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公开(公告)号：KR100679914B1
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：KR1020050044841
申请日：2005-05-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H02N2/10
Abstract: 본 발명은 압전 변환기를 이용한 정밀 회전구동장치에 관한 것으로, 이 정밀 회전구동장치는 장치의 베이스 상부에 축을 매개로 결합되어 회전가능하도록 설치된 회전판과, 이 회전판의 일측에 접촉설치되어 외부 전압에 따라 회전판의 축과 직각된 방향으로 좌우 작동함으로써 회전판을 회전시키는 구동 압전 변환기 및, 이 구동 압전 변환기와 일정거리를 두고 설치되면서 상기 회전판의 또다른 일측에 접촉설치되어 외부 전압에 따라 전후진 작동함으로써 회전되는 회전판을 고정할 수 있도록 된 제동 압전 변환기로 이루어진 구조이다.
따라서, 상기 정밀 회전구동장치가 2개의 압전 변환기인 구동 압전 변환기와 제동 압전 변환기로 구성됨으로써 기존의 인치웜 방식의 구동장치 보다 1개의 압전 변환기를 절감할 수 있다.
그러므로, 상기 정밀 회전구동장치의 구동 회로와 구조를 단순화시킬 수 있는 장점이 있고, 상기 압전 변환기의 사용 갯수가 줄어 가격면에서 우수할 뿐만아니라 장치의 소형화 설계에 보다 유리한 것이다.
압전 변환기, 회전구동-
公开(公告)号：KR1020060122400A
公开(公告)日：2006-11-30
申请号：KR1020050044841
申请日：2005-05-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H02N2/10
CPC classification number: H02N2/123 , H01L41/0536 , H02N2/002 , H02N2/006
Abstract: A rotary actuating device using a PZT(Piezoelectric Transducer) converter is provided to save one PZT converter in comparison with a conventional inchworm method by consisting of a drive PZT converter and a brake PZT converter. In a rotary actuating device using a PZT converter, a rotating plate(2) is rotatably installed by being coupled to a base top of the device by the medium of an axis. A drive PZT converter(3) rotates the rotating plate(2) by being installed on one side of the rotating plate(2). A brake PZT converter(4) is installed at a predetermined distance from the drive PZT converter(3). And, the brake PZT converter(4) fixes the rotating plate(2) to rotate by being operated forward and backward according to an external voltage.
Abstract translation: 提供了一种使用PZT（压电式传感器）转换器的旋转驱动装置，用于与传统的蚯蚓方法相比，以保存一个PZT转换器，该驱动装置由驱动PZT转换器和制动PZT转换器组成。 在使用PZT转换器的旋转致动装置中，旋转板（2）通过轴的介质联接到装置的基座顶部而被可旋转地安装。 驱动PZT转换器（3）通过安装在旋转板（2）的一侧上来旋转旋转板（2）。 制动PZT转换器（4）安装在与驱动PZT转换器（3）预定的距离处。 并且，制动器PZT转换器（4）根据外部电压通过向前和向后的操作来固定旋转板（2）旋转。
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公开(公告)号：KR1020060074218A
公开(公告)日：2006-07-03
申请号：KR1020040112883
申请日：2004-12-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 마이크로 그리퍼의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 마이크로 그리퍼의 파손이 발생하지 않도록 하여 구동소자의 수율이 증대하는 마이크로 그리퍼 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 그리퍼의 제조 방법은 (a) SOI 기판의 상부와 하부에 실리콘 질화막을 증착하는 단계; (b) 상기 SOI 기판의 상부 실리콘 질화막을 제거하고, 실리콘 산화막을 증착하는 단계; (c) 상기 SOI 기판의 하부 실리콘 질화막 패터닝하는 단계; (d) 상기 실리콘 산화막을 패터닝하는 단계; (e) 상기 SOI 기판의 상부 실리콘을 식각하는 단계; (f) 상기 패터닝된 SOI 기판에 글래스 캡을 접합하는 단계; (g) 상기 (f) 단계 후에 SOI 기판 하부의 소정 부분을 식각하는 단계; (h) 상기 (g) 단계 후에 열경화성 에폭시를 글래스 홀에 주입하여 경화시키는 단계; (i) 상기 (a) 단계 내지 (h) 단계에서 형성된 구조물을 분리한 후 열경화성 에폭시를 제거하는 단계 및 (j) 상기 분리된 구조물의 산화막을 제거하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 마이크로 그리퍼의 제조 방법은 마이크로 조의 소자를 패키징한 후 글래스 캡 제작 공정을 하고, 에폭시 주입 공정으로 부터 다이싱 공정 및 일괄 패키지 공정을 진행함으로써 구동소자의 수율이 증대하는 효과가 있다.
