公开(公告)号：CN108495810A

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201680069999.2

申请日：2016-09-29

Applicant: 麦穆斯驱动有限公司

Inventor： 罗曼·古铁雷斯 ,  托尼·唐 ,  刘晓磊 ,  马修·恩格 ,  王桂芹

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00476 ,  B81B2201/033 ,  B81C1/00484 ,  B81C1/00515 ,  B81C1/00619 ,  B81C99/0095 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/056

Abstract: 提供了一种简化的MEMS制造工序和MEMS装置，允许制造更便宜和更轻的MEMS装置。该工序包括将多个孔或其它特征图案蚀刻到MEMS装置中，然后蚀刻掉下面的晶片，使得在蚀刻工序之后，MEMS装置是所需的厚度并且单独的模具被分离，从而避免晶片减薄和模具切割的额外步骤。通过将沟槽蚀刻到衬底晶片中，并用MEMS基材将其填充，具有较大力的精密较高的MEMS装置可以被制造。

公开(公告)号：CN108602664A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201680070114.0

申请日：2016-09-29

Applicant: 麦穆斯驱动有限公司

Inventor： 罗曼·古铁雷斯 ,  托尼·唐 ,  刘晓磊 ,  王桂芹 ,  马修·恩格

IPC: B81B7/04 ,  B81B5/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01L21/76816 ,  B81B3/0045 ,  B81B3/007 ,  B81B7/0006 ,  B81B7/0029 ,  B81B2203/0353 ,  B81B2203/0392 ,  B81B2207/056 ,  B81C1/00674 ,  B81C1/00682 ,  B81C2201/0112 ,  B81C2201/0135 ,  H01L21/768 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/485 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/181

Abstract: 一种用于控制MEMS装置的结构特性的系统和方法，包括：将多个孔蚀刻到所述MEMS装置的表面中；其中多个孔包括被确定为MEMS装置提供所需的特定的结构特性的一个或多个几何形状。