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发明授权
가스 공급 장치 및 성막 장치 有权

公开(公告)号：KR102245116B1

公开(公告)日：2021-04-26

申请号：KR1020180105402

申请日：2018-09-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야기히로노리 , 가케가와다카시 , 야마구치가츠마사 , 후루야유이치 , 모겐난

IPC: H01L21/67 , G05D16/08 , G05D16/20

Abstract: 본발명은프로세스개시시의원료가스의유량을단시간에안정화시키는것이가능한가스공급장치를제공하는것을목적으로한다. 일실시형태의가스공급장치는, 원료가스를버퍼탱크및 제1 고속개폐밸브를통해처리용기내에간헐적으로공급할수 있는가스공급장치로서, 상기버퍼탱크의 2차측에접속되고, 상기버퍼탱크내부를배기할수 있는이배큐에이션라인(evacuation line)과, 상기이배큐에이션라인에설치된제2 고속개폐밸브를갖는다.

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