마이크로 그리퍼, 마이크로 조, 마이크로 구동기-
公开(公告)号：KR100567762B1
公开(公告)日：2006-04-13
申请号：KR1020040026498
申请日：2004-04-19
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B81B5/00
Abstract: 본 발명은, 3 자유도 미소변위 구동장치에 관한 것으로서, 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 다수의 미소이동부를 직선구동과 틸팅구동 그리고 팬구동의 3자유도 구동원으로 각기 사용하고 더불어 소정의 회전수단을 포함한 일련의 구동장치들을 상호간에 연동되게 연결/설치함으로써 나노미터(nm) 정도로 정밀하게 초소형 그리퍼 등의 위치를 제어하도록 한다.
3자유도, 미소, 변위, 직선, 팬, 틸트-
公开(公告)号：KR100563478B1
公开(公告)日：2006-03-27
申请号：KR1020040037196
申请日：2004-05-25
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압전 구동 방식의 액츄에이터에 의한 그리핑 방식을 제안하여 저전압 구동과 그리핑의 힘을 크게 낼 수 있고, 그리핑 범위를 조절할 수 있는 그리퍼에 관한 것이다.
본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 실리콘 웨이퍼를 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 있어서, 실리콘 하부면을 에칭하고 실리콘 산화막과 폴리 실리콘을 차례로 증착하는 단계; 상기 증착된 폴리 실리콘 상에 질화 실리콘을 증착 및 패터닝하고 그리핑 구동 변위 센싱 및 제어를 위한 변위센서를 만드는 단계; 상기 폴리 실리콘 상부에 하부전극을 형성하는 단계; 상기 하부전극 상부에 압전 물질을 증착 및 패터닝하여 압전 액츄에이터를 형성하는 단계; 상기 압전 액츄에이터 상부에 상부전극을 형성하는 단계 및 상기 폴리 실리콘과 실리콘 산화막의 일부를 제거하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 압전 박막에 전압을 인가하여 길이 방향으로 수축시켜 압전 박막이 입힌 쪽으로 휘게 함으로써 물체를 잡거나 놓을 수 있고, 외팔 집게형과 양팔 집게형의 두 가지 형태로 제작이 가능한 장점이 있고, 그리핑 범위를 자유로이 조절할 수 있으며, 에너지 소비를 줄일 수 있는 효과가 있다.
그리퍼, 압전, 변위센서-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020040069617A
公开(公告)日：2004-08-06
申请号：KR1020030006088
申请日：2003-01-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A precision actuating device is provided to fix firmly a shaft by inducing efficiently the expansion of piezoelectric ceramics to the longitudinal direction. CONSTITUTION: The first and the second receptacles(21,22) are formed at both sides of an upper part of a plate(20). The first and the second piezoelectric ceramics(23,24) are formed to the longitudinal direction within the first and the second receptacles in order to be expanded and contracted according to supplied voltages. The first and the second fixing members(25,26) are used for fixing the first and the second piezoelectric ceramics. The first and the second support members(27,28) are used for supporting the first and the second piezoelectric ceramics. A shaft(29) is fixed by the first and the second piezoelectric ceramics. The third piezoelectric ceramic(30) is coupled to each side of the first and the second receptacles. The third piezoelectric ceramic is expanded and contracted according to the supplied voltages in order to move the shaft fixed by the first and the second piezoelectric ceramics.
Abstract translation: 目的：提供精密致动装置，通过有效地诱导压电陶瓷沿纵向的膨胀来牢固地固定轴。 构成：第一和第二容器（21,22）形成在板（20）的上部的两侧。 第一和第二压电陶瓷（23,24）沿着第一和第二容器内的纵向方向形成，以便根据所提供的电压而膨胀和收缩。 第一和第二固定构件（25,26）用于固定第一和第二压电陶瓷。 第一和第二支撑构件（27,28）用于支撑第一和第二压电陶瓷。 轴（29）由第一和第二压电陶瓷固定。 第三压电陶瓷（30）耦合到第一和第二插座的每一侧。 第三压电陶瓷根据所提供的电压而膨胀和收缩，以移动由第一和第二压电陶瓷固定的轴。
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公开(公告)号：KR100795570B1
公开(公告)日：2008-01-21
申请号：KR1020060084159
申请日：2006-09-01
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G06T7/97 , G06F17/30244 , G06F17/30256 , G06T5/10 , G06T7/12 , G06T2207/20064
Abstract: A method for extracting feature points of an image is provided to simultaneously create 6 sample images with a single input image and remarkably shorten the operation time required to extract feature points by using a wavelet pyramid composed of 6 wavelet transforms connected through threads. If an image is inputted through a CCD(Charge-Coupled Device) camera and an IR LED module from the external(S100), a microcomputer simultaneously create a plurality of sample images from the inputted image using a wavelet pyramid composed of a plurality of wavelet transforms connected through threads(S110). The microcomputer creates the subtraction images between neighbor sample images at the same time(S120). Then the microcomputer extracts feature points in the created subtraction images(S130).
