-
公开(公告)号：JP2012046406A
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：JP2011039763
申请日：2011-02-25
Applicant: Corning Inc , コーニング インコーポレイテッド
Inventor： DURAN CARLOS , HRDINA KENNETH EDWARD , MAXON JOHN EDWARD
IPC: C03C3/06 , C03B8/04 , C03B20/00 , C03C3/076 , H01L21/027
CPC classification number: C03B19/1407 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C2201/20
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To adjust and improve the expansivity of low-thermal-expansion silica-titania glass through the change in the [OH] content and fictive temperature of glass.SOLUTION: The [OH] concentration in the glass can be in the range of 600-2,500 ppm. The fictive temperature Tis lower than 900°C.
Abstract translation: 要解决的问题：通过玻璃的[OH]含量和假想温度的变化来调整和提高低热膨胀二氧化硅 - 二氧化钛玻璃的膨胀性。
解决方案：玻璃中的[OH]浓度可以在600-2,500ppm的范围内。 假想温度T
F 低于900°C。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT -
公开(公告)号：JP2012046407A
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：JP2011039769
申请日：2011-02-25
Applicant: Corning Inc , コーニング インコーポレイテッド
Inventor： DURAN CARLOS , HRDINA KENNETH EDWARD , MUELLER MICHAEL A
IPC: C03C3/06 , C03B20/00 , G03F1/22 , H01L21/027
CPC classification number: C03C3/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1407 , C03B19/1415 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , G03F1/60 , G03F7/0002 , G03F7/70958
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To disclose a means of adjusting the absolute value of CTE, which simultaneously leads to both of improved transmission characteristics and an adjustment of the absolute value of the CTE, through a change in the speed of annealing.SOLUTION: This silica-titania glass has internal transmission of: >90%/cm at wavelengths from 340 to 840 nm; >93%/cm at wavelengths from 340 to 840 nm; or >95%/cm at wavelengths from 340 to 840 nm, or the silica-titania glass has an overall transmission of an optical member made of the glass of: >84% at wavelengths from 340 to 840 nm; >86% at wavelengths from 340 to 840 nm; or >88% at wavelengths from 330 to 840 nm, or furthermore, the silica-titania glass has a Ticoncentration level less than 3 ppm by weight.
Abstract translation: 要解决的问题：通过退火速度的变化来公开调整CTE的绝对值的手段，其同时导致改进的传输特性和CTE的绝对值的调整。 该二氧化硅 - 二氧化钛玻璃的波长为340〜840nm，内透射率> 90％/ cm 2。 在340至840nm的波长下> 93％/ cm; 或者在340〜840nm的波长下为> 95％/ cm，或者二氧化硅 - 二氧化钛玻璃在340〜840nm的波长下具有由玻璃构成的光学部件的整体透射率> 84％ 在340〜840nm的波长范围内> 86％ 或在330至840nm的波长下> 88％，或者此外，二氧化硅 - 二氧化钛玻璃具有小于3ppm重量的Ti
+ 3 浓度水平。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT -
公开(公告)号：JP2009184912A
公开(公告)日：2009-08-20
申请号：JP2009027210
申请日：2009-02-09
Applicant: Corning Inc , コーニング インコーポレイテッド
Inventor： FIACCO RICHARD MICHAEL , HRDINA KENNETH EDWARD , KHRAPKO ROSTISLAV RADIEVICH , MOORE LISA A , SMITH CHARLENE M
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/22 , C03C3/06 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/22 , C03C2201/23 , C03C2203/54 , G03F7/70966
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fused silica glass having a refractive index homogeneity of less or equal to about 5 ppm over an aperture area of at least about 50 cm
2 , containing substantially no halogen and having an absorption edge of less than 160 nm.
SOLUTION: The glass is dried by exposing a silica soot blank to carbon monoxide before consolidation reducing the combined concentration of hydroxyl group (i.e., OH), where H is protium (
1
1 H), and deuterioxyl (OD), where D is deuterium (
2
1 H), to about less than 20 ppm by weight in one embodiment, less than 5 ppm by weight in another embodiment, and about less than 1 ppm by weight in a third embodiment.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPITAbstract translation: 要解决的问题：提供在基本上不含卤素的至少约50cm 2的开口面积上具有小于或等于约5ppm的折射率均匀性的熔融石英玻璃 并具有小于160nm的吸收边。 解决方案：通过在固化前将二氧化硅烟炱坯料暴露于一氧化碳来干燥玻璃，减少了羟基（即OH）的组合浓度，其中H是ium（
1 1 H）和氘代（OD），其中D是氘（ 2 1 H），在一个实施方案中为约小于20ppm重量 在另一个实施方案中为5重量ppm以下，在第三实施方案中为约小于1重量ppm。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT -
公开(公告)号：DE112005003308T5
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：DE112005003308
申请日：2005-12-28
Applicant: CORNING INC
Inventor： BOOKBINDER DANA CRAIG , FIACCO RICHARD MICHAEL , HRDINA KENNETH EDWARD , TANDON PUSHKAR , BLEAKING DANIEL JOSEPH , MAXON JOHN EDWARD , WILBERT KIMBERLY ANN
Abstract: Disclosed are high purity synthetic silica glass material having a high OH concentration homogeneity in a plane perpendicular to the optical axis, and process of making the same. The glass has high refractive index homogeneity. The glass can have high internal transmission of at least 99.65%/cm at 193 nm. The process does not require a post-sintering homogenization step. The controlling factors for high compositional homogeneity, thus high refractive index homogeneity, include high initial local soot density uniformity in the soot preform and slow sintering, notably isothermal treatment during consolidation.
