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公开(公告)号:KR102200268B1
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:KR1020180149021
申请日:2018-11-27
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01M4/36 , H01M4/40 , H01M4/38 , H01M10/052 , B22F1/00
Abstract: 본발명의목표는리튬금속음극기반이차전지의에너지밀도유지와전지수명의연장을위한전해질시스템을제공하는것이다. 이기술의궁극적인응용목표는미래무인전기자동차와전력망에너지저장시스템에사용되는기존리튬이온전지와더불어높은에너지밀도를갖는리튬금속전지에사용되는전이금속산화물, 황, 및공기극과같은다양한양극과함께리튬금속을사용하는것이다. 또한최근새롭게떠오르고있는드론과같은무인기분야의발전에도기여할것이다. 본발명을통해관련이차전지및 전기화학커패시터산업의세계경쟁력을확보할수 있을것으로전망된다. 특히고밀도에너지를가진물질들을다룰때, 최근안전성에관한연구가핵심연구중에하나로주목받고있다. 그이유는, 제품상용화에있어높은에너지밀도구현에따른안전성저하때문이다. 최근스마트폰발화로인한사회적그리고기술적인역풍들로인해특히고에너지밀도의배터리안전성확보는불가피하다. 특히곧 다가올차세대전지들은현존하는리튬이온배터리의에너지밀도가실질적으로최소 2 배에서최대 8 배정도높기때문에전지와전지를다루는시스템의안전성에관한연구와확인을반드시거쳐야한다. 따라서본 발명은전지발화가능성이높은리튬금속전지의음극을안정화시키고, 내부단락이일어나지않도록리튬덴드라이트형성과확산을억제를해줄수 있는안정한리튬이온의이동, 전착과용해가가능한리튬기반의하이브리드음극을형성하여리튬금속이차전지를안정화시키는기술을제공하는것이다.
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公开(公告)号:KR102046538B1
公开(公告)日:2019-11-19
申请号:KR1020180000650
申请日:2018-01-03
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01M10/0567 , H01M10/0568 , H01M10/0569 , H01M4/525 , H01M4/505 , H01M4/58 , H01M10/052 , H01M12/08
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公开(公告)号:KR1020090074383A
公开(公告)日:2009-07-07
申请号:KR1020080000144
申请日:2008-01-02
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/073 , G01R3/00 , G01R31/2601 , G01R31/2886 , H01L22/30
Abstract: A probe and a method for fabricating the same is provided to minimize stress applied to a probe structure in a planarization process by using a sacrificing layer made of metal. A probe apparatus is classified into a plurality of unit probe patterns, and each unit probe pattern is formed by a unit process. A unit probe pattern mask is formed on the space transformer(100) for the unit process, and the unit probe pattern(102a) is formed on the domain exposed by the unit probe pattern mask. The unit probe pattern mask is removed, and the sacrificial layer(104) of the metal material is formed on the whole of the result. The unit probe pattern and sacrificial layer are planarized, and the upper side of the unit probe pattern is exposed.
Abstract translation: 提供探针及其制造方法,以通过使用由金属制成的牺牲层来最小化在平坦化工艺中施加到探针结构的应力。 探针装置分为多个单位探针图案,并且通过单位处理形成每个单位探针图案。 在单位处理的空间变换器(100)上形成单位探针图案掩模,并且在由单位探针图案掩模曝光的区域上形成单位探针图案(102a)。 去除单元探针图案掩模,并且在整个结果上形成金属材料的牺牲层(104)。 单位探针图案和牺牲层被平坦化,并且单元探针图案的上侧被暴露。
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公开(公告)号:KR1020080011613A
公开(公告)日:2008-02-05
申请号:KR1020060072402
申请日:2006-07-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R3/00 , G01R31/2601
Abstract: A vertical probe for inspecting a semiconductor is provided to shorten an interval of semiconductor inspection time by inspecting a semiconductor chip with an irregular two-dimensional pad arrangement at a time. A vertical probe(300) includes a front end part(310) in contact with a pad of a semiconductor chip in operation and a support part(320) that supports the front end part and gives elasticity to the front end part. The support part is made of at least one support piece. The support part can be fixed to a fixing part(330) fixed to a ceramic substrate. The front end part can include a coupling part connected to the support part and a contact part incorporated with the coupling part wherein the contact part comes in contact with the pad of the semiconductor chip in operation. The contact part can come in line-contact with the pad of the semiconductor chip.
Abstract translation: 提供了用于检查半导体的垂直探针,以通过一次检查具有不规则二维衬垫布置的半导体芯片来缩短半导体检查时间的间隔。 垂直探针(300)包括与操作中的半导体芯片的焊盘接触的前端部(310)和支撑前端部并且向前端部赋予弹性的支撑部(320)。 支撑部分由至少一个支撑件制成。 支撑部可以固定在固定在陶瓷基板上的固定部(330)上。 前端部可以包括连接到支撑部分的联接部分和与联接部分结合的接触部分,其中接触部分在操作中与半导体芯片的焊盘接触。 接触部分可以与半导体芯片的焊盘成线接触。
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公开(公告)号:KR1020040033998A
公开(公告)日:2004-04-28
申请号:KR1020020063311
申请日:2002-10-16
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B25J15/06
Abstract: PURPOSE: A gripper device for a microrobot is provided to improve the precision of position and gripping force control by having a voice-coil motor and a gripper hand having super-elasticity. CONSTITUTION: A gripper device for a microrobot is composed of a driving mechanism(10) having a voice-coil motor, and a gripper hand having super-elasticity. The voice-coil motor includes a pushing shaft(11) on which coil(12) is wound, magnets(13) located at both sides of the coil, and oilless bearings(15) installed between front and rear sides of the pushing shaft and a frame(14).
