电容式麦克风及其制作方法

    公开(公告)号:CN106937230A

    公开(公告)日:2017-07-07

    申请号:CN201710204043.5

    申请日:2017-03-30

    CPC classification number: H04R19/04 H04R31/00 H04R2201/003 H04R2231/003

    Abstract: 本发明公开了一种电容式麦克风及其制作方法。该麦克风包括衬底、背极和振膜,衬底具有背腔,背极和振膜被悬置在背腔的上方,振膜和背极构成电容器的上电极和下电极,振膜由非结晶金属合金制作而成,振膜与背极之间具有振动间隙,背极具有连通振动间隙和外部空间的通孔,背腔与振动间隙相对设置。该电容式麦克风的振膜由非结晶金属合金材料制作而成,该材料具有良好的断裂韧性及弹性极限,使得振膜在吹气或者喷气时能够承受更高的气压,避免了振膜的破损,提高了电容式麦克风的良品率。此外,有较低的弹性系数,可使振膜变形较大,获得更佳的灵敏度。

    振动发声系统
    107.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106658318A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201710048209.9

    申请日:2017-01-20

    Inventor: 王洪兴 周荣冠

    CPC classification number: H04R19/04 H04R2201/003

    Abstract: 本发明提供一种振动发声系统,包括振动发声设备及驱动所述振动发声设备产生振动而发声的MEMS致动器,所述振动发声设备包括具有收容空间的边框、分别盖设于所述边框的用于显示的屏幕组件和后盖以及固定收容于所述收容空间内部的用于承载电路的中板组件,所述MEMS致动器固定于所述振动发声设备的收容空间内部。与相关技术相比,本发明的振动发声系统振动效果好且声学性优。

    一种MEMS发声装置及电子设备

    公开(公告)号:CN106454668A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610941793.6

    申请日:2016-10-31

    CPC classification number: H04R19/04 H04R2201/003

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS发声装置及电子设备,包括具有中空内腔的衬底以及通过沉积的方式形成在衬底上方的振膜,所述振膜包括至少一层经过磁化的磁性材料层,还包括与所述磁性材料层正对设置的第一线圈;所述第一线圈被配置为磁性材料层提供方向与振膜垂直的驱动力。本发明的发声装置,第一线圈与磁性材料层对应设置在一起,当第一线圈通入交流电后,磁性材料层的磁力线穿过线圈,在线圈安培力的反作用力下,使得磁性材料层发生垂直于振膜方向的振动,从而实现了振膜的振动发声。本发明的这种发声装置,可以应用到受话器或者扬声器当中,其突破了传统线圈、磁铁的安装结构,使其体积更小,而且可以采用MEMS工艺进行制造。

    一种指向性MEMS传声器及受音装置

    公开(公告)号:CN103686568B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201310718505.7

    申请日:2013-12-23

    Inventor: 万景明

    Abstract: 本发明提供了一种指向性MEMS传声器及受音装置,其中MEMS传声器包括:传声器外壳、印刷电路板PCB、专用集成电路ASIC芯片、MEMS芯片、振膜、阻尼、金属线、至少两个内音孔和对应的外音孔;所述传声器还包括:调音腔,所述调音腔包括:第一调音腔;所述第一内音孔通过所述第一调音腔与所述第一外音孔联通,或,所述第二内音孔通过所述第一调音腔与所述第二外音孔连通。与现有技术相比,使用具有一定体积的调音腔将内、外音孔联通组成传声通道,增加了声音的传输距离,提高了MEMS传声器的灵敏度差异及指向性。

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