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公开(公告)号：CN118737928A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410835027.6
申请日：2019-10-15
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够进一步抑制电弧放电的发生。具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面；基座板，具有气体导入路；及第1多孔质部，设置在与所述气体导入路相对的位置，其特征为，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1主面与所述第1多孔质部之间的第1孔部，所述第1多孔质部具有：多孔部，具有多个孔；及第1致密部，比所述多孔部更致密，多孔部具有：多个疏松部分，具有包含第1孔、第2孔的多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，在与第1方向大致正交的第2方向上，分别设置于多个疏松部分的多个孔的尺寸，比紧密部分的尺寸更小。
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公开(公告)号：CN111508884B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN201911324485.9
申请日：2019-12-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：基座板；及陶瓷电解质基板，具有第1主面，其特征在于，所述第1主面至少包含第1区域、第2区域，所述第1主面的所述第1区域设置有多个第1槽、至少1个第1气体导入孔，所述多个第1槽包含：第1边界槽，最靠近于所述第1区域和所述第2区域之间的第1边界而设置，且沿着所述第1边界延伸；及至少1个第1区域内槽，在所述第1主面的所述第2区域中，设置有多个第2槽、至少1个第2气体导入孔，所述多个第2槽包含沿着所述第1边界延伸的第2边界槽，所述第1边界槽和所述第2边界槽之间的槽端部间距离比所述第1边界槽和邻接于所述第1边界槽的所述第1区域内槽之间的槽端部间距离更小。
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公开(公告)号：CN111668150B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202010143417.9
申请日：2020-03-04
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本发明的静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面；基座板，具有气体导入路；第1多孔质部，与所述气体导入路相对；及第2多孔质部，所述陶瓷电介体基板具有所述第1主面及第1孔部，所述第1多孔质部具有：第1多孔区域；及第1致密区域，所述第1多孔区域还具有第1致密部，所述第2多孔质部具有：第2多孔区域；及第2致密区域，所述第2多孔区域还具有第2致密部，当向垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向的平面进行投影时，构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠，所述第2致密部的一部分与所述第1致密部的一部分发生重叠，或者所述第2致密部的一部分与所述第1致密部的一部分接触。
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公开(公告)号：CN116313981A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310336113.8
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/20 , H01J37/32
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
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公开(公告)号：CN111668148A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010142829.0
申请日：2020-03-04
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本发明的静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面；基座板，具有气体导入路；及第1多孔质部，与所述气体导入路相对，所述第1多孔质部包含第1多孔区域、比所述第1多孔区域更致密的第1致密区域，所述第1多孔区域具有：多个第1疏松部分；及第1紧密部分，具有比所述第1疏松部分的密度更高的密度，所述多个第1疏松部分在从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的方向上延伸，所述第1紧密部分位于所述多个第1疏松部分的彼此之间，所述第1疏松部分具有第1壁部，在与所述第1方向大致正交的第2方向上，所述第1壁部的尺寸的最小值小于所述第1紧密部分的尺寸的最小值，所述气体导入路的至少一部分由曲线形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102449836A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080023906.5
申请日：2010-03-31
