公开(公告)号：KR1020060043141A

公开(公告)日：2006-05-15

申请号：KR1020050014990

申请日：2005-02-23

Applicant: 지벡스 인스투르먼츠, 엘엘시

Inventor： 바우어크리스토프 ,  폴라론로버트제이. ,  하트만아담 ,  포스터필립시. ,  넬슨제이시. ,  스톨컵리처드이.2세

IPC: G01R1/067 ,  G05D3/00

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01R31/307 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2594 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31745

Abstract: 대전 입자 빔 장치(CPBD : Charged Particle Beam Device)에 통신적으로 연결된 포지셔너 제어 장치는 프로브를 챔버 내에 배치된 샘플의 접촉 포인트와 접촉시킨다. CPBD에 통신적으로 연결된 측정장치 및 포지셔너는 샘플 특징의 측정/검출을 지원할 수 있다. 제어 루틴은 CPBD, 포지셔너 및 측정 장치의 제어를 적어도 부분적으로 자동화할 수 있다.
이러한 구성요소의 하나 이상은, 적어도 하나의 프로브가 CPBD의 빔에 노출되는 챔버 내에 배치된 프로브에 제 1 신호를 인가하는 단계; 샘플의 특징을 판정하기 위해서 제 1 신호와 제 2 신호를 비교하는 단계; 및 하나의 팁이 그의 열 제거 부분으로서 날카롭게 되는 적어도 하나의 근접-배치된 프로브 팁을 가열하는 단계를 포함할 수 있는 방법을 지원한다.

公开(公告)号：KR1020050105279A

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：KR1020057016874

申请日：2004-03-09

Applicant: 꼼미사리아 아 레네르지 아또미끄 에 오 에네르지 알떼르나띠브스

Inventor： 뻬레빠트리스 ,  로소우스키,앙드레

IPC: G21G1/10

CPC classification number: G21K1/093 ,  G21G1/10 ,  H01J37/065 ,  H01J2237/06391 ,  H01J2237/25 ,  H01J2237/28

Abstract: The invention relates to a positron source which applies, in particular, to solid state physics. The inventive source comprises a thin target (28) which receives a continuous or quasi-continuous beam (22) of electrons of approximately 10 MeV with a grazing incidence and which produces positrons by means of interaction with said beam.

Abstract translation: 本发明涉及一种特别适用于固态物理学的正电子源。 本发明的源包括薄目标（28），其接收具有大约10MeV的电子的连续或准连续束（22）并具有掠入射，并且通过与所述光束的相互作用产生正电子。

公开(公告)号：WO2017105567A2

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/US2016/051665

申请日：2016-09-14

Applicant: JORDAN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY ,  AL-FANDI, Mohamed Ghazi Daifalla ,  AL ROUSAN, Mohammad Abdel MajeedFandi ,  JARADAT, Mohammad Abdel Kareem Rasheed ,  AWAD, Fahed Hasan Fahed ,  ALJARRAH, Inad AbedAlmohdi Rida ,  AL-JARRAH, Omar Mahmoud Mohammad

Inventor： AL-FANDI, Mohamed Ghazi Daifalla ,  AL ROUSAN, Mohammad Abdel MajeedFandi ,  JARADAT, Mohammad Abdel Kareem Rasheed ,  AWAD, Fahed Hasan Fahed ,  ALJARRAH, Inad AbedAlmohdi Rida ,  AL-JARRAH, Omar Mahmoud Mohammad

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  B25J7/00 ,  B82Y99/00 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/28

Abstract: A system and method for providing real-time visual feedback to automatically control actions of multiple autonomous nano-robots with manipulators in order to perform specific nano-manipulation or nano-assembly tasks. Visual feedback may be obtained for the nano-manipulators and the nano-components via an electronic microscopy system. At least one slave Scanning Electron Microscope ("SEM") with imaging system may be implemented with autonomous manipulators inside, and a master controller system with Graphical User Interface ("GUI"). The slave SEM can provide real-time vision feedback for the sensed environment for the master controller, and the master controller provides real-time feedback control command for the required task to the slave SEM

Abstract translation: 用于提供实时视觉反馈以自动控制具有操纵器的多个自主纳米机器人的动作以便执行特定的纳米操纵或纳米组装任务的系统和方法。 通过电子显微镜系统可以获得纳米操纵器和纳米组件的视觉反馈。 具有成像系统的至少一个从扫描电子显微镜（“SEM”）可以用内部的自主操纵器和具有图形用户界面（“GUI”）的主控制器系统来实现。 从属SEM可以为主控制器提供对感测环境的实时视觉反馈，主控制器为从属SEM提供所需任务的实时反馈控制命令

公开(公告)号：WO2015053301A1

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：PCT/JP2014/076888

申请日：2014-10-08

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 武藤　博幸 ,  川浪　義実 ,  志知　広康 ,  松原　信一

IPC: H01J27/26 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/18 ,  H01J37/285 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/28

