公开(公告)号：CN104995481B

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201380027017.X

申请日：2013-04-16

Applicant: 瑞尼斯豪公司

Inventor： 约翰·奥尔德 ,  凯温·戴特

IPC: G01B21/04 ,  G05B19/401 ,  B25J9/16

CPC classification number: G01B7/012 ,  G01B21/045

Abstract: 一种应用安装在机床上的模拟探针查明物体的特征的方法。所述方法包括：所述模拟探针和/或物体遵循一运动路线，所述运动路线使得所述模拟探针的表面感测区域在连续的横越中接近待查明特征的同时多次横越穿过所述特征，以便最终进入与所述特征的位置感测关系，以便沿着横越的至少一部分收集关于所述特征的扫描的测量数据。

公开(公告)号：CN107250722A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201680011468.8

申请日：2016-02-24

Applicant: 马波斯S.P.A.公司

Inventor： A·萨提尼 ,  G·格沃尼

IPC: G01B21/20

CPC classification number: G01B7/012 ,  G01B1/00 ,  G01B7/001 ,  G01B21/20

Abstract: 一种检查系统(4)，用于检查工件(W)的尺寸和/或几何特征，包括：支撑和定位元件(30)；用于接触所述工件(W)的触头(50)；臂(42)，所述臂(42)支撑所述触头并且能够相对于所述支撑和定位元件运动；以及换能器装置(14)，其用于检测所述臂的检查表面(41)相对于所述支撑和定位元件的位置，并且产生表示待检查的特征的信号。所述支撑和定位元件和所述臂中的至少一者由以下材料制成：所述材料的密度不大于1.6g/cm3，而拉伸强度不低于1.3GPa。一种用于制造该检查系统的工艺包括以下步骤：由具有上述特征的所述片材获得多个平坦元件；以及将所述平坦元件连接以获得盒状结构，其限定所述支撑和定位元件和所述臂的至少一者。该装置可以有利地应用于旋转的工件的形状或轮廓的高速检查。

公开(公告)号：CN107218879A

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201710597841.9

申请日：2017-07-20

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 黄强先 ,  方传智 ,  芈梦 ,  梅腱 ,  吴奎

IPC: G01B7/008 ,  G01B7/012 ,  G01B7/016 ,  G01B7/28

CPC classification number: G01B7/016 ,  G01B7/008 ,  G01B7/012 ,  G01B7/28

Abstract: 本发明公开了一种可实现纳米三坐标测量机微球探头球度高精度测量的方法，将大长径比钨探针与石英音叉结合，结合精密微动台构建具有纳米级分辨力的扫描探针测头，测量时，两扫描探针测头由微动台驱动通过差动方式扫描微球在x轴方向上的大圆截面轮廓，扫描过程中产生的径向误差可以通过差动自动消除，从而获取微球大圆截面轮廓的准确参数，再将微球旋转一定角度后重复上述测量，获取多组大圆截面轮廓参数，利用所获特征点拟合构建微球三维立体空间轮廓，并以此进行微球几何参数计算，实现微球球度的高精度测量。本发明具有测量力小、测量范围广、测量精度高的特点。

公开(公告)号：CN106017297A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610158104.4

申请日：2016-03-18

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： E·波士 ,  E·特莱弗斯 ,  日高和彦

IPC: G01B7/16 ,  G01B7/016

CPC classification number: G01B21/04 ,  G01B7/001 ,  G01B7/012 ,  G01B7/18 ,  G01B7/016

Abstract: 一种接触型探测器，其包括触针、传感器和两个平行的大致平板。触针具有触头。传感器具有大致为平坦的形状，并且包括固定部、可动部和各自由平板构成的至少三个薄壁部，其中在该薄壁部上气相沉积有应变传感器，以及触针安装于该可动部，并且该可动部经由薄壁部在至少三个位置处连结至固定部。两个平行的大致平板在相对的两侧连接至固定部，并且以维持可动部和两个平行的大致平板之间的预定距离的方式夹持可动部，并将可动部的移动限制于第一可动范围。传感器由于应变传感器响应于来自触针的测量力发生变形而输出接触信号。

公开(公告)号：CN103562672B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201280005851.4

申请日：2012-01-19

Applicant: 瑞尼斯豪公司

Inventor： 戴维·罗伯茨·麦克默特里 ,  大卫·科林伍德

IPC: G01B5/012 ,  G01B7/00 ,  G01B7/012 ,  G05B19/404

CPC classification number: G01B5/012 ,  G01B7/00 ,  G01B7/012 ,  G05B19/182

Abstract: 一种用于机床设备的模拟探头，该模拟探头包括：探头本体；以及借助悬架机构在悬浮休止位置可移动地固定至所述探头本体的触针构件。设置用于测量所述触针构件相对于所述探头本体从休止位置的位移大小的传感器。该模拟探头进一步包括在探头本体与触针构件之间延伸的第一柔顺密封构件，使得所述传感器包含在腔室中，所述腔室被密封以免于受到外部污染物的污染。所述模拟探头还具有抑制器，用于抑制由于腔室的内部压力的变化和/或模拟探头的操作环境的变化所引起的触针构件远离其悬浮休止位置的运动。

公开(公告)号：CN105531563A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201480050509.5

