公开(公告)号：CN107827077A

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：CN201710888312.4

申请日：2017-09-27

Applicant: 广东电网有限责任公司惠州供电局 ,  清华大学

Inventor： 余占清 ,  王铁柱 ,  蔡素雄 ,  王晓蕊 ,  高士森 ,  黄泽荣 ,  施理成

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: B81B3/0032 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0278 ,  B81B2203/0118 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00158 ,  B81C2201/0166

Abstract: 本发明公开了一种涉及微机电系统领域的压阻式MEMS温度传感器。该传感器主要采用双层膜结构和惠斯通电桥技术。采用压阻式悬臂梁结构，将惠斯通电桥的四个电阻布置在四个悬臂梁的相同位置，通过引线将四个电阻连接成惠斯通电桥。能够放在狭窄的空间内直接进行点位置的温度测量。