公开(公告)号：KR100197157B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960028713

申请日：1996-07-16

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김태송 ,  정형진 ,  김도경 ,  김윤창

IPC: H01L21/324

CPC classification number: C23C14/5806 ,  C30B29/32 ,  C30B31/12 ,  C30B33/00 ,  H01L21/31691 ,  H01L21/324 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316 ,  H05B6/806 ,  H05B2206/046

Abstract: A rapid thermal processing method for a ceramic thin film which is capable of carrying out a uniform heating of a large sized wafer, and of achieving a rapid temperature elevation, and of enhancing a crystallinity of a deposited thin film, wherein a thin film-coated material is disposed on a support to rapidly heat the thin film by the application of microwaves, the temperature is measured with a temperature measuring unit, and the generation of the microwaves is halted at a required temperature.

公开(公告)号：KR100181257B1

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019960000102

申请日：1996-01-05

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 정형진 ,  김태송 ,  유광수 ,  정종학

IPC: G01N27/16 ,  G01N27/14

Abstract: 본 발명은 NOx가스감지소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 NOx가스농도측정방법은 전기화학센서(Electrochemical Sensor), 질량분광계(Mass Spectrom etry)등의 장비를 이용하여 분석하는 방법을 채용하였는데, 자동차 등의 측정장비에 부착이 어렵고, 소형화가 곤란하며, 가격이 비싼 단점이 있다.
이에 박막증착용 알루미나 기판 전면에 소정의 패턴으로 백금 박막전극을 형성하는 공정과; 알루미나 기판 후면에 팔라듐-은 후막 히터를 실크스크린 프린팅법으로 형성하는 공정과; 전극이 형성된 기판의 전면에 NOx가스감지용 산화텅스텐 박막을 증착하고, 열처리하는 공정과; 전극과 히터에 각각 도선을 연결하는 공정과; 히터가 형성된 기판 후면에 고온용 알루미나 접착제를 도포하여 방열 및 절연시키는 공정으로 이루어지는 본 발명의 제조방법을 통하여 가스감지용 박막으로 WO
3 산화물 반도체를 사용하여 제조됨을 특징으로 한 NOx가스감지소자를 제공하여 자동차의 배출가스계측에 적용가능한 저가의 소형 고감도 센서를 제조가능하도록 한 것이다.

公开(公告)号：KR100173185B1

公开(公告)日：1999-02-18

申请号：KR1019960033310

申请日：1996-08-10

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  엘지전자부품 주식회사

Inventor： 김현재 ,  정형진 ,  최지원 ,  세르게이아이쿠치코

IPC: C04B35/462

Abstract: 본 발명은 유전율이 40 이상으로 크면서도 유전 손실이 적도, 공진 주파수의 온도 계수를 조절할 수 있는 고주파용 유전체 자기 조성물로써, x의 범위가 0.3≤x≤0.5이며, (1-x)CaTiO
3 - xCa(Al
1/2 Ta
1/2 )O
3 의 식으로 나타내어지는 고주파용 유전체 자기 조성물을 제공한다.

公开(公告)号：KR100155066B1

公开(公告)日：1998-11-16

申请号：KR1019950029386

申请日：1995-09-07

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김현재 ,  정형진 ,  윤석진 ,  여동훈

IPC: C04B35/465

Abstract: 본 발명은 높은 품질 계수와 유전율을 가지며 공진 주파수의 온도 계수가 안정한 고주파용 유전체 자기 조성물에 관한 것으로서, 이 조성물은 (1-x)CaTiO
3 -xLaAlO
3 (0.3 x 0.8)으로 표시되는 조성식을 갖는다. 본 발명에 의해 제조된 유전체 조성물은 유전율이 25.5 내지 45.2 이고, Qㆍf
0 (GHz)가 22310 내지 101210이며 공진 주파수의 온도 계수가 9.2 내지 -61.55ppm/℃로서, CaTiO
3 와 LaAlO
3 의 조성비를 조절함으로써 공진 주파수의 온도 계수의 조정이 용이하여 고주파 유전체 공진기 소재로 응용이 적합한다.