申请日：2014-09-15

Applicant: 瑞尼斯豪公司

Inventor： 戴维·罗伯茨·麦克默特里 ,  德里克·马歇尔

IPC: G01B21/04 ,  G01B5/012 ,  G01B7/012

CPC classification number: G01B5/012 ,  G01B7/012 ,  G01B21/045

Abstract: 描述了一种利用诸如机床的坐标定位设备来测量物体的方法。该方法包括以接触触发模式操作该坐标定位设备以测量物体的表面上的一个或多个接触触发测量点(50；100；118)的位置的步骤。该坐标定位设备还被以扫描模式操作，以测量沿着物体的表面上的扫描路径的多个扫描测量点(52)的位置，该扫描模式的测量利用具有接触物体的触针(12)的扫描探头(4)来获得。然后计算出至少一个校正(Δi；V，R；Δr)，该至少一个校正描述接触触发模式的测量与扫描模式的测量之差。这样，利用接触触发测量来校正扫描测量。

公开(公告)号：CN102564306B

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201110358458.0

申请日：2007-08-31

Applicant: 瑞尼斯豪公司

Inventor： 戴维·斯文·瓦利亚塞 ,  彼得·海杜基威兹 ,  若弗雷·麦克法兰

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01B5/012 ,  G01B7/012

Abstract: 描述了一种测量工件表面的装置。所述装置包括：支撑件(7)，其可以连接到机器(26)的可移动臂，所述机器诸如坐标定位仪；所述支撑件可绕第一旋转轴线(1A)和第二旋转轴线(2A)旋转，所述轴线分别由第一马达(M1)和第二马达(M2)驱动。所述装置另外包括用于感测工件表面的表面感测设备(4)，其可以围绕第三旋转轴线(4A)旋转。所述第三旋转轴线(4A)可与所述第一旋转轴线(1A)对准，并且在对准时且在所述表面感测设备(4)由保持件(70)保持静止时，所述支撑件(7)相对于所述表面感测设备(4)的旋转可以由所述第一马达(M1)促动。还描述了一种使用测量工件表面的装置的方法。

公开(公告)号：CN102692170A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210079531.5

申请日：2012-03-23

Applicant: 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司

Inventor： K.格勒尔

IPC: G01B5/012

CPC classification number: G01B7/012 ,  G01B21/047 ,  G01B2210/58

Abstract: 探测头以及用于运行探测头的方法。本发明涉及一种探测头（1），该探测头（1）被配置为使得输出电流脉冲（I14out）能够通过电荷存储器（14）以所定义的时间间隔（T）输出给负载（15）。此外能够对于接下来的时间段（ΔT）确定在电荷存储器（24）处要补充的平均功率（P14in,P’14in,P’’14in）并且根据所确定的平均功率（P14in,P’14in,P’’14in）能够确定由电压转换器（13）要从电压源（12）抽取的平均输入功率（P13in,P’13in,P’’13in）的高度。电压转换器（13）能够由装置（17）相应地操控。此外，本发明还涉及一种用于运行该探测头的方法。

公开(公告)号：CN101839682B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201010136354.0

申请日：2010-03-12

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 八田健一郎 ,  舟桥隆宪

IPC: G01B5/012 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B5/012 ,  G01B7/012 ,  G01B11/007

Abstract: 本发明涉及一种形状测定装置用探测器，直动部(6)仅沿竖直方向能够直动地支承在安装部(2)上。摆动部(3)具有在前端设有与测定物(60)的被测定面(61)接触的测头(121)的臂(112)。连结机构(4)通过将摆动部(3)侧的支承部件(42)的尖端嵌入形成于直动部(6)侧的载置台(41)上的槽(41a)中，从而将摆动部(3)相对于直动部(6)能够摆动地连结。通过摆动侧磁铁(51)与非摆动侧磁铁(52)之间的磁吸引力，使臂(112)朝向竖直方向的作用力作用于摆动部(3)。通过可动侧磁铁(71)与固定侧磁铁(72)之间的磁力，在直动部(3)上作用竖直方向朝上的作用力，从而将直动部(3)相对于安装部(3)沿竖直方向被非接触保持。

公开(公告)号：CN101322005B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200780000443.9

申请日：2007-05-08

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 舟桥隆宪 ,  吉住惠一

IPC: G01B5/016 ,  G01B5/20

CPC classification number: G01B5/012 ,  G01B7/012 ,  G01B11/007

Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及设置在该形状测定装置上的形状测定装置用探头，该形状测定装置能够在不采用复杂的装置结构的情况下，不论侧面的倾斜方向如何都可进行形状测定。在形状测定装置用探头中，连接安装用部件(2)和摆动部件(3)的连接机构(4)具有设置在摆动部件(3)上的支点部件(42)和设置在安装用部件(2)上的载置台(41)，且将摆动部件(3)连接成相对于安装用部件(2)可向任意方向倾斜。安装用部件(2)和摆动部件(3)被构成为：设置在摆动部件(3)上的可动侧部件(51)和设置在安装用部件(2)上的固定侧部件(52)彼此在非接触状态下发生磁性吸引力，该磁性吸引力以摆动部件(3)的探杆向铅直方向的方式进行施力。根据该结构，能够测定与Z方向大致平行、向X、Y方向的任意方向倾斜的侧面形状。