公开(公告)号：KR102245116B1

公开(公告)日：2021-04-26

申请号：KR1020180105402

申请日：2018-09-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야기히로노리 ,  가케가와다카시 ,  야마구치가츠마사 ,  후루야유이치 ,  모겐난

IPC: H01L21/67 ,  G05D16/08 ,  G05D16/20

Abstract: 본발명은프로세스개시시의원료가스의유량을단시간에안정화시키는것이가능한가스공급장치를제공하는것을목적으로한다. 일실시형태의가스공급장치는, 원료가스를버퍼탱크및 제1 고속개폐밸브를통해처리용기내에간헐적으로공급할수 있는가스공급장치로서, 상기버퍼탱크의 2차측에접속되고, 상기버퍼탱크내부를배기할수 있는이배큐에이션라인(evacuation line)과, 상기이배큐에이션라인에설치된제2 고속개폐밸브를갖는다.

公开(公告)号：KR1020130009700A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：KR1020120076764

申请日：2012-07-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카우에히로미츠 ,  오자와마시히토 ,  후루야유이치 ,  시노다나나코 ,  히로세가츠히토 ,  이나가키모리히토

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  G06F19/00

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/043 ,  B25J9/106 ,  B25J9/1633 ,  B25J15/009 ,  H01L21/68707

Abstract: PURPOSE: A substrate transfer device, a substrate processing system, a substrate transfer method, and a storage medium are provided to suppress misalignment of a substrate by controlling a driving unit to transfer the substrate to a vacuum processing unit by correcting the misalignment of the substrate. CONSTITUTION: A rotating stand(40) is rotatably installed on a bottom plate(5a) of a transfer chamber. A first multi-joint arm device(41) and a second multi-joint arm device(42) include picks(41c,42c) which maintain a wafer. A driving link device(43) selectively bends one of the first multi-joint arm device and the second multi-joint arm device. A driving unit(44) includes a driving device to rotate the rotating stand and a driving device to move the driving link device. A transfer control unit(45) controls the transfer operation of the substrate by the pick. [Reference numerals] (30) Whole control unit; (45) Transfer control unit

Abstract translation: 目的：提供基板转印装置，基板处理系统，基板转印方法和存储介质，以通过控制驱动单元来抑制基板的未对准，以通过校正基板的未对准来将基板转印到真空处理单元 。 构成：旋转支架（40）可旋转地安装在传送室的底板（5a）上。 第一多关节臂装置（41）和第二多关节臂装置（42）包括保持晶片的拾取件（41c，42c）。 驱动连杆装置（43）选择性地弯曲第一多关节臂装置和第二多关节臂装置中的一个。 驱动单元（44）包括用于使旋转支架旋转的驱动装置和用于移动驱动连杆装置的驱动装置。 转移控制单元（45）通过拾取器控制衬底的转移操作。 （附图标记）（30）整体控制单元; （45）转移控制单元

公开(公告)号：KR102233231B1

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：KR1020180157944

申请日：2018-12-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후루야유이치 ,  모리히로유키 ,  츠다에이노스케 ,  고모리에이이치 ,  기모토도모히사

IPC: C23C16/448 ,  C23C14/22

Abstract: 복수의트레이내의원료의소비량의차이를저감시킬수 있는원료용기를제공한다. 일실시형태의원료용기는하우징, 트레이어셈블리, 및복수의통 형상부재를구비한다. 하우징은캐리어가스의도입구및 그곳으로부터원료의증기를포함한가스가출력되는개구를제공한다. 트레이어셈블리는복수의트레이를포함한다. 복수의트레이는하우징안에쌓여있다. 복수의통 형상부재의각각은원통형상을갖는다. 복수의통 형상부재는트레이어셈블리와하우징사이에서직경방향으로배열되어있다. 복수의통 형상부재중 가장외측의통 형상부재는슬릿을제공하고, 다른하나이상의통 형상부재의각각은복수의슬릿을제공한다. 도입구로부터트레이어셈블리와가장내측의통 형상부재와의사이의간극까지, 캐리어가스의유로가, 복수의통 형상부재에의해단계적으로상방및 하방으로분기된다.