流量计
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109642812B

    公开(公告)日:2020-09-15

    申请号:CN201880002629.6

    申请日:2018-06-13

    Abstract: 一种流量计(1),设有架设了用于测量流量的传感器片(21)的传感器流路(16),此外还设有与传感器流路(16)相对应的作为旁路流路的节流孔流路(13),其中,使节流孔流路(13)的流路直径(C)比流入流路(12)的流路直径(A)小,在传感器流路(16)的入口侧配置分流节流孔(30),节流孔流路(13)和分流节流孔(30)构成为:在纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时,有效截面积的变化倾向相同。

    流路块和流体供给控制装置

    公开(公告)号:CN104696569B

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201410730209.3

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为,在内部形成有流体的流路,在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外,流路块的结构为,将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置,以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于,流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下,该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。

    流路块和流体供给控制装置

    公开(公告)号:CN104696569A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201410730209.3

    申请日:2014-12-04

    CPC classification number: F16K27/00 F16K31/1225 H01L21/02

    Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为,在内部形成有流体的流路,在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外,流路块的结构为,将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置,以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于,流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下,该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。

    流体供给控制装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104699128B

    公开(公告)日:2020-03-03

    申请号:CN201410737793.5

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性,并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块,沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向,也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。

    流体供给控制装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104699128A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201410737793.5

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性,并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块,沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向,也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。

    流量计
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109642812A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201880002629.6

    申请日:2018-06-13

    Abstract: 一种流量计(1),设有架设了用于测量流量的传感器片(21)的传感器流路(16),此外还设有与传感器流路(16)相对应的作为旁路流路的节流孔流路(13),其中,使节流孔流路(13)的流路直径(C)比流入流路(12)的流路直径(A)小,在传感器流路(16)的入口侧配置分流节流孔(30),节流孔流路(13)和分流节流孔(30)构成为:在纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时,有效截面积的变化倾向相同。

    静电电容式位移传感器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104620080B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201380047335.2

    申请日:2013-09-27

    CPC classification number: G01B7/00 G01B7/003 G01D5/2412

    Abstract: 一种静电电容式位移传感器,包括:柱状部件31,由绝缘材料形成;筒状部件33,由金属制成,其内部中插入预定范围的柱状部件31,并且随着阀芯22的位移而进行移动;一对固定电极40A、40B,薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上;补偿电极41、42,薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上;静电屏蔽部件37,在与固定电极40A、40B、筒状部件33以及补偿电极41、42绝缘的状态下覆盖上述电极并接地;以及固定电极端子和补偿电极端子,薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上,与电极40A、40B、41、42分别连接,以及在与静电屏蔽部件37绝缘的状态下在长度方向延伸至静电屏蔽部件37的外部。

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