公开(公告)号：KR100148713B1

公开(公告)日：1998-08-17

申请号：KR1019950054970

申请日：1995-12-22

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 오영제 ,  정형진 ,  심인보

IPC: C04B35/109

Abstract: 본 발명은 코디어라이트(2Al
2 O
3 -2MgO-5SiO
2 )분말을 9wt%이하로 함유하며, 안정화 또는 부분안정화 지르코니아로 이루어지는 다공성 세라믹스 확산장벽용 조성물에 관한 것이다.
본 발명의 방법으로 제작된 다공성 세라믹스 확산장벽용 조성물을 이용하여 제조한 산소센서는 공해방지기기, 자동차나 보일러 등의 연료절감 및 열효율 향상 시스템 및 휴대용 산소분석기 등의 다양한 분야에 응용할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980015101A

公开(公告)日：1998-05-25

申请号：KR1019960034331

申请日：1996-08-20

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 송태권 ,  이전국 ,  정형진

IPC: H01L29/78 ,  H01L27/108 ,  H01L21/31 ,  C23C14/35

Abstract: 백금/티탄/산화규소/규소(Pt/Ti/SiO
2 /Si)가 순차적으로 적층된 기판 위에 스트른튬 비스무스 탄탈륨 산화물(SrBi
2 Ta
2 O
9) 을 박막원료로 하고 알 에프 마그네트론 스퍼터링법(RF magnetron sputtehng)을 이용하여 강유전 스트론튬 비스무스 탄탈륨 산화물(SrBi
2 Ta
2 O
9) 박막을 제조함메 있어서, 일정한 비율로 아르곤과 산소 존재하에 증착시켜 우선 배향성의 불휘발성 강유전 스트른튬 비스무스탄탈륨 산화물(SrBi
2 Ta
2 O
9 ) 박막의 제조방법에 관한 것 임.

公开(公告)号：KR1019980014130A

公开(公告)日：1998-05-15

申请号：KR1019960032976

申请日：1996-08-08

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김대준 ,  정형진 ,  오현상

IPC: C04B35/46

Abstract: 본 발명은 더욱 향상된 품질계수(Q), 유전율(K)과 공진주파수의 온도계수(τ
f )를 얻기 위하여, 90에서 99몰%의 (Zr
x Sn
y )Ti
z O
4 (x+y+z=2, 0.6dxd1.0, 0dyd0.4, 0.6dzd1.4)를 주성분으로 하는 유전체 자기 조성물에 0.5에서 5.0몰%의 산화마그네슘 및 0.5에서 5.0몰%의 산화탄탈륨 또는 0.5에서 5.0몰%의 산화니오비늄의 복합물이 첨가되고 이에 부가하여 0.75에서 1.5 중량%의 산화아연이 가해져 소결된 고주파용 유전체 자기 조성물을 제공한다.

公开(公告)号：KR1019970059733A

公开(公告)日：1997-08-12

申请号：KR1019960000102

申请日：1996-01-05

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 정형진 ,  김태송 ,  유광수 ,  정종학

IPC: G01N27/16 ,  G01N27/14

Abstract: 본 발명은 NO
X 가스 감지 소자 및 그제조방법에 관한 것으로 종래의 NO
X 가스농도 측정방법은 전기화학센서(Electrochemical Sensor), 질량분광계(Mass Spectrometry)등의 장비를 이용하여 분석하는 방법을 채용하였는데, 자동차 등의 측정장비에 부착이 어렵고, 소형화가 곤란하며, 가격이 비싼 단점이 있다. 이에 박막증착용 알루미나 기판 전면에 소정의 패턴으로 백금박막전극을 형성하는 공정과 알루미나 기관 후면에 팔라듐-은 후막히터를 실크스크린 프린팅법으로 형성하는 공정과; 전극이 형성된 기관의 전면에 NO
X 가스 감지용 산화텅스텐 박막을 증착하고 열처리하는 공정과, 전극과 히터에 각각도선을 연결하는 공정과 ,히터가 형성된 기관 후면에 고온용 알루미나 접착제를 도포하여 방열 및 절연시키는 공정으로 이루어지는 본 발명의 제조방법을 통하여 가스감지용 박막으로 WO
3 산화물 반도체를 사용하여 제조됨을 특징으로 한 NO
X 가스 감지 소자를 제공하여 자동차의 배출가스계측에 적용가능한 저가의 소형 고감도 센서를 제조가능하도록 한 것이다.

公开(公告)号：KR100115577B1

公开(公告)日：1997-05-24

申请号：KR1019960050644

申请日：1996-10-31

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김대준 ,  정형진 ,  장주웅 ,  문지웅

IPC: C04B35/106

公开(公告)号：KR100115475B1

公开(公告)日：1997-05-21

申请号：KR1019930006540

申请日：1993-04-19

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 정형진 ,  유광수 ,  최두진 ,  정종학

IPC: G01K7/16