-
公开(公告)号：DE112005003308B4
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：DE112005003308
申请日：2005-12-28
Applicant: CORNING INC
Inventor： BOOKBINDER DANA CRAIG , FIACCO RICHARD MICHAEL , HRDINA KENNETH EDWARD , TANDON PUSHKAR , BLEAKING DANIEL JOSEPH , MAXON JOHN EDWARD , WILBERT KIMBERLY ANN
Abstract: Synthetisches Siliciumdioxid-Glasmaterial mit einem OH-Gehalt von 0,1 bis 1.300 Gew. ppm mit einer Schwankung in der OH-Konzentration in einer Ebene senkrecht zu einer optischen Achse davon von weniger als 20 Gew. ppm, und das Schlieren in der Richtung der Achse, welche senkrecht zu der Ebene ist, in der die OH-Schwankung weniger als 20 Gew. ppm beträgt, einschließt.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE102010039779A1
公开(公告)日：2011-03-24
申请号：DE102010039779
申请日：2010-08-25
Applicant: CORNING INC
Inventor： HRDINA KENNETH EDWARD , MUELLER MICHAEL A , STAINBROOK BARBARA L
Abstract: Ein Glas mit geringer Wärmeausdehnung schließt ein Glasgrundmaterial mit einer Vorderseite, einer Rückseite und einer Dicke und ein Glasbeschichtungsmaterial, das wenigstens auf die Vorderseite des Glasgrundmaterials aufgebracht ist, ein. Das Glasgrundmaterial besteht im Wesentlichen aus 10 Gew.-% bis 20 Gew.-% Titandioxid und 80 Gew.-% bis 90 Gew.-% Siliziumdioxid. Das Glasbeschichtungsmaterial besteht auch im Wesentlichen aus Titandioxid und Siliziumdioxid, die Gesamtmenge an Titandioxid im Glasbeschichtungsmaterial ist jedoch kleiner als die Gesamtmenge an Titandioxid im Glasgrundmaterial. Ein Siliziumdioxid-Titandioxid-Glaselement, das für Lithographie-Anwendungen im extremen Ultraviolett geeignet ist, besteht aus 12 Gew.-% bis 20 Gew.-% Titandioxid und 80 Gew.-% bis 88 Gew.-% Siliziumdioxid und weist einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von im Wesentlichen 0 &Dgr;L/L in einem Temperaturbereich von -20°C bis +100°C auf.
-
公开(公告)号：DE102005062916A1
公开(公告)日：2006-07-27
申请号：DE102005062916
申请日：2005-12-29
Applicant: CORNING INC
Inventor： BOOKBINDER DANA CRAIG , FIACCO RICHARD MICHAEL , HRDINA KENNETH EDWARD , MOORE LISA ANNE , SCHIEFELBEIN SUSAN LEE
Abstract: Disclosed are high purity synthetic silica material having an internal transmission at 193 nm of at least 99.65%/cm and method of preparing such material. The material is also featured by a high compositional homogeneity in a plane transverse to the intended optical axis. The soot-to-glass process for making the material includes a step of consolidating the soot preform in the presence of H2O and/or O2.
-
公开(公告)号：DE10341569A1
公开(公告)日：2004-03-18
申请号：DE10341569
申请日：2003-09-09
Applicant: CORNING INC
Inventor： HRDINA KENNETH EDWARD , SABIA ROBERT
Abstract: An extreme ultraviolet optical element is made by: providing an aqueous sol including a solid phase of titania-containing silica powder; forming the sol into a titania-containing silica shaped gel having a homogenous distribution of titania; drying the titania-containing silica gel to provide a dried titania-containing silica body; and heating the titania-containing silica body to a temperature to form glass body (18). An Independent claim is also included for a titania-containing silica glass body having a length greater than 10 cm, a width greater than 10 cm, a titania concentration of 6.5-7.5 wt.%, and a coefficient of thermal expansion (CTE) variation of less than 1 ppb/degrees C.
-
公开(公告)号：DE102005062916B4
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：DE102005062916
申请日：2005-12-29
Applicant: CORNING INC
Inventor： BOOKBINDER DANA CRAIG , FIACCO RICHARD MICHAEL , HRDINA KENNETH EDWARD , MOORE LISA ANNE , SCHIEFELBEIN SUSAN LEE
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines synthetischen Glasmaterials mit einer OH-Konzentration von 0,1 bis 1300 Gew.-ppm und einer Schwankung der OH-Konzentration in einer Ebene senkrecht zu mindestens einer seiner optischen Achsen von weniger als 5 Gew.-ppm, das die folgenden Schritte umfasst:(i) Bereitstellen Siliciumglasrußpartikel;(ii) Herstellung einer porösen Vorform mit einer Schüttdichte von 0,25 bis 1,0 g/cmaus den Rußpartikeln;(iii) gegebenenfalls Reinigen der porösen Vorform und(iv) Verfestigen der Vorform zu dichtem Siliciumglas in Gegenwart von HO und/oder Oin einem Ofen, bei dem eine einer Verfestigungsatmosphäre ausgesetzte Innenfläche für HO und Oinert ist.
-
公开(公告)号：DE102010039924A1
公开(公告)日：2011-03-03
申请号：DE102010039924
申请日：2010-08-30
Applicant: CORNING INC
Inventor： DURAN CARLOS , HRDINA KENNETH EDWARD
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
11
records
(took 0.025 seconds)
