公开(公告)号：CN108473300A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201680075651.4

申请日：2016-11-04

Applicant: 麦穆斯驱动有限公司

Inventor： 格拉尔多·莫拉比托 ,  刘晓磊 ,  王桂芹 ,  罗曼·古铁雷斯 ,  马修·恩格

IPC: B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B7/0016 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/055 ,  H02N1/006

Abstract: 公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在另一实施方式中，用于MEMS装置的导电悬臂包括：弯曲的中心部分，其包括第一端部和第二端部，其中中心部分具有拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在又一个实施方式中，描述了用于MEMS装置的震动止动件。

公开(公告)号：CN105209370A

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201480026711.4

申请日：2014-03-14

Applicant: 数位光学MEMS有限公司

Inventor： R·J·卡尔韦特 ,  X·刘 ,  R·C·古铁雷斯 ,  A·杰恩 ,  G·王

IPC: B81B3/00 ,  H02N1/00 ,  G02B7/08

CPC classification number: H02N1/008 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/033 ,  G02B7/08

Abstract: 在一个实施方案中，致动器包括移动框架，其通过多个细长的平行运动屈曲部耦联到固定框架以相对于固定框架在制造位置和展开位置之间进行大致平行的运动。屈曲部布置成当移动框架布置在制造位置中时，相对于垂直于移动框架和固定框架延伸的线呈第一角度，并且当移动框架布置在展开位置中时，相对于同一线呈第二角度。通过将第一角度的值约束成小于第一和第二角度总和的大约一半，来控制第一框架相对于第二框架的弧形运动。

公开(公告)号：CN101495904A

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200780028059.X

申请日：2007-12-03

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 小尾浩士 ,  富田浩稔 ,  黑塚章

IPC: G02B26/10 ,  H04N1/036

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/07 ,  H02N1/006 ,  H04N1/113 ,  H04N2201/0082

Abstract: 本发明提供一种双轴转动式促动器，其具备第一可动部、支承第一可动部的第二可动部、及衬里部。用于将驱动电压分别独立地施加在第一可动部和第二可动部的第一导电部和第二导电部由分离槽分隔，并且在利用装设在第二可动部下部的衬里部相互固定的状态下被设置在第二可动部。通过设置这样的衬里部，实现将第一导电部和第二导电部以电绝缘状态相互固定、及将促动器的制造工序简化。通过在这种本发明的促动器的第一可动部上具备反射镜，能够以简单的制造工艺提供双轴转动式反射镜元件。

公开(公告)号：CN100510835C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200510067674.4

申请日：2005-04-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 黑塚章 ,  虫鹿由浩 ,  梶野修

IPC: G02B26/08 ,  H02N1/00 ,  B81B5/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/058 ,  H02N1/008

Abstract: 一种微驱动器，在可动部的刚性和重量之间、以及可动部的刚性和静电力之间的双方综合调整。该微驱动器(100)，具备基台(1)、由基台(1)支撑着的第1梳型电极(2)、具有与第1梳型电极(2)相对的第2梳型电极(8)和向基台(1)的方向突出的至少1个加强筋(9)的可动部(6)、以及以能够进行可动部(6)相对于基台(1)的变位的方式支撑可动部(6)的弹性支撑部(3)。第2梳型电极(8)的高度和至少1个加强筋(9)的高度相互不同，第1梳型电极(2)具有多个梳齿部，第1梳型电极(2)中的和加强筋(9)相对的部分的槽的深度比第1梳型电极(2)的梳齿部的根部深，至少1个加强筋(9)的高度比第2梳型电极(8)的高度高。

公开(公告)号：CN1226650C

公开(公告)日：2005-11-09

申请号：CN00811629.6

申请日：2000-08-01

Applicant: ADC电信股份公司

Inventor： N·张

IPC: G02B26/02 ,  H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  G02B6/26

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2203/0136 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3544 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

Abstract: 提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100)，以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例，光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动，并且在不施加力时，梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。

公开(公告)号：CN107077999B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201580050418.6

申请日：2015-07-10

Applicant: 索尼公司

Inventor： 盛田伸也

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/051 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0063 ,  H01H2001/0078

