流体供给控制装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104699128A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201410737793.5

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性,并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块,沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向,也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。

    流路块和流体供给控制装置

    公开(公告)号:CN104696569B

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201410730209.3

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为,在内部形成有流体的流路,在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外,流路块的结构为,将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置,以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于,流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下,该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。

    流体供给控制装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104699128B

    公开(公告)日:2020-03-03

    申请号:CN201410737793.5

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性,并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块,沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向,也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。

    流路块和流体供给控制装置

    公开(公告)号:CN104696569A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201410730209.3

    申请日:2014-12-04

    CPC classification number: F16K27/00 F16K31/1225 H01L21/02

    Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为,在内部形成有流体的流路,在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外,流路块的结构为,将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置,以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于,流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下,该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。

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