Abstract: 　本発明の目的は、より高い信号/ノイズ比で試料を観察するために冷却温度を下げた場合でも、安定してエミッタティップの先端に１個の原子を有するナノピラミッドが形成できるイオンビーム装置を提供することである。　本発明では、ガス電界電離イオン源から発生するイオンビームを試料に照射することで試料の観察または加工を行うイオンビーム装置において、エミッタティップの先端に１個の原子を有するナノピラミッドを形成する際、イオンビームを発生させる第１温度よりも高くかつ室温よりも低い第２温度にエミッタティップの温度を保持しつつ、引出電圧をイオンビームを発生させるときの第１電圧より高い第２電圧に設定して、エミッタティップの先端の原子を電界蒸発させる。

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种即使在降低冷却温度以观察具有高信噪比的样品的情况下，也能够在发射极尖端的前端稳定地形成纳米锥体的离子束装置， 噪音比。 在本发明中，将从电场离子化的气体离子源产生的离子束照射在样品上以观察或处理样品的离子束装置，将发射极尖端的温度保持在高于 用于产生离子束并低于室温的第一温度，将提取电压设置为高于产生离子束时使用的第一电压的第二电压，并且当形成时，引起发射极尖端前端的原子的场蒸发 纳米锥体在发射极尖端的前端具有一个原子。

公开(公告)号：WO2015039101A1

公开(公告)日：2015-03-19

申请号：PCT/US2014/055868

申请日：2014-09-16

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： PLETTNER, Thomas ,  NASSER-GHODSI, Mehran

IPC: H01J1/30

CPC classification number: H01J37/153 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J9/025 ,  H01J37/073 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2203/0216 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31774 ,  Y10S977/842 ,  Y10S977/939

Abstract: A field emission device comprises one or more emitter elements, each having a high aspect ratio structure with a nanometer scaled cross section; and one or more segmented electrodes, each surrounding one of the one or more emitters. Each of the one or more segmented electrodes has multiple electrode plates. This abstract is provided to comply with rules requiring an abstract that will allow a searcher or other reader to quickly ascertain the subject matter of the technical disclosure. It is submitted with the understanding that it will not be used to interpret or limit the scope or meaning of the claims.

Abstract translation: 场发射器件包括一个或多个发射极元件，每个发射极元件具有纳米尺度横截面的高纵横比结构; 以及一个或多个分段电极，每个围绕所述一个或多个发射器中的一个发射器。 一个或多个分段电极中的每一个具有多个电极板。 提供该摘要以符合要求抽象的规则，允许搜索者或其他读者快速确定技术公开内容的主题。 提交它的理解是，它不会用于解释或限制权利要求的范围或含义。

公开(公告)号：WO2014050326A1

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：PCT/JP2013/071611

申请日：2013-08-09

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 今村　伸 ,  大嶋　卓 ,  小瀬　洋一 ,  平根　賢一

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 　シンチレータ（７）とライトガイド（８）を備えた電子顕微鏡において、シンチレータ（７）は、ライトガイド（８）の屈折率よりも大きな屈折率を有し、ライトガイド（８）に接合される端面（７２）が外側に凸状の曲面により形成されている。また、シンチレータ（７）は、組成式（Ｌｎ １－ｘ Ｃｅ ｘ ） ３ Ｍ ５ Ｏ １２ （ただし、Ｌｎは、Ｙ、Ｇｄ、ＬａおよびＬｕから選択される少なくとも一つの元素を表し、Ｍは、ＡｌおよびＧａから選択される少なくとも一つの元素を表す）で表されるＹ－Ａｌ－Ｏ系セラミック焼結体で形成されている。

Abstract translation: 电子显微镜设有闪烁体（7）和光导（8）。 闪烁体（7）的折射率大于导光体（8）的折射率，与导光体（8）接合的端面（72）由凸形的曲面形成 外。 闪烁体（7）由组成式（Ln1-xCex）3M5O12（其中Ln表示选自Y，Gd，La和 Lu和M表示Al和Ga中的任一个或两者）。

公开(公告)号：WO2013103107A1

公开(公告)日：2013-07-11

申请号：PCT/JP2012/083439

申请日：2012-12-25

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 金子　朝子 ,  高須　久幸 ,  武藤　宏史

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/3053 ,  C23C8/40 ,  C23C14/505 ,  C23C16/4586 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/3151 ,  H01J2237/31749

Abstract: 　本発明、比較的簡単な構造で試料、或いは試料台の冷却を実現する荷電粒子線照射装置の提供を目的とする。　上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子源と、試料台と、当該試料台を移動させる駆動力を伝達する伝達機構を有する駆動機構を備えた荷電粒子線照射装置であって、真空室内に配置されると共にイオン液体（１２）の収容が可能な容器とを有し、当該容器は、前記イオン液体（１２）が収容されたときに、前記伝達機構の少なくとも一部がイオン液体（１２）に浸かる位置に設けられている荷電粒子線照射装置を提案する。

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种对样品或样品台进行冷却的相对简单结构的带电粒子束照射装置。 本发明的一个方面包括：带电粒子源; 样品台 以及包括传递驱动力以移动样品台的传动机构的驱动机构。 带电粒子束照射装置包括能够容纳离子液体（12）的容器，其中容器设置在真空室中。 当离子液体（12）容纳在容器中时，传播机构的至少一部分设置在浸没在离子液体（12）中的位置。