Abstract translation: 目的:提供一种用于微型机器的夹持装置,通过使音圈电机和具有超弹性的夹爪手来提高位置和夹持力控制的精度。 构成:用于微型机器的夹持装置由具有音圈马达的驱动机构(10)和具有超弹性的夹爪手构成。 音圈马达包括卷绕线圈(12)的推动轴(11),位于线圈两侧的磁体(13)和安装在推动轴的前侧和后侧之间的无油轴承(15),以及 框架(14)。
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公开(公告)号:KR102063821B1
公开(公告)日:2020-01-08
申请号:KR1020180000651
申请日:2018-01-03
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01M10/0567 , H01M10/0568 , H01M10/0569 , H01M4/525 , H01M4/505 , H01M4/58 , H01M10/052 , H01M12/08
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公开(公告)号:KR101930395B1
公开(公告)日:2018-12-18
申请号:KR1020170080854
申请日:2017-06-27
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 폴리에틸렌이마인이 부착된 카본나노튜브; 폴리에틸렌이마인이 부착된 카본나노튜브에 주입된 황(S); 및 카본나노튜브의 외곽에 형성된 이산화망간(MnO
2 ); 을 포함하는 리튬-황 이차전지용 양극재료에 관한 것이다. 이에 의하여, 리튬 폴리설파이드(LiPS, lithium polysulfides)를 흡착하여 셔틀링 반응을 억제하고, 리튬 폴리설파이드의 재사용률을 증가시켜 결과적으로 전지의 수명특성 및 율특성을 향상시킬 수 있고, 양극재료를 3D 전류집전체에 코팅한 양극을 사용함으로써 사이클 특성을 향상시킬 수 있다.-
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公开(公告)号:KR100852514B1
公开(公告)日:2008-08-18
申请号:KR1020060072402
申请日:2006-07-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 반도체 칩의 검사(테스트)를 위한 프로브 및 프로브 카드와 그 제조방법에 관한 것으로서, 차지하는 면적이 적고, 로드가 커 접촉성이 우수할 뿐만 아니라 우수한 탄성력을 가져 큰 오버 드라이브를 갖는 수직형 프로브, 이 프로브를 구비한 프로브 카드 및 그 제조방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.
본 발명은 작동시 반도체 칩의 패드와 접촉되도록 형성된 선단부, 및 상기 선단부를 지지하고 또한 상기 선단부에 탄성을 부여하는 지지부를 포함하고, 이 지지부가 고정되어 있고 또한 프로브 카드에 사용되는 적층용 세라믹 기판에 고정되는 고정부를 추가로 포함하고, 그리고 상기 지지부는 1개 이상의 지지편으로 이루어지는 수직형 프로브, 이 프로브를 갖는 프로브 카드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 수직형 프로브 및 프로브 카드에 의하면, 반도체 검사 시간과 비용을 절감하여 반도체 생산 단가를 크게 줄일 수 있고, 또한, 본 발명의 수직형 프로브 및 프로브 카드의 제조방법에 의하면, 고 종횡비 MEMS 구조물 제작에 있어 수율과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
프로브, 반도체 칩, 검사, 에칭, 도금-
公开(公告)号:KR100505145B1
公开(公告)日:2005-07-29
申请号:KR1020020063311
申请日:2002-10-16
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B25J15/06
Abstract: 본 발명은 NiTi 계 합금의 초탄성 효과를 이용한 전자기력, 압전구동 방식이 포함된 선형구동수단을 갖는 마이크로 로봇 그리퍼 장치에 관한 것이다. 구체적으로는 VCM(Voice-Coil Motor)을 이용한 로렌츠(Lorenz) 전자기력 혹은 PZT 압전구동 엑츄에이터를 이용한 선형 추력 매커니즘을 통한 탄성힌지구조의 마이크로로봇 그리퍼의 그리핑 구동 매커니즘 및 NiTi 계 초탄성 합금을 이용한 탄성힌지형 마이크로로봇 그리퍼 핸드(hand)를 제작 구현하는 기술에 관한 것이다.
3차원 형상의 마이크로부품 및 생체 대상물 등을 조립 혹은 조작하기 위해서는 대상물의 특성(기하, 재질, 무게, 크기 등)을 고려한 소형, 고정밀도의 마이크로로봇 그리퍼의 설계와 제작이 요구된다. 또한 마이크로 대상물의 조립 혹은 조작시의 정밀한 위치제어, 그리핑시 접촉력 감지를 통한 정밀한 힘제어 등을 가능하게 하기 위한 센싱 매커니즘 장치가 필요하다
이에 본 발명은 3차원 형상의 마이크로 부품 조립 작업 및 생체 대상물의 조작에 이용되는 마이크로로봇 그리퍼 장치에 있어서, 보이스 코일 모터(Voice-Coil Motor)을 이용한 로렌츠(Lorenz) 전자기력에 의해 구동되는 마이크로로봇 그리퍼의 구동 수단과; 상기 마이크로로봇 그리퍼의 정밀한 위치 제어 및 힘 제어를 위한 탄성힌지형 마이크로로봇 그리퍼 핸드 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로로봇 그리퍼 장치를 제시한다.
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