公开(公告)号：JP2013056819A

公开(公告)日：2013-03-28

申请号：JP2012189672

申请日：2012-08-30

Applicant: Corning Inc ,  コーニング インコーポレイテッド

Inventor： ANNAMALAI SEZHIAN

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C3/085 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B19/06 ,  C03B19/063 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a doped silica-titania glass that has the required improvements for certain parameters such as a tolerance value for Tzc, CTE vs. temperature slope and Tzc spatial homogeneity and is suitable for use in below 25 nm node lithography as an element of a system.SOLUTION: Selected weight of silica-titania powders and selected weight of dopant powders are weighed out and the silica-titania powders and the selected dopant powders are mixed for forming slurry of the mixed powders using a selected fluid. The slurry is sprayed and dried to form a powder containing free-flowing fine particles having a size of approximately 200 μm diameter or less. The powder is shaped into a shaped article by uniaxial pressing and then further by cold isostatic pressing. The shaped article is consolidated by hot pressing to shape into a doped silica-titania glass blank and further the glass blank is annealed.

Abstract translation: 要解决的问题：提供掺杂的二氧化硅 - 二氧化钛玻璃，其对于某些参数（例如Tzc，CTE与温度斜率和Tzc空间均匀性的公差值）具有必要的改进，并且适用于低于25nm 节点光刻作为系统的一个要素。 解决方案：称出二氧化硅 - 二氧化钛粉末的选定重量和选择重量的掺杂剂粉末，并且使用所选择的流体混合二氧化硅 - 二氧化钛粉末和所选择的掺杂剂粉末以形成混合粉末的浆料。 将浆料喷雾并干燥以形成包含直径为约200μm或更小的尺寸的自由流动的细颗粒的粉末。 通过单轴压制将粉末成形为成形制品，然后通过冷等静压制成。 通过热压将成形制品固结成形成掺杂的二氧化硅 - 二氧化钛玻璃坯料，并进一步对玻璃坯料进行退火。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：WO2016094494A3

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：PCT/US2015064662

申请日：2015-12-09

Applicant: CORNING INC

Inventor： ANNAMALAI SEZHIAN ,  DURAN CARLOS ALBERTO ,  HRDINA KENNETH EDWARD

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B25/02 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/14 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/112 ,  C03C4/00 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  C03C2203/52

Abstract: A doped silica-titania glass article is provided that includes a glass article having a glass composition comprising (i) a silica-titania base glass, (ii) a fluorine dopant, and (iii) a second dopant. The fluorine dopant has a concentration of fluorine of up to 5 wt. % and the second dopant comprises one or more oxides selected from the group consisting of Al, Nb, Ta, B, Na, K, Mg, Ca and Li oxides at a total oxide concentration from 50 ppm to 6 wt.%. Further, the glass article has an expansivity slope of less than 0.5 ppb/K2 at 20⃘C. The second dopant can be optional. The composition of the glass article may also contain an OH concentration of less than 100 ppm.

Abstract translation: 提供掺杂二氧化硅 - 二氧化钛玻璃制品，其包括具有玻璃组合物的玻璃制品，所述玻璃组合物包含（i）二氧化硅 - 二氧化钛基底玻璃，（ii）氟掺杂剂和（iii）第二掺杂剂。 氟掺杂剂的氟浓度高达5wt。 ％，第二掺杂剂包含一种或多种选自Al，Nb，Ta，B，Na，K，Mg，Ca和Li氧化物的氧化物，总氧化物浓度为50ppm至6wt。％。 此外，玻璃制品在20℃时的膨胀斜率小于0.5ppb / K2。 第二掺杂剂可以是任选的。 玻璃制品的组成也可以含有小于100ppm的OH浓度。