Abstract: 本发明涉及一种静电驱动型开关装置和包括该开关装置的电子设备。该开关装置包括：可移动电极，其具有第一可移动电极片、第二可移动电极片和可移动接触点；包括第一固定电极片和第二固定电极片的第一固定电极；包括第三固定电极片和第四固定电极片的第二固定电极；第一固定接触点；第二固定接触点；和弹性支撑部。为了迅速执行开关的切换操作，第一固定电极片以比第二固定电极片与第一可移动电极片之间的间隙窄的间隙与第一可移动电极片相对，第三固定电极片以比第四固定电极片与第二可移动电极片之间的间隙窄的间隙与第二可移动电极片相对。

公开(公告)号：CN104326438A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201410349234.7

申请日：2014-07-22

Applicant: 大西洋惯性系统有限公司

Inventor： T.霍克 ,  M.韦纳布莱斯 ,  I.斯特兰 ,  R.埃利

IPC: B81C1/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: B81C1/00531 ,  B81B3/0064 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/033 ,  B81C1/00388 ,  B81C1/00619 ,  B81C2201/0112 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/308

Abstract: 本发明涉及反应性离子蚀刻。公开了一种反应性离子蚀刻基板46以形成至少第一和第二蚀刻形态(42，44)的方法。所述第一蚀刻形态(42)具有比所述第二蚀刻形态(44)更大的纵横比(深度:宽度)。在第一蚀刻阶段，蚀刻所述基板(46)以便只将所述第一形态(42)蚀刻至预定深度。此后在第二蚀刻阶段，蚀刻所述基板(46)以便将所述第一和所述第二形态(42，44)均蚀刻至各自的深度。可贴掩模(40)以限定在形状上与所述形态(42，44)相对应的孔口。在所述第一蚀刻阶段期间用第二保护层(50)选择性掩蔽所述基板(46)中要产生所述第二蚀刻形态(44)的区域。然后在所述第二蚀刻阶段之前去除所述第二保护层(50)。

公开(公告)号：CN102164848A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN200980137984.5

申请日：2009-08-03

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A·法伊

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81B7/007 ,  B81B2201/033 ,  B81B2207/095 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/036 ,  Y10T29/49126

Abstract: 按照本发明的用于制造微机械构件(300)的方法包括以下步骤：提供第一衬底(100)，在第一衬底(100)上形成微结构(150)，其中微结构(150)具有可动的功能元件(151)，提供第二衬底(200)，以及在第二衬底(200)中构造电极(251)，用以电容式检测功能元件(151)的偏移。该方法还包括将第一和第二衬底(100；200)相连接，其中，形成封闭的空腔，该空腔包围功能元件(151)，并且电极(251)在功能元件(151)的区域内邻接于该空腔。

公开(公告)号：CN101495904B

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200780028059.X

申请日：2007-12-03

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 小尾浩士 ,  富田浩稔 ,  黑塚章

IPC: G02B26/10 ,  H04N1/036

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/07 ,  H02N1/006 ,  H04N1/113 ,  H04N2201/0082

Abstract: 本发明提供一种双轴转动式促动器，其具备第一可动部、支承第一可动部的第二可动部、及衬里部。用于将驱动电压分别独立地施加在第一可动部和第二可动部的第一导电部和第二导电部由分离槽分隔，并且在利用装设在第二可动部下部的衬里部相互固定的状态下被设置在第二可动部。通过设置这样的衬里部，实现将第一导电部和第二导电部以电绝缘状态相互固定、及将促动器的制造工序简化。通过在这种本发明的促动器的第一可动部上具备反射镜，能够以简单的制造工艺提供双轴转动式反射镜元件。

公开(公告)号：CN101276053A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810090311.6

申请日：2008-03-28

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 壶井修 ,  高马悟觉 ,  曾根田弘光 ,  奥田久雄 ,  水野义博 ,  松本刚

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  B81B7/02 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/047

Abstract: 本发明提供一种微振荡器件及微振荡器件阵列，该微振荡器件包括框架、振荡部件以及连接部件，其中该振荡部件包括用以施加参考电位的第一驱动电极，该连接部件用以将该框架和该振荡部件彼此连接，该连接部件定义了该振荡部件的振荡运动轴。第二驱动电极，固定至该框架并与该第一驱动电极协作以产生用于该振荡运动的驱动力。该第一驱动电极包括第一端延伸部和第二端延伸部，该第一端延伸部和第二端延伸部彼此隔离，并在与该轴交叉的方向上延伸。该第二驱动电极处于该第一和第二端延伸部之间的一隔离距离之内。