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公开(公告)号：KR100350853B1
公开(公告)日：2002-09-09
申请号：KR1019990048845
申请日：1999-11-05
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명의저온소결압전체조성및 이조성에따른저온소결압전체제조방법은치환된저온소결 PZT계압전체또는복합 3성분계저온소결 PZT계압전체중 하나에대한조성물에대한질량을측정하는단계, 상기질량을측정한저온소결 PZT계압전체조성물들을섞어가열하는하소단계, 저온소결조제인 BaO-CuO의질량을측정하여하소단계를마친저온소결 PZT계압전체조성물과섞는단계, 저온압전체조성물을일정온도로가열하여소결하는단계, 소결단계를마친저온압전체에전극을형성하고전계를가하여분극공정을실시한다음, 전극에전원을인가하여저온압전체의물성을평가하는단계를포함한다. 따라서, 저온소결압전체를제조함에있어서저온소결조제로 BaO-CuO를사용할경우물성이개선된압전체를만들수 있을뿐만아니라소결온도를낮출수 있다.
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公开(公告)号：KR100291555B1
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1019990029367
申请日：1999-07-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/306
Abstract: 이발명은기판식각장치및 이를이용한실리콘멤브레인제조방법을개시한다. 실리콘기판의하부면의일부를설정된실리콘멤브레인두께만큼식각하여적어도하나이상의식각영역을형성한다음, 식각영역에각각금속막을증착한다. 다음에실리콘기판의상하부면에보호막을형성하고, 실리콘기판의상부면에형성된보호막의일부를제거하여식각영역에대응하는측정영역의제1 개구부와소자를형성하기위한활성영역의제2 개구부를형성한다. 보호막중 제거되지않은보호막을식각마스크로하여제1 및제2 개구부를통하여측정영역이및 활성영역을식각하며, 식각시에일정량의광을식각영역의금속막으로조사한다. 제1 개구부를통하여금속막이노출됨에따라금속막으로조사되는광의일부가투과되어금속막으로부터반사되는광의세기가최고치에서감소되기시작하여, 금속막이모두식각되어반사되는광이최소치로감소되는구간내에서식각공정을종료한다. 따라서, 식각용액의농도및 온도변화그리고식각시간에상관없이설정된두께를가지는실리콘멤브레인을용이하게제조할수가있다.
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公开(公告)号：KR101525102B1
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：KR1020130116420
申请日：2013-09-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은마이크로가스센서및 가스센서제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는대기환경, 실내환경을모니터링하며, 관리하기위한마이크로가스센서및 이를제조하는방법에관한것이다. 이를위해본 발명의마이크로가스센서는가스가접촉하며, 공급된전류에의해발열하는감지소자, 상기감지소자의양 측면에형성되며, 상기감지소자로전류를공급하는전극, 상기감지소자와전극의하단에형성되며, 상기감지소자가증착되는부분은요철구조를갖는멤브레인및 상기멤브레인의하단에형성된기판을포함하며, 상기감지소자요철구조임을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020140128502A
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：KR1020130046365
申请日：2013-04-25
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 적외선 광원 장치 및 이를 포함하는 가스 측정 광학계가 개시된다.
본 발명의 실시 예에 따른 적외선 광원 장치는, 발열체를 이용하여 적외선 광을 방사하는 적외선 광원부; 상기 적외선 광원부에서 방사되는 적외선 광을 평행광 또는 집속광으로 변환하는 렌즈; 및 상기 적외선 광원부와 상기 렌즈를 광축 방향에 맞게 조립하여 일체화 시키고, 일정 방위를 벗어나 방사되는 적외선 광을 차단하는 경사면이 형성된 조립 기구부를 포함한다.Abstract translation: 在本发明中公开了一种红外线源设备和具有该红外线测量光学系统的气体测量光学系统。 根据本发明的实施例，红外线源装置包括：使用加热体照射红外线的红外线源单元; 透镜，其将从红外线源单元辐射的红外光转换为平行光或聚光; 以及组装工具单元，其通过与光轴方向匹配将红外线源单元整体地组装到透镜中，并且包括用于屏蔽通过从固定方位角分离而辐射的红外光的倾斜表面。
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公开(公告)号：KR1020140084583A
公开(公告)日：2014-07-07
申请号：KR1020120154197
申请日：2012-12-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12
Abstract: Disclosed are a gas sensor and a manufacturing method thereof. The gas sensor having improved durability according to an embodiment of the present invention comprises a membrane which is mounted on a substrate and has a plurality of through holes; a sensing part which is formed at the upper part and the lower part of the membrane and has a structure connected through the through holes; a heating unit which is mounted above the membrane for heating the sensing part; a sensing electrode which gets in contact with both ends of the sensing part to measure the electric change of the sensing part; and an insulation film formed for electric insulation between the heating unit and the sensing electrode.
Abstract translation: 公开了一种气体传感器及其制造方法。 根据本发明实施例的具有改进的耐久性的气体传感器包括安装在基板上并具有多个通孔的膜; 感测部，其形成在所述膜的上部和下部，并且具有通过所述通孔连接的结构; 加热单元，其安装在膜上方以加热感测部件; 感测电极，其与感测部的两端接触以测量感测部的电变化; 以及形成用于在加热单元和感测电极之间进行电绝缘的绝缘膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130121407A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：KR1020120044574
申请日：2012-04-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12 , G01N27/403
Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing a microgas sensor and, especially, to the method for manufacturing the microgas sensor in which the adhesion of a sensing material adhering to one among an insulation film, a heating electrode, and a sensing electrode is improved. The method for manufacturing the semiconductor microgas sensor according to the present invention obtains an effect of improving the adhesion of the sensing material by spread a small amount of an inorganic binder and drying the spread inorganic binder before spreading the sensing material; spreading sensing material on the inorganic binder; and heat-treating the inorganic binder on which the sensing material is spread.