Abstract translation: 提供一种提取图像特征点的方法，以同时创建具有单个输入图像的6个样本图像，并通过使用由通过线程连接的6个小波变换组成的小波金字塔，显着缩短了提取特征点所需的操作时间。 如果通过CCD（电荷耦合器件）照相机和IR LED模块从外部输入图像（S100），则微计算机同时使用由多个小波组成的小波金字塔从输入的图像创建多个样本图像 通过线程进行转换（S110）。 微机同时在相邻采样图像之间创建减影图像（S120）。 然后，微计算机提取所产生的减影图像中的特征点（S130）。
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公开(公告)号：KR100712420B1
公开(公告)日：2007-04-27
申请号：KR1020060048832
申请日：2006-05-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 그리퍼 및 그를 구비한 그립 장치에 관한 것으로, 공기가 흡입되고 배출되는 입구(Inlet)홈과, 상기 입구홈에 연결된 채널홈과, 상기 채널홈에 연결된 그립홈이 형성되어 있는 하부 기판과; 상기 입구홈에 대응되는 관통홀이 형성되어 있고, 상기 하부 기판에 접합되어 있는 상부 기판으로 구성된다.
그러므로, 본 발명은 공기를 흡입 및 배출하여 그립홈에 대상물을 흡착하여 그립할 수 있고, 대상물을 쉽게 이탈시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 그립홈의 일부 영역이 상부 기판의 끝단의 선상으로부터 돌출되어 있으면, 대상물을 그립홈에 안착시켜 보다 안전하게 그립할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 아답터를 구비하여, 공기의 누출됨이 없이 그립퍼를 아답터를 통하여 펌프에 연결시킬 수 있는 효과가 있다.
게다가, 본 발명은 그립홈의 폭을 채널홈의 폭보다 크게 하여, 채널홈의 폭보다 큰 대상물을 원활하게 흡착하여 그립할 수 있는 효과가 있다.
흡착, 그리퍼, 그립홈, 아답터, 폭Abstract translation: 本发明涉及一种夹持器，并用他的抓握装置，到所述入口槽，以及与连接到信道槽的抓握槽的下部基板入口（入口），该空气被吸入和排出槽，通道槽和连接形成 。 并且上基板形成有与入口凹槽相对应的通孔并与下基板结合。
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公开(公告)号：KR100662231B1
公开(公告)日：2006-12-28
申请号：KR1020050043644
申请日：2005-05-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B81B5/00
Abstract: 본 발명은 미소변위 회전구동장치에 관한 것으로, 이 미소변위 회전구동장치(1)는 장치의 하부를 이루는 베이스와, 이 베이스의 상부에 축과 베어링을 매개로 결합되어 회전가능하도록 설치된 회전판과, 상기 베이스의 상부면에 고정됨과 아울러 상기 회전판의 하면에 접촉설치되어 외부 전압에 따라 회전판의 축과 직각된 방향으로 전후진 작동함으로써 회전판을 회전시키는 미소이동수단 및, 상기 회전판의 상부 중앙에 수직방향으로 설치되어 회전판이 상기 미소이동수단에 접촉되도록 가압하는 압착부재로 이루어진 구조이다.
따라서, 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 다수의 미소이동수단을 구동원으로 회전구동장치를 구성함으로써 바이오 물질 조작 및 광부품 제조 공정에서 필요성이 증대되고 있는 초정밀 조작장치에 미소변위 회전구동장치를 사용할 수 있다.
또한, 상기 미소변위 회전구동장치를 통해 나노미터 정도로 정밀하게 구동을 수행할 수 있고, 상기 구동원이 압전세라믹으로 이루어져 장치의 정밀한 회전구동이 가능하며, 장치의 연속구동으로 작동범위가 커지게 되는 것이다.
미소, 변위, 회전구동, 압전세라믹-
公开(公告)号：KR100660316B1
公开(公告)日：2006-12-21
申请号：KR1020060010644
申请日：2006-02-03
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L41/08
Abstract: A micro gripper and its driving method are provided to prevent stiction and to grip firmly an object by inhaling fluid using a through hole in a micro gripper jaw. A micro gripper includes a micro gripper jaw(130), a power supply part(200), an actuator(300) for supplying the power to the power supply part, and an inhalation part(400). The micro gripper jaw is provided with a first and a second structure(100,120) having a desired distance(d1), and through holes(111,112) located in the structures. The through holes are exposed at the opposite plane of the first and the second structure. The inhalation part is inhaled a fluid by using the through holes so as to grip firmly an object(150).
Abstract translation: 提供了一种微型抓具及其驱动方法，以防止静摩擦并通过使用微型抓具钳口中的通孔吸入流体来牢牢抓住物体。 微型夹持器包括微型夹持器钳口（130），电源部分（200），用于向电源部分供电的致动器（300）以及吸入部分（400）。 微型夹爪设置有具有期望距离（d1）的第一和第二结构（100,120）以及位于结构中的通孔（111,112）。 通孔暴露在第一和第二结构的相对平面处。 吸入部分通过使用通孔吸入流体以牢固地夹持物体（150）。
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