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/04373 , C01B3/382 , C01B3/384 , C01B2203/0233 , C01B2203/0244 , C01B2203/0261 , C01B2203/066 , C01B2203/1058 , C01B2203/1064 , C01B2203/1258 , C01B2203/1604 , C01B2203/1609 , C01B2203/1619 , C01B2203/1685 , H01M8/0271 , H01M8/04014 , H01M8/04089 , H01M8/04223 , H01M8/04228 , H01M8/0618 , H01M8/2428 , H01M8/243 , H01M8/2457 , H01M8/2484 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明是一种固体电解质型燃料电池，其具有：配置在燃料电池模块(2)内的燃料电池单电池(84)；重整器(20)；检测该重整器的温度的重整器温度传感器(148)；及控制燃料电池模块的运行的控制部(110)，该控制部在执行了燃料电池模块的运行停止的状态下执行运行的再起动时，即使重整状态温度(Tr、Ts)处在通常起动时的POX温度区域W2内，也至少在POX温度区域内的高温区域中跳过通常起动时的POX，而利用ATR执行再起动。
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公开(公告)号：CN111508885B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN201911345382.0
申请日：2019-12-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具体而言，具备：基座板；及陶瓷电介质基板，具有第1主面，其特征在于，所述第1主面至少包含第1区域、与所述第1区域邻接的第2区域，在所述第1区域中设置有多个第1槽、与所述多个第1槽的至少1个连接的至少1个第1气体导入孔、在与所述多个第1槽交叉的方向上延伸的至少1个第2槽，所述多个第1槽的各自的平面形状呈大致圆形，且被同心设置，所述第2槽与至少2个所述第1槽连接，在投影到垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介质基板的第1方向的平面时，在连接所述第1槽和所述第2槽的部分上，所述第1气体导入孔的至少一部分与所述第1槽及所述第2槽的至少任一重叠。
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公开(公告)号：CN102414894B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201080019134.8
申请日：2010-03-31
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/04373 , C01B3/382 , C01B3/384 , C01B2203/0233 , C01B2203/0244 , C01B2203/0261 , C01B2203/066 , C01B2203/0811 , C01B2203/1058 , C01B2203/1064 , C01B2203/1258 , C01B2203/1604 , C01B2203/1609 , C01B2203/1619 , C01B2203/1685 , H01M8/0271 , H01M8/04014 , H01M8/04089 , H01M8/04223 , H01M8/04225 , H01M8/04228 , H01M8/0618 , H01M8/2428 , H01M8/243 , H01M8/2484 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明是一种固体电解质型燃料电池，其具有：配置在燃料电池模块(2)内的燃料电池单电池(84)；重整器(20)；检测其重整状态温度的重整器温度传感器148；及控制燃料电池模块的运行的控制部(110)，该控制部在执行了固体电解质型燃料电池模块的运行停止的状态下至少在POX温度区域内的高温区域中执行运行的再起动时，禁止基于通常起动时的POX的起动，而执行与该通常起动时的POX不同的再起动控制。
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公开(公告)号：CN102414886B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201080019158.3
申请日：2010-03-31
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/2428 , H01M8/004 , H01M8/0202 , H01M8/0247 , H01M8/025 , H01M8/0252 , H01M8/0271 , H01M8/04089 , H01M8/0625 , H01M8/1231 , H01M8/241 , H01M8/243 , H01M8/2484 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明的燃料电池单电池集合体具备：第1燃料电池单电池；第2燃料电池单电池，与该第1燃料电池单电池邻接配置；及集电体，电连接上述第1燃料电池单电池及第2燃料电池单电池，第1燃料电池单电池及第2燃料电池单电池分别具备发电部，其通过在内部流过第1气体的第1电极、在外部流过第2气体的极性与第1电极不同的第2电极、配置在上述第1电极和第2电极之间的电解质来进行发电，集电体构成为使第1燃料电池单电池的发电部中产生的电流，从第1燃料电池单电池的第1电极的不同的2个位置分配流向第2燃料电池单电池的第2电极。
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公开(公告)号：CN101728558B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN200910253017.7
申请日：2009-10-16
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/0202 , H01M8/0217 , H01M8/0232 , H01M8/0236 , H01M8/0243 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明涉及固体氧化物型燃料电池单元和具备其而成的燃料电池模块。本发明公开了一种初始发电性能高且发电耐久性能好的固体氧化物型燃料电池单元。该燃料电池单元是至少具备燃料极、电解质、空气极和在上述空气极配置的集电部而成的固体氧化物型燃料电池单元，其特征在于，上述集电部含有导电性金属和氧化物而成，上述导电性金属是银和钯，上述氧化物是钙钛矿型氧化物，相对于上述导电性金属以重量比计，在大于0而小于0.111的范围含有上述氧化物而成。
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