Abstract translation: 微气体传感器的制造方法技术领域本发明涉及一种微气体传感器的制造方法，特别涉及一种微型气体传感器的制造方法，其特征在于，在绝缘膜，加热电极和检测电极之间附着于感测材料的感光材料的粘附性得到改善 。 根据本发明的半导体微气体传感器的制造方法通过涂布少量的无机粘合剂来获得提高感测材料的粘附性并在铺展传感材料之前干燥涂布的无机粘合剂的效果; 在无机粘合剂上铺展传感材料; 并对传感材料所在的无机粘合剂进行热处理。
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公开(公告)号：KR101203181B1
公开(公告)日：2012-11-20
申请号：KR1020100019824
申请日：2010-03-05
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/407 , G01N27/12 , B82B3/00
Abstract: 본 발명은 플렉서블 가스 검출 센서 및 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 의복이나 신체에 착용 가능하고 플렉서블한 가스 센서 및 가스 센서 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명의 가스 센서 모듈은 플렉서블 기판, 상기 기판상에 잉크젯 인쇄 방식 또는 롤 투 롤(Roll to Roll) 인쇄 방식으로 형성된 IDT 전극, 상기 IDT 전극상에 잉크젯 인쇄 방식 또는 롤 투 롤(Roll to Roll) 인쇄 방식으로 형성되며, 탄소나노튜브와 상기 탄소나노튜브에 코딩된 코딩부재로 구성된 감지부재로 구성된 적어도 하나의 가스 센서, 상기 각 가스 센서별로 감지되는 가스 농도의 임계치를 저장하는 저장부, 상기 가스 센서로부터 전달받은 가스 농도와 상기 저장부에 저장된 가스 농도의 임계치를 비교하는 제어부를 포함한다.-
公开(公告)号：KR101135400B1
公开(公告)日：2012-04-17
申请号：KR1020100024505
申请日：2010-03-19
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/12
Abstract: Disclosed is a micro gas sensor array. A micro gas sensor array according to one embodiment comprises: a first micro heater array group formed on a first membrane on the upper surface of a substrate; a second micro heater array group adjacent to the first micro heater array group; a second membrane for thermally separating the first micro heater array group from the second micro heater array group; and a sensing electrode formed on the upper portion of a micro heater array group. According to the embodiment, the size and driving power of a gas sensor array device can be reduced, and thermal stability, reliability, and structural stability can be improved.
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公开(公告)号：KR1020110108527A
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：KR1020100027762
申请日：2010-03-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 가스센서 어레이용 마이크로 플랫폼이 개시된다. 일 실시예에 따른 가스센서 어레이용 마이크로 플랫폼은 멤브레인층에 마이크로 히터가 직렬연결된 마이크로 히터 어레이와 복수의 감지전극에 공통으로 연결되는 제1 공통전극을 포함하는 마이크로 히터 어레이층과, 제1 공통전극에 연결되는 제1 감지전극 어레이와 마이크로 히터 어레이층에 형성된 제2 공통전극에 연결되는 제2 감지전극 어레이를 포함하는 감지전극 어레이층 및 감지전극 어레이 영역을 제외한 절연층 상부에 형성된 감지물질 보호층을 포함한다. 이에 따라 가스센서 어레이 패키징 구조를 단순화시키고, 가스센서의 감도, 선택성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100983788B1
公开(公告)日：2010-09-27
申请号：KR1020080134857
申请日：2008-12-26
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 브리지 회로 구조의 적용에 있어서 반복되는 저항수를 줄여서 전력 소비를 줄이고, 동시에 가스센서의 동적 범위(dynamic range) 특성을 최대한 살리는 다종의 센서 어레이용 신호 처리 회로가 개시되어 있다. 회로는 N개의 저항들; N개의 센서들을 포함하는 센서 어레이; 선택 신호에 따라 상기 N개의 센서들 중 하나 및 상기 N개의 저항들 중 하나를 전기적으로 연결시키기 위한 선택 수단; 그 일단이 상기 N개의 저항들과 전기적으로 연결되는 제 1 저항; 상기 제 1 저항의 타단과 상기 센서 어레이의 N개의 센서들 사이에 전기적으로 연결되는 제 2 저항을 포함하며, 상기 N은 2이상의 정수이다.
다종의 센서 어레이, 인스트루멘테이션 증폭기 회로, AD 변환, 브릿지 회로Abstract translation: 公开了用于多个传感器阵列的信号处理电路，其减少桥电路结构的应用中的重复电阻的数量以降低功耗并且同时最大化气体传感器的动态范围特性。 该电路包括N个电阻器; 包括N个传感器的传感器阵列; 选择装置，用于根据选择信号电连接N个传感器中的一个和N个电阻器中的一个; 第一电阻器，其一端电连接到N个电阻器; 以及第二电阻器，电连接在第一电阻器的另一端与传感器阵列的N个传感器之间，其中N是2或更大的整数。
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