一种硅基光子材料器件制备方法

    公开(公告)号:CN107240595A

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201710660667.8

    申请日:2017-08-04

    Applicant: 南京大学

    Inventor: 仝香

    Abstract: 本发明提供了一种硅基光子材料器件制备方法,具体包括以下步骤:a)通过特殊方式加工制作出具有高密度和小尺寸的有序硅纳米晶粒;b)通过光刻工艺的方式对晶粒进行加工;c)采用UHV/CVD在硅衬底上生长Ge量子点;d)对加工过后的晶粒掺杂化学混合元素;e)利用步骤d)制备得到的晶粒形成光开关阵列构成光波导开关;f)化学研磨与物理成型;g)对加工出的硅基光子电路板进行晶粒探针测试。本发明的制备方法可获得热导性好、电学性能好的硅基光子材料器件,且制备方法简单、成本低廉、工艺可靠。

    一种柔性二维材料发光器件

    公开(公告)号:CN105185884A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510320484.2

    申请日:2015-06-11

    Inventor: 汤乃云

    CPC classification number: H01L33/0037 H01L33/0041 H01L33/005 H01L33/26

    Abstract: 本发明涉及一种柔性二维材料发光器件,该发光器件从下到上依次包括柔性衬底层(1)、第一金属层、介质层(4)、二维半导体材料层(5),以及设置在介质层(4)上并位于二维半导体材料层(5)两端的第二金属层。与现有技术相比,本发明具有便携性好、光电响应速度快、集成密度高、加工性能好、成本低等优点。

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