公开(公告)号：US09522410B2

公开(公告)日：2016-12-20

申请号：US13745265

申请日：2013-01-18

Applicant: Samsung Display Co., Ltd.

Inventor： SukWon Jung ,  YongSuk Lee ,  SangHyuk Hong

IPC: B05B5/00 ,  B05D3/06 ,  B05D1/02 ,  B05C5/00 ,  B05B7/00 ,  B05B7/16 ,  H01L51/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  C23C14/58 ,  B05B1/14 ,  B05B13/04

CPC classification number: B05C5/001 ,  B05B1/14 ,  B05B7/0012 ,  B05B7/168 ,  B05B13/04 ,  B05D1/02 ,  B05D3/061 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/56 ,  C23C14/58 ,  H01L51/56

Abstract: A thin film deposition apparatus includes a substrate supporting unit supporting a substrate, a deposition source evaporating a deposition material to supply a steam of the deposition material to the substrate, and a deposition source shifting unit moving the deposition source so that the deposition source is relatively shifted with respect to the substrate supporting unit.

Abstract translation: 薄膜沉积装置包括：支撑基板的基板支撑单元，蒸发沉积材料以将沉积材料的蒸汽供应到基板的沉积源;以及移动沉积源的沉积源移动单元，使得沉积源相对 相对于基板支撑单元移动。

公开(公告)号：US20130189445A1

公开(公告)日：2013-07-25

申请号：US13745265

申请日：2013-01-18

Applicant: Samsung Display Co., Ltd.

Inventor： SukWon Jung ,  YongSuk Lee ,  SangHyuk Hong

IPC: B05C5/00 ,  B05D3/06 ,  B05D1/02

CPC classification number: B05C5/001 ,  B05B1/14 ,  B05B7/0012 ,  B05B7/168 ,  B05B13/04 ,  B05D1/02 ,  B05D3/061 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/56 ,  C23C14/58 ,  H01L51/56

Abstract: A thin film deposition apparatus includes a substrate supporting unit supporting a substrate, a deposition source evaporating a deposition material to supply a steam of the deposition material to the substrate, and a deposition source shifting unit moving the deposition source so that the deposition source is relatively shifted with respect to the substrate supporting unit.

Abstract translation: 薄膜沉积装置包括：支撑基板的基板支撑单元，蒸发沉积材料以将沉积材料的蒸汽供应到基板的沉积源;以及移动沉积源的沉积源移动单元，使得沉积源相对 相对于基板支撑单元移动。