公开(公告)号：KR100822881B1

公开(公告)日：2008-04-17

申请号：KR1020037001587

申请日：2001-07-20

Applicant: 이유브이 리미티드 라이어빌러티 코포레이션

Inventor： 스웨트,윌리엄씨. ,  티체노,다니엘에이. ,  버나데즈,루이스제이.

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G03F7/70158 ,  G02B27/30 ,  G03F7/70066 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70875 ,  G21K1/06 ,  G21K1/10 ,  G21K2201/06 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

Abstract: 복사 빔을 발생시키는 응축기 시스템은 복사선 연속스펙트럼을 발생하는 복사선 소스; 복사선 소스로부터 복사선을 수집하고 복사 빔을 생성하기 위한 하나 이상의 일차 광학 부재; 및 복사선 연속 스펙트럼으로부터 특정 파장을 갖는 복사선을 일차로 분리하는 회절 분광 필터를 포함한다. 발생된 열을 제거하기 위하여 냉각 장치가 사용될 수 있다. 응축기 시스템은 프로젝션 리소그라피에서 링필드 카메라와 함께 사용할 수 있다.
복사 빔, 복사선 연속스펙트럼, 응축기 시스템, 회절 분광 필터, 리소그라피

公开(公告)号：KR1020030097784A

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：KR1020037003497

申请日：2001-09-28

Applicant: 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

Inventor： 안토니,마틴 ,  싱어,볼프강 ,  방글러,요하네스

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G21K1/06 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70083 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/708 ,  G03F7/70891 ,  G21K1/067 ,  G21K2201/06 ,  G21K2201/064

Abstract: 본 발명은 주요 광원료, 제 1 광학부, 제 2 광학부, 상 평면과 출사 동공으로 구성되어 있고, 상기 제 1 광학부가 주요 광원료를 상기 출사 동공 내 상기 제 2 광학부에 의해 상형성된 다수의 제 2 광원료로 변형시킨다는 점, 상기 제 1 광학부가 상기 상 평면 내의 필드 상에 적어도 부분적으로 겹쳐진 다수의 상을 형성하는 상기 상 평면 내로 상이 형성되는 다수의 제 1 래스터 요소를 가진 제 1 광학적 요소를 포함한다는 점, 상기 상 평면 내에 상이 형성된 상기 제 1 래스터 요소가 거의 완벽히 조명되어진다는 점을 특징으로 하는 특히 파장 193 nm 이하의 마이크로리소그래피를 위한 조명 시스템에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR100256849B1

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019970709362

申请日：1996-06-11

Applicant: 주식회사 엑스레이 옵티컬 시스템

Inventor： 깁슨데이빗엠 ,  다우닝로버트그레고리

IPC: G21K1/02

CPC classification number: G21K1/06 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/068

Abstract: X선, 감마선, 대전입자, 그리고 중성자를 포함하는 중성입자들의 집중된 방사선빔의 발산량을 조절할 수 있는 장치와 방법이 개시된다. 본 발명의 장치는 방사선 차단장치(54, 142, 218, 240)의 새로운 사용을 특징으로 하며, 다중채널 전반사 광학장치(10)와 결합될 때 사용자가 조절 가능한 출력빔의 발산을 제공하여 광학장치의 융통성을 증가시킨다.

公开(公告)号：NL2010274C

公开(公告)日：2015-02-26

申请号：NL2010274

申请日：2013-02-07

Applicant: MEDIA LARIO SRL

Inventor： CEGLIO NATALE M ,  STEARNS DANIEL ,  KOOLS JACQUES ,  VALSECCHI GIUSEPPE ,  ZOCCHI FABIO ,  BINDA RICCARDO

IPC: G02B5/20 ,  G02B19/00 ,  G02B27/42 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  H05G2/00

CPC classification number: H05G2/005 ,  G02B5/203 ,  G02B19/0095 ,  G02B27/425 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70916 ,  G21K1/067 ,  H05G2/008 ,  G21K2201/06 ,  G21K2201/064

公开(公告)号：CZ20120265A3

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CZ20120265

申请日：2012-04-17

Applicant: CESKU VYSOKU UCENI TECHNICKU V PRAZE

Inventor： CHADZITASKOS GOCE

IPC: G02B23/06 ,  G21K1/00 ,  G21K1/06

CPC classification number: G21K1/06 ,  G21K2201/062 ,  G21K2201/064

Abstract: Teleskop zobrazující rentgenové zárení o vlnové délce (.lambda.) je tvorena parabolickým pásem slozeným z ohnutých monokrystalických desticek (1, 2) s atomovými rovinami (5) rovnobeznými s povrchem techto monokrystalických desticek (1, 2), jejichz vzájemná vzdálenost se v kazdé monokrystalické desticce (1, 2) mení dle vztahu d= , kde n je prirozené císlo, které udává pocet vlnových délek (.lambda.) pripadajících na rozdíl drah paprsku pri odrazu od dvou sousedních atomových rovin (5) a p je dvojnásobek vzdálenosti ohniskové prímky (F) od vrcholové prímky (V) parabolického pásu, tj. pro danou monokrystalickou desticku (1, 2) natazenou mezi (x.sub.min.n.) a (x.sub.max.n.) platí vztah = , kde (d.sub.0.n.) je vzdálenost mezi atomovými rovinami (5) v bode o souradnici (x.sub.min.n.) a (d) je vzdálenost mezi atomovými rovinami (5) v bode o souradnici (x). Tohoto prubehu lze dosáhnout rozlozením teplot v ruzných místech podle experimentálne zmerené závislosti mrízkového parametru .gama. na teplote T(x) = T(x.sub.min.n.) + .

