磨削锋利性。同时晶须等的利用可以增加砂轮层微观组织的各项同性，获得较好的均质状态，解决碳化硅衬底磨削稳定性问题。彻底解决了大尺寸碳化硅衬底加工难题。
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公开(公告)号：CN111300289B
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202010289628.3
申请日：2020-04-14
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提供了一种应用于碳化硅晶棒外圆磨削的砂轮及制备方法，砂轮磨削层包括以下重量百分比的组分：主磨料15‑25%，辅助磨料10‑15%，主粘接剂25‑45%，辅助粘接剂5‑17.5%，炭黑5‑10%，二硫化钼3‑8%，石墨烯3.5‑7%，微晶蜡1‑5%。本发明根据碳化硅晶体容易出现的问题，通过寻找匹配的不常应用于超硬材料砂轮行业的一些配方材料，如微晶蜡，石墨烯，改性酚醛树脂等，组成最优选的配方和成型工艺，发明了一种能够高效率加工碳化硅晶体的超硬金刚石砂轮，且加工出的光洁度最终精磨达到镜面效果（Ra＜0.1），加工过程中砂轮不必修整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111331525B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010289956.3
申请日：2020-04-14
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提供了一种碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮、制备方法及应用，由以下重量百分比的原料制成：金刚石磨料15‑45%、预合金粉15‑60%、聚四氟乙烯20‑45%、氧化铈3‑15%、润湿剂0.5‑6%。本发明中所用合金体系为Ga‑Cu‑Sn，在合金体系中加入镓低熔点元素，合金粉成型温度低，解决了树脂金属结合剂异相成型的难题。镓金属的加入，发生共晶反应生成高富镓高脆性相β、δ，实现了传统合金体系由硬韧向高脆性的转变，提高结合剂体系自锐性。复合结合剂兼具二者优势，金属结合剂形成骨架提高强度和硬度，树脂粉的存在增加了磨具的弹性，降低磨削过程中的抗冲击性，提升碳化硅片的表面质量。
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公开(公告)号：CN112192457A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202010933403.7
申请日：2020-09-08
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明属于磨具技术领域，具体涉及一种低熔硬脆金属树脂复合结合剂，其主要由下述重量份原料制成：25‑50份聚酰亚胺树脂粉，30‑60份青铜粉，8‑15份锡粉，5‑16份镍粉，2‑7份铋粉，2‑7份稀土元素。该结合剂兼具低熔点和硬脆性，用该复合结合剂制备的磨具可在低温下实现致密性成型，同时磨具还兼具金属结合剂砂轮的耐磨性，并拥有出色的锋利性。
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公开(公告)号：CN111922928A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010625524.5
申请日：2020-07-02
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高保型性复合结合剂超硬砂轮，该超硬砂轮由下述重量百分比的原料制成：聚酰亚胺树脂15-45%，铜粉15-50%，二氧化硅8-20%，锡粉5-15%，碳纤维2-10%，余量为磨料。本发明超硬砂轮既具备树脂结合剂砂轮的锋利性，又兼具金属砂轮的形状保持性和耐热性，即具有较好的锋利性和尖角保持性，磨床负载在1-2%，能够满足行业高效加工的需求。
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公开(公告)号：CN113732964B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202111072840.5
申请日：2021-09-14
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种树脂金属陶瓷三元复合结合剂超硬砂轮，其主要由下述重量百分比原料制成：15‑35%聚酰亚胺树脂粉，25‑45%自制铜锡合金粉，10‑50%自制陶瓷粉，3‑8%铁钴预合金粉，2‑7%四氧化三铁，1‑5%钛粉，余量为金刚石磨料。该砂轮在磨削碳化硅晶体、氮化镓晶体、蓝宝石晶体及金属陶瓷等硬脆材料时锋利性好，寿命高，排屑能力强。
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公开(公告)号：CN113500535B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202110683096.6
申请日：2021-06-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法，尤其涉及碳化硅半导体材料加工用复合结合剂超硬材料砂轮配方及制备方法。配方主要有以下组成，金刚石磨料25‑45%、预合金粉25‑40%、聚苯硫醚8~20%、氧化锌晶须10~18%、SG磨料8‑22%。本发明制备采用聚苯硫醚和锌铜合金粉作为复合结合剂体系，该结合剂体系对磨料把持力强，抵抗大尺寸碳化硅的高磨削阻力，磨削力强。铁铝等细化了合金体系的晶粒组织，并且增加脆性，提高砂轮磨削锋利性。同时晶须等的利用可以增加砂轮层微观组织的各项同性，获得较好的均质状态，解决碳化硅衬底磨削稳定性问题。彻底解决了大尺寸碳化硅衬底加工难题。
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