-
公开(公告)号：CN102566263B
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201210061782.0
申请日：2006-12-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·F·伍伊斯特 , J·F·迪克斯曼 , Y·W·克鲁特-斯特格曼
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/11 , G03F7/201
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。
-
公开(公告)号：CN104749878A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510091703.4
申请日：2006-12-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·F·伍伊斯特 , J·F·迪克斯曼 , Y·W·克鲁特-斯特格曼
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。
-
公开(公告)号：CN104749878B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201510091703.4
申请日：2006-12-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·F·伍伊斯特 , J·F·迪克斯曼 , Y·W·克鲁特-斯特格曼
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103543602B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201310495547.9
申请日：2006-12-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·F·伍伊斯特 , J·F·迪克斯曼 , Y·W·克鲁特-斯特格曼
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/11 , G03F7/201
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。
-
公开(公告)号：CN103543602A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310495547.9
申请日：2006-12-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·F·伍伊斯特 , J·F·迪克斯曼 , Y·W·克鲁特-斯特格曼
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/11 , G03F7/201
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。
-
公开(公告)号：CN102566263A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210061782.0
申请日：2006-12-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·F·伍伊斯特 , J·F·迪克斯曼 , Y·W·克鲁特-斯特格曼
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/11 , G03F7/201
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。
-
公开(公告)号：CN1987645B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200610064156.1
申请日：2006-12-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·F·伍伊斯特 , J·F·迪克斯曼 , Y·W·克鲁特-斯特格曼
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/11 , G03F7/201
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。
-
公开(公告)号：CN1987645A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610064156.1
申请日：2006-12-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·F·伍伊斯特 , J·F·迪克斯曼 , Y·W·克鲁特-斯特格曼
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/11 , G03F7/201
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备，其包括用来保持多个压印模板的模板保持器和用来保持基板的基板保持器，所述模板保持器位于基板保持器的下方。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.021 seconds)