公开(公告)号：ZA8407129B

公开(公告)日：1985-06-26

申请号：ZA8407129

申请日：1984-09-11

Applicant: ENERGY CONVERSION DEVICES INC

Inventor： KEEM JOHN EDWARD ,  MARSHALL GERALD FRANCIS

IPC: G01N23/00 ,  G21K1/06 ,  H05G ,  H01J

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G21K1/062 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/064

公开(公告)号：US10020087B1

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：US14692570

申请日：2015-04-21

Applicant: Michael Kozhukh

Inventor： Michael Kozhukh

IPC: G21K1/06

CPC classification number: G21K1/062 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/062 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

Abstract: A crystal monochromator is manufactured by heating a crystal having an original thickness to a temperature of over about 850° C. The crystal is compressed for a duration of approximately 1-5 minutes with a force of about 5-10 metric tons while the crystal is maintained at the temperature of over about 850° C. to plastically deform the crystal along an axis, wherein the compressing causes a plastic deformation of about 0.5%-1.5% of the original thickness. The crystal may be sliced to form crystal monochromators having a mosaicity of between about 15-28 arcminutes and a slow neutron reflectivity of over 70% at a rocking curve peak.

公开(公告)号：US09953735B2

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：US14430683

申请日：2013-09-01

Applicant: CONVERGENT R.N.R LTD

Inventor： Aharon Bar-David ,  Zeev Burshtein ,  Zeev Harel

IPC: G21K1/00 ,  G21K1/06 ,  A61N5/10 ,  G21K5/04

CPC classification number: G21K1/062 ,  A61N5/1042 ,  A61N5/1084 ,  A61N2005/1091 ,  A61N2005/1095 ,  G21K5/04 ,  G21K2201/064

Abstract: An X-ray lens arrangement for forming a radiation pattern as a focal track is disclosed. The pattern comprises at least one 3-dimensional focal track of radiation. The aforesaid lens arrangement has a main axis passing through intensity weighted centroids of the X-ray source and the pattern. The lens arrangement includes at least one reflecting surface of continuously varying Rowland arcs. Each point belonging to the focal track is linked to each elemental point composing an emitting surface of said source by a corresponding Rowland arc.

公开(公告)号：US09892811B2

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：US14904494

申请日：2014-02-03

Applicant: The University of Tokyo

Inventor： Hiroto Motoyama ,  Hidekazu Mimura

IPC: G03B27/54 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  G02B5/10 ,  G02B19/00

CPC classification number: G21K1/067 ,  G02B5/10 ,  G02B19/0023 ,  G21K2201/064

Abstract: An object of the invention is to provide a novel optical design method for an X-ray focusing system capable of collecting all the fluxes, while applying an X-ray of a very small divergence angle to the entire surface of a rotating mirror. The method includes a step of determining the shape of a rotating mirror (3) provided with a reflection surface, the reflection surface being formed by rotating, by one turn around an optical axis (OA), a one-dimensional profile composed of an ellipse or a part of combination of the ellipse and a hyperbolic curve, the ellipse including a downstream focal point (F) serving as a light collecting point of the X-ray focusing system, and including an upstream focal point (F1) deviated from the optical axis (OA); and a step of determining the shape of a reflection surface of an annular focusing mirror (4).

公开(公告)号：US20180011035A1

公开(公告)日：2018-01-11

申请号：US15712799

申请日：2017-09-22

Applicant: RIGAKU CORPORATION

Inventor： Naoki KAWAHARA

IPC: G01N23/207 ,  G21K1/06

CPC classification number: G01N23/223 ,  G01N23/207 ,  G01N23/22 ,  G01N2223/315 ,  G21K1/06 ,  G21K1/062 ,  G21K1/067 ,  G21K2201/06 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/062 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

Abstract: A doubly bent X-ray spectroscopic device (1) according to the present invention includes: a glass plate (3) which is deformed into a shape having a doubly bent surface by being sandwiched between a doubly curved convex surface (21a) of a convex forming die (21) and a doubly curved concave surface (22a), of a concave forming die (22), that matches the doubly curved convex surface (21a), and being heated to a temperature of 400° C. to 600° C.; and a reflection coating (5) configured to reflect X-rays, which is formed on a concave surface (3a) of the deformed glass plate (3 ).