公开(公告)号：WO2011089955A1

公开(公告)日：2011-07-28

申请号：PCT/JP2011/050357

申请日：2011-01-12

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  森下 英郎 ,  波田野 道夫 ,  大嶋 卓 ,  佐藤 貢 ,  澤畠 哲哉 ,  伊東 祐博 ,  青木 康子

Inventor： 森下　英郎 ,  波田野　道夫 ,  大嶋　卓 ,  佐藤　貢 ,  澤畠　哲哉 ,  伊東　祐博 ,  青木　康子

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J49/067 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/28

Abstract: 　複数のエネルギー帯に弁別して荷電粒子信号を検出すると共に、それらを用いてエネルギー帯毎の高解像度画像を得ることのできる荷電粒子線装置を提供するために、荷電粒子源１２－１と、荷電粒子線４の径を制限するアパーチャ１６と、荷電粒子線用の光学系１４、１７、１９と、試料台２１と、試料からの二次荷電粒子や反射荷電粒子を検出する荷電粒子検出器４０と、荷電粒子検出器からの出力信号を処理する信号演算処理部とを有する荷電粒子線装置において、荷電粒子検出器４０は、第１の検出感度を有する第１小検出器５１と、第２の検出感度を有する第２小検出器５２とを備え、かつ、荷電粒子線４が照射される試料上の位置から見た検出立体角が第１小検出器５１と第２小検出器５２とで同じにする。

Abstract translation: 为了提供一种带电粒子束装置，其能够将鉴别中的带电粒子束信号检测为多个能带，并且使用该信号获得每个能带的高分辨率图像，带电粒子束装置具有带电粒子 来源（12-1）; 限制带电粒子束（4）的直径的孔（16）; 用于带电粒子束的光学系统（14,17,19） 样品台（21）; 带电粒子检测器（40），其从样品中检测二次带电粒子和反射带电粒子; 以及处理来自带电粒子检测器的输出信号的信号计算单元。 带电粒子检测器（40）设置有具有第一检测灵敏度的第一小检测器（51）和具有第二检测灵敏度的第二小检测器（52），并且从样品上的位置观察检测立体角度， 对于第一小型检测器（51）和第二小型检测器（52），带电粒子束（4）将被照射到其上。

公开(公告)号：WO2010004275A3

公开(公告)日：2010-06-03

申请号：PCT/GB2009001692

申请日：2009-07-07

Applicant: SILSON LTD ,  ANASTASI PETER A F ,  HOWARD ANTHONY M

Inventor： ANASTASI PETER A F ,  HOWARD ANTHONY M

IPC: G21K5/08 ,  G01N23/22 ,  G01Q30/08 ,  G02B21/26 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  B82Y15/00 ,  G21K5/08 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/28

Abstract: A sample holder for use in a method of analysis using high-energy radiation, includes a frame (4) having a window (6) and a membrane (2) that extends across the window and has a surface (8) for supporting a sample. The membrane is substantially transparent to the high-energy radiation. A functional structure (10, 12, 14, 18, 22, 24, 26, 34, 36) is formed on the membrane, the functional structure providing additional functionality that allows selected parameters of a sample on the support surface to be measured and/or controlled.

Abstract translation: 用于使用高能量辐射的分析方法的样品保持器包括具有窗口（6）的框架（4）和延伸穿过窗口的膜（2），并且具有用于支撑样品的表面（8） 。 膜对高能辐射基本上是透明的。 在膜上形成功能结构（10,12,14,18,22,24,26,34,36），所述功能结构提供额外的功能，其允许测量支撑表面上的样品的选定参数和/ 或控制。

公开(公告)号：WO2009080707A2

公开(公告)日：2009-07-02

申请号：PCT/EP2008/067909

申请日：2008-12-18

Applicant: NaWoTec GmbH ,  AUTH, Nicole ,  SPIES, Petra ,  BRET, Tristan ,  BECKER, Rainer ,  HOFMANN, Thorsten ,  EDINGER, Klaus

Inventor： AUTH, Nicole ,  SPIES, Petra ,  BRET, Tristan ,  BECKER, Rainer ,  HOFMANN, Thorsten ,  EDINGER, Klaus

IPC: H01J37/305

CPC classification number: C23F4/00 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/3174 ,  H01L21/76894 ,  H01L22/22 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: The present method relates to processes for the removal of a material from asample by a gas chemical reaction activated bya charged particle beam. The method is a more step process wherein in a first step a gas is supplied which, when a chemical reaction between the gas and the material is activated, forms a non-volatile material component such as a metal salt or a metaloxide. In a second consecutive step the reaction product of the first chemical reaction is removed from the sample.

Abstract translation: 本方法涉及通过由带电粒子束激活的气体化学反应从样品除去材料的方法。 该方法是一个更步骤的过程，其中在第一步骤中，供应气体，当气体和材料之间的化学反应被活化时，形成非挥发性物质组分如金属盐或金属氧化物。 在第二个连续步骤中，从样品中除去第一化学